国家自然科学基金(50373007)

作品数：9被引量：42H指数：4
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高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积CrN薄膜研究被引量：13
《真空科学与技术学报》2011年第4期459-464,共6页吴忠振 田修波 王泽明 巩春志 杨士勤 
国家自然科学基金资助项目(10775036和50373007);新世纪优秀人才计划资助项目
采用高功率脉冲磁控放电等离子体离子注入与沉积的方法在不锈钢基体上制备了高膜基结合力的CrN硬质薄膜,并研究了不同的Ar/N流量比对薄膜形貌、结构及性能的影响。采用扫描电子显微镜、X射线衍射对其表面形貌和结构进行分析,发现制备的...
关键词：高功率脉冲磁控放电 等离子体离子注入与沉积 氮化铬 微观结构 表面性能 
凹模内腔等离子体离子注入数值仿真—(Ⅰ)脉冲宽度效应被引量：4
《真空科学与技术学报》2010年第6期593-598,共6页汪志健 田修波 王蓬 巩春志 杨士勤 Ricky Fu 
国家自然科学基金(10775036和50373007);新世纪优秀人才计划资助项目
模具表面改性日益受到人们重视。本文采用二维Particle-in-cell/Monte Carlo Collision模型对等离子体浸没离子注入处理凹模型腔内表面的鞘层动力学及均匀性进行了研究。考察了电压脉宽对鞘层中电势分布、离子的运动状态以及型腔内表面...
关键词：等离子体离子注入 粒子模拟 脉冲宽 度均匀性 注入能量 
瓶体内表面制备类金刚石膜流场结构的格子波尔兹曼模拟被引量：2
《真空科学与技术学报》2009年第4期391-397,共7页汪志健 田修波 李景 巩春志 杨士勤 Paul K Chu 
国家自然科学基金(No.10575025,50373007);新世纪优秀人才计划资助项目(No.NCET-05-0349)
类金刚石膜(Diamond-like Carbon,DLC)具有优异的气体阻隔性能。在PET瓶体内表面制备DLC阻隔涂层时,阻隔涂层的均匀性会受到瓶体内流场结构(气压分布、速度分布等)的显著影响。本文应用格子波耳兹曼方法(Lattice BoltzmannMethod/Model,...
关键词：类金刚石膜 内表面 流场 格子波耳兹曼 
Surface Properties of AZ31B Magnesium Alloy by Oxygen Plasma Immersion Ion Implantation
《Plasma Science and Technology》2009年第1期33-37,共5页韦春贝 巩春志 田修波 杨士勤 傅劲裕 朱剑豪 
supported by National Natural Science Foundation of China(Nos.10575025,50373007);the Program for New Century Excellent Talents in University in China;the City University of Hong Kong Strategic Research(No.7002138)
Oxygen plasma immersion ion implantation （PIII） has been conducted on AZ31B magnesium alloy using different bias voltages. The modified layer is mainly composed of MgO and some MgAl2O4. Results form Rutherford backs...
关键词：magnesium alloy oxygen plasma implantation structure HARDNESS corrosion resistance 
偏压对磁控溅射沉积铌膜表面性能的影响被引量：8
《真空科学与技术学报》2008年第1期67-71,共5页崔江涛 田修波 杨士勤 
国家自然科学基金(No.50373007,No.10575025);新世纪优秀人才支持计划;哈尔滨科学后备带头人基金(No.2004AFXXJ013)
利用直流磁控溅射在钢基体上沉积了铌薄膜,分别采用扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和电化学分析仪研究了不同偏压下铌膜表面形貌、相结构以及耐蚀性。实验结果表明:在低于300 V偏压下,偏压的变化并没有使得铌膜的晶体结构发生改变...
关键词：偏压 铌膜 结构 耐蚀性 
压强对磁控溅射沉积铌膜耐磨和耐蚀性的影响被引量：1
《稀有金属材料与工程》2008年第1期143-146,共4页崔江涛 田修波 胡新东 杨士勤 
国家自然科学基金(No.50373007);新世纪优秀人才支持计划
采用直流磁控溅射在钢基体上制备了铌薄膜,分别采用扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、球盘式摩擦磨损实验机和电化学分析仪研究了不同溅射气压下铌膜表面形貌、相结构、耐磨性以及耐蚀性。结果表明:低压强下,晶粒细小,膜层平滑,晶...
关键词：溅射气压 铌膜 耐磨性 耐蚀性 
直流磁控溅射沉积钽膜的结构与性能研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2007年第3期259-263,共5页崔江涛 刘向力 田修波 胡新东 杨士勤 
国家自然科学基金(No.50373007);跨世纪优秀人才支持计划;哈尔滨市科学后备带头人基金(No.2004AFXXJ013)
采用直流磁控溅射在钢基体上制备了钽薄膜,研究了溅射气压和电流对钽膜相结构、表面形貌、硬度以及耐磨性的影响。XRD结果表明:钽膜主要由α(体心立方结构)+β(四方体结构)混合相组成,在合适的实验条件下(0.65 Pa、0.6 A)可以得到单一...
关键词：直流磁控溅射 钽薄膜 相结构 耐磨性 
等离子体浸没离子注入绝缘材料的研究被引量：3
《核技术》2006年第5期335-338,共4页田修波 杨士勤 Ricky K Y Fu Paul K Chu 
国家自然科学基金(10345003和50373007);HongKongResearchGrantsCouncil(RGC)CompetitiveEarmarkedResearchGrant(CERG)#CityU1052/02E联合资助项目
等离子体浸没离子注入是一种新形式的离子注入技术,是利用负偏压工件周围形成的等离子体鞘层进行离子加速、进而获得离子注入。等离子体注入的前提条件是工件导电,因此对于绝缘材料的等离子体注入可能存在问题。本文从理论和实际处理的...
关键词：等离子体离子注入 绝缘材料 鞘层 表面充电 
等离子体浸没离子注入(PIII)过程中初始离子阵鞘层尺度内各物理量的时空演化被引量：10
《真空科学与技术学报》2005年第2期115-119,共5页黄永宪 田修波 杨士勤 黄志俊 Ricky Fu Paul K.Chu 
国家自然科学基金(10345003和50373007)资助
等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种较新的、廉价的、非视线的技术。靶体被浸没在等离子体中,等离子体中的离子在靶体负脉冲偏压的作用下注入靶体而实现材料的表面改性。为了描述等离子体浸没离子注入过程,我们引用了...
关键词：等离子体浸没离子注入 离子注人 鞘层 子阵 PⅢ 物理量 Poisson方程 材料表面改性 Newton 时空演化规律 离子流密度 脉冲偏压 数值模拟 粒子模型 求解空间 运动方程 离子浓度 靶体 电势 一维 电子 动能 
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