国家自然科学基金(10265002)

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太阳能级硅粉在等离子体中纯化研究
《广西工学院学报》2006年第2期1-4,8,共5页陈政强 王敬义 陶甫廷 
国家自然科学基金资助项目(10265002)
给出了本研究中所采用工业硅的要求和太阳电池功率高达14%的P型硅材料中单一杂质的阀值。针对太阳能级硅的纯化要求和工业硅的特性,提出了等离子体对硅粒“刻蚀提纯”的新概念。增加鞘层厚度将使硅粉浸泡于高动能离子中的几率增加,钝化...
关键词：太阳能级硅 等离子体纯化 粉粒表面刻蚀 鞘区离子动能 
圆柱形反应器鞘区离子平均动能的径向分布被引量：3
《华中科技大学学报（自然科学版）》2006年第5期50-52,共3页李战春 王敬义 陶甫廷 冯信华 
国家自然科学基金资助项目(10265002)
针对鞘层结构,建立了鞘层模型和离子速度分布函数,导出了离子平均动能的积分表达式并得出数值积分的结果.用级数的两项拟合平均动能积分表达式的对数项,积分得到解析结果和简化结果.应用积分表达式、解析式及简化式进行计算,得出了圆柱...
关键词：等离子体鞘层 分布函数 平均动能 刻蚀与纯化 
硅粉在鞘区内的纯化速率模型被引量：2
《华中科技大学学报（自然科学版）》2006年第5期53-55,67,共4页许淑慧 王敬义 冯信华 陈正强 
国家自然科学基金资助项目(10265002)
分析了粉粒在反应区的沉降过程,导出了沉降的最大速度及时间的公式,给出了离子在不同位置上的平均动能及粒子通量.还对高能中性粒子在鞘区内的行为进行了详细的分析并得出在不同位置上的平均动能和通量.它可用于计算空间不同位置处包括...
关键词：离子刻蚀 等离子体纯化 阴极鞘层 硅粉粒 
圆筒形反应器粉体纯化动力学分析
《广西工学院学报》2005年第4期10-14,共5页陶甫廷 王敬义 冯信华 
国家自然科学基金资助项目(10265002)。
对圆筒形纯化反应器的等离子体鞘层进行了动力学分析,得出了鞘区内离子速度的分布函数和不同位置上的离子平均动能。理论计算结果与实验数据吻合较好,对理论和实验工作方面都具有一定的指导意义。
关键词：粉体刻蚀 分布函数 等离子体纯化 
粉体纯化装置及工艺研究被引量：6
《稀有金属材料与工程》2005年第10期1653-1656,共4页王敬义 尹盛 陶甫廷 吴京波 冯信华 苏睿 许淑慧 陈正强 陈文辉 罗文广 
国家自然科学基金资助项目(10265002)
根据硅粉纯化的要求,提供了一种长落程和高反应速率的冷等离体反应器。工艺参数的选择着重于增大鞘层厚度、提高反应粒子浓度和控制抽气速率,因此,能有效的提高纯化反应的速率、粉料的回收率和粉粒一次沉降的时间。实验结果表明:该设备...
关键词：等离子体纯化 纯化反应 表面刻蚀 
国家自然科学基金的申请与实施探讨被引量：1
《广西工学院学报》2005年第2期102-105,共4页苏睿 王敬义 许淑慧 陈政强 
国家自然科学基金资助项目 (批准号 :1 0 2 650 0 2 )
针对国家自然科学基金的性质和要求提出了提高申请项目水平和获准率的措施。强调基础研究和应用基础研究的特性、项目的前期工作及具有新颖性是项目获准的三大要素。在项目实施方面,着重论述了科研课题组的关键作用,将人员的分工、成果...
关键词：国家自然科学基金 项目申请 项目实施 
粉粒在等离子体中纯化的理论与工艺参数被引量：3
《华中科技大学学报（自然科学版）》2005年第4期47-50,共4页陶甫廷 王敬义 许淑慧 冯信华 
国家自然科学基金资助项目(10265002).
针对反应室的情况,建立了硅粉的运动学模型和粉粒收集判据.应用该模型和判据,选择进气流速为5～2 0cm3 /min(标准状态下) ,抽气比例为0 .1.由于等离子区内只存在表面反应,钝化作用会使纯化效应消失.在鞘层内存在大量高能离子,除表面反应...
关键词：粉粒纯化 鞘层 表面刻蚀 工艺参数 
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