国家重点基础研究发展计划(2007CB613404)

作品数:25被引量:75H指数:5
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相关机构:中国科学院厦门大学深圳信息职业技术学院集美大学更多>>
相关期刊:《微细加工技术》《中国集成电路》《Chinese Physics B》《光子学报》更多>>
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硅基低位错密度厚锗外延层的UHV/CVD法生长被引量:4
《物理学报》2012年第7期495-499,共5页陈城钊 郑元宇 黄诗浩 李成 赖虹凯 陈松岩 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB613404);国家自然科学基金(批准号:61036003,60837001);中央高校基本业务费(批准号:2010121056)资助的课题~~
利用超高真空化学气相淀积系统,基于低温缓冲层和插入应变超晶格的方法,在Si(100)衬底上外延出厚度约为880nm的纯Ge层.采用X射线双晶衍射、高分辨透射电镜、原子力显微镜和光致发光谱分别表征了其结构及光学性质.测试结果显示外延Ge的X...
关键词:Ge 外延生长 UHV/CVD 光致发光谱 
N型掺杂应变Ge发光性质被引量:3
《物理学报》2012年第3期356-363,共8页黄诗浩 李成 陈城钊 郑元宇 赖虹凯 陈松岩 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB613404);国家自然科学基金(批准号:61036003,60837001);中央高校基础业务费项目(批准号:2010121056);信息功能材料国家重点实验室开放课题资助的课题~~
应变锗材料具有准直接带特性,而且与标准硅工艺兼容,成为实现硅基发光器件重要的候选材料之一.本文基于van de Walle形变势理论,计算了应变情况下半导体Ge材料的能带结构以及载流子在导带中的分布;通过分析载流子直接带和间接带问的辐...
关键词:应变 N型掺杂Ge 量子效率 光增益 
Formation of rippled surface morphology during Si/Si(100) epitaxy by ultrahigh vacuum chemical vapour deposition
《Chinese Physics B》2011年第12期328-334,共7页胡炜玄 成步文 薛春来 苏少坚 王启明 
supported by the Major State Basic Research Program of China (Grant No. 2007CB613404);the National High Technology Research and Development Program of China (Grant No. 2006AA03Z415);the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos. 60676005,61036003,and 60906035);the Knowledge Innovation Program of the Chinese Academy of Sciences(Grant No. ISCAS2009T01)
The Si epitaxial films are grown on Si (100) substrates using pure Si2H6 as a gas source using ultrahigh vacuum chemical vapour deposition technology. The values of growth temperature Tg are 650 ℃, 700 ℃, 730 ℃, ...
关键词:step-bunching Ehrlich-Chwoebel barrier elastic repulsion fluctuation 
Detailed balance limit efficiency of silicon intermediate band solar cells
《Chinese Physics B》2011年第9期334-338,共5页曹权 马志华 薛春来 左玉华 王启明 
Project supported by the National Basic Research Program of China (Grant No.2007 CB613404);the National Natural Science Foundation of China (Grant Nos.61036001,60906035,and 51072194)
The detailed balance method is used to study the potential of the intermediate band solar cell (IBSC), which can improve the efficiency of the gi-based solar cell with a bandgap between 1.1 eV to 1.7 eV. It shows th...
关键词:intermediate band silicon solar cell concentrated light detailed balance principle 
基于绝缘硅的微环谐振可调谐滤波器被引量:17
《光子学报》2011年第8期1143-1148,共6页李帅 吴远大 尹小杰 安俊明 李建光 王红杰 胡雄伟 
国家高技术研究发展计划(No.2007AA03Z420);国家重点基础研究发展计划(No.2007CB613404)资助
采用电子束光刻和感应耦合等离子刻蚀等工艺,研制了一种基于绝缘硅材料的的微环谐振可调谐滤波器.滤波器微环半径为5μm左右,波导截面尺寸为(350~500nm)×220nm不等.测试结果表明,波导宽度为450nm时器件性能最为理想,其自由频谱宽度为1...
关键词:绝缘硅 微环谐振 热光效应 滤波器 串扰 
采用低温缓冲层技术在Si衬底上生长高质量Ge薄膜被引量:7
《光电子.激光》2011年第7期1030-1033,共4页周志文 贺敬凯 李成 余金中 
国家重点基础发展研究计划资助项目(2007CB613404)
采用低温缓冲层技术,在Si衬底上生长了质量优良的Ge薄膜。利用原子力显微镜(AFM)、双晶X射线衍射(XRD)和拉曼散射等研究了薄膜的晶体质量。结果表明,由于无法抑制三维岛状生长,低温Ge缓冲层的表面是起伏的。然而,Ge与Si间的压应变几乎...
关键词:Ge薄膜 低温缓冲层技术 表面形貌 超高真空化学气相沉积(UHV-CVD) 
Si基Ge外延薄膜材料发光性能研究进展
《半导体光电》2011年第3期304-308,共5页黄诗浩 李成 陈城钊 郑元宇 赖虹凯 陈松岩 
国家"973"计划项目(2007CB613404);国家自然科学基金资助项目(561036003;60837001)
理论和实验研究表明,在一定的应变和掺杂浓度下,Si基外延Ge薄膜能实现1.55μm光通信波段的直接带隙发光。讨论了Si基外延Ge材料的生长技术及其能带结构,结合本小组近年来在该领域所取得的成果,介绍了国内外各研究机构对Ge薄膜发光材料...
关键词:Si基外延Ge 应变 掺杂 光致发光 电致发光 
Strained and strain-relaxed epitaxial Ge_(1-x)Sn_x alloys on Si(100) substrates
《Chinese Physics B》2011年第6期485-489,共5页汪巍 苏少坚 郑军 张广泽 左玉华 成步文 王启明 
Project supported by the National High Technology Research and Development Program of China (Grant No. 2006AA03Z415);the National Basic Research Program of China (Grant No. 2007CB613404);the National Natural Science Foundation of China (Grant Nos. 60906035 and 61036003);the Knowledge Innovation Program of the Chinese Academy of Sciences (Grant No. ISCAS2009T01)
Epitaxial Ge1-xSnx alloys are grown separately on a Ge-buffer/Si(100) substrate and directly on a Si(100) substrate by molecular beam epitaxy (MBE) at low temperature. In the case of the Ge buffer/Si(100) subs...
关键词:GeSn alloys STRAINED strain-relaxed molecular beam epitaxy 
Si(100)表面Se薄膜生长及其在Ti/Si欧姆接触中的应用被引量:2
《物理学报》2011年第9期712-716,共5页潘书万 亓东峰 陈松岩 李成 黄巍 赖虹凯 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB613404);国家自然科学基金(批准号:61036003和60837001);福建省自然科学基金(批准号:2008J0221);福建省教育厅科技项目(批准号:JB08215)资助的课题~~
本文采用分子束外延(MBE)系统在Si(100)表面淀积Se薄膜.通过控制衬底和固态Se束源炉的温度,实现了Se材料在Si(100)表面上的自限制超薄薄膜生长;在Se超薄层钝化的Si(100)表面上制备的Ti金属电极具有低的欧姆接触电阻特性,且热稳定性温度...
关键词: 钝化 欧姆接触 热稳定性 
循环氧化/退火制备GeOI薄膜材料及其性质研究被引量:2
《物理学报》2011年第7期779-783,共5页胡美娇 李成 徐剑芳 赖虹凯 陈松岩 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB613404);国家自然科学基金(批准号:61036003和60837001)资助的课题~~
采用超高真空化学气相淀积系统在SOI(绝缘体上硅)衬底上生长了Si0.82Ge0.18外延层,通过循环氧化/退火工艺,制备出Ge组分从0.24到1的绝缘体上锗硅(SGOI)材料.采用高分辨透射电镜、拉曼散射光谱和光致发光谱表征了其结构及光学性质,对氧...
关键词:GEOI 氧化 退火 光致发光谱 
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