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检索条件:"关键词=等效电路宏模型 "
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F-I类比方法及MEMS梁的等效电路模型被引量:2
《Journal of Semiconductors》2003年第5期528-533,共6页戎华 黄庆安 李伟华 
建立了一种基于力 -电流 ( F- I)类比、适用于梁结构机电耦合系统小信号时域及频域分析的等效电路模型 ,与已有的基于力 -电压 ( F- V)类比的等效电路模型相比 ,基于 F- I类比的等效电路模型的电网络与原来的机械网络具有相同的...
关键词:F-I类比 力-电流类比 等效电路模型 MEMS梁 模态分析 拉格朗日方程 微机电系统 
系统级模拟的MEMS器件模型被引量:6
《真空科学与技术》2002年第5期366-371,共6页戎华 黄庆安 李伟华 
MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于模型 ,该模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的模型。本文介绍了常用的等...
关键词:MEMS器件 系统级模拟 等效电路模型 硬件描述语言模型 微机电系统 
基于受力分析的MEMS薄膜系统级模拟方法的研究
《传感技术学报》2008年第4期607-610,共4页李蓓佳 李伟华 
国家863项目支持(2006AA04Z302)
介绍一种MEMS系统级模拟方法。该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEMS薄膜的等效电路模型。利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模...
关键词:MEMS设计 系统级模拟 薄膜 受力分析 等效电路模型 
MEMS微传感器件IP库的建立方法被引量:1
《电子器件》2005年第3期690-692,695,共4页殷刚毅 
为实现MEMS器件系统级的模拟,运用等效电路模型的方法建立相应的IP模型库单元。本文以悬臂梁结构的微传感器为例,描述了如何根据基本结构与数学方程建立等效电路模型,并采用COVENTORWARE软件进行了模型的各个模态的谐振频率和相关...
关键词:等效电路模型 系统级 SPICE IP库 
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