云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家自然科学基金(60272001)

国家自然科学基金(60272001): 作品数：14被引量：51H指数：5; 导出分析报告; 相关作者：张福学朴林华毛旭王宏伟林宇更多>>; 相关机构：北京信息工程学院北京大学北京科技信息研究中心昆明物理研究所更多>>; 相关期刊：《电子元件与材料》《压电与声光》《仪表技术与传感器》《稀有金属材料与工程》更多>>; 相关主题：电子技术陀螺微机械角速度硅微机械陀螺更多>>; 相关领域：电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

温度对无驱动结构硅微机械陀螺信号相位差的影响被引量：1: 《仪表技术与传感器》2009年第B11期309-312,共4页徐鸿卓吴立锋严庆文孙成祥张福学; 国家自然科学基金资助项目(60272001);北京市传感器重点实验室开放课题(KM200810772001); 在旋转载体用硅微机械陀螺的信号解调中,陀螺与加速度计信号的相位差起到至关重要的作用,必须考虑温度对陀螺与加速度计信号相位差的影响,以及温度对陀螺输出的影响。通过测试加速度计温度特性及陀螺温度特性,并将二者进行比较,研究了...; 关键词：加速度计微机械陀螺相位差温度

微机械气流式加速度计敏感机理的有限元分析被引量：2: 《电子元件与材料》2007年第10期64-66,73,共4页吕耀杰朴林华王义; 国家自然科学基金资助项目(60272001);北京市重点试验开放课题资助项目(66062020);北京市优秀人才培养和北京市属高校"学术创新团队计划"资助项目; 揭示了微机械气流式加速度计的敏感机理。采用有限元方法,分析了在不同加速度输入时敏感元件内的流场分布。结果表明,无加速度输入时,两热敏电阻处的气流速度相等,两热敏电阻上的电流相等,电桥输出为0;有加速度输入时,两热敏电阻处的气...; 关键词：电子技术有限元法微机械加速度计对流场敏感机理

二维压电射流陀螺的研究被引量：1: 《电子元件与材料》2007年第2期14-16,共3页朴林华吕耀杰王义张福学; 国家自然科学基金资助项目(60272001);北京市传感器重点实验室资助项目(53053003);北京市优秀人才培养资助项目(20051D0500704);北京市属高校"学术创新团队计划"资助项目; 提出了一种二维压电射流陀螺。采用双垂直热电阻丝,敏感二维角速度;通过简支边支撑压电泵振子,提高了陀螺的灵敏度;采用叠片状圆台凹槽型喷嘴,提高了该陀螺的稳定性和重复性;利用软件补偿处理,提高了陀螺的温度性能和线性度。实验表明,...; 关键词：电子技术射流陀螺结构设计角速度

恒温磁力搅拌下KOH刻蚀Si的研究被引量：1: 《电子元件与材料》2006年第12期41-43,46,共4页刘宇毛旭岳萍张福学; 国家自然科学基金资助项目(60272001);北京市传感技术中心重点实验室开放课题(53053004);北京自然科学基金资助项目(4032010); 采用恒温磁力搅拌的方法,在KOH溶液中湿法刻蚀Si。在掩模层为SiO2时,研究了刻蚀速率随KOH浓度与温度的变化关系。结果表明:在110℃、30%的KOH溶液下,刻蚀Si(100)可以得到4.0μm/min的刻蚀速率,Si(100):SiO2的刻蚀速率比为550:1,Si(100):...; 关键词：电子技术 MEMS 湿法刻蚀 KOH 温度

抗加速度干扰的气流式水平姿态传感器的研究被引量：2: 《压电与声光》2006年第6期659-661,共3页朴林华吕耀杰王义张福学; 国家自然科学基金委员会资助项目(60272001);北京市传感器重点实验室基金资助项目(53053003);北京市优秀人才培养基金资助项目(20051D0500704);北京市属高校"学术创新团队计划"基金资助项目; 提出了一种能够抗加速度干扰的气流式水平姿态传感器。根据气流式倾角敏感元件和气流式倾角敏感元件的输出特点,建立了抗加速度干扰的数学模型;根据抗加速度干扰的数学模型,设计了抗加速度干扰的程序,实现了载体振动、角振动和摇摆等在...; 关键词：电子技术抗加速度数学模型水平姿态

旋转载体驱动硅微机械陀螺的设计和性能检测被引量：5: 《电子元件与材料》2006年第12期20-26,共7页张福学王宏伟张伟毛旭张楠; 国家自然科学基金资助项目(60272001);北京市教委科技发展计划资助项目(82062013);北京市传感器重点实验室资助项目(53062016); 提出了一种利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺,分析了该陀螺的工作原理,建立了这种陀螺的数学模型,设计了该陀螺的敏感结构,计算了陀螺的结构动力学参数,设计并分析了陀螺的信号检测与处理电路并针对该陀螺的特点设计了性能测...; 关键词：电子技术旋转载体微机械陀螺角速度

A Silicon Micromachined Gyroscope Driven by the Rotating Carrier Self: 《稀有金属材料与工程》2006年第A03期519-521,共3页Fuxue Zhang Xu Mao Yu Liu Nan Zhang Wei Zhang; supported by the National Natural Science Foundation of China(No.60272001);the Beijing Natural Science Foundation of China(No.4032010).; This paper reported a silicon micromachined gyroscope which is driven by the rotating carrier's angular velocity,the silicon was manufactured by anisotropy etching.The design,fabrication and packing of the sensing ele...; 关键词：rotating carrier MICROMACHINE GYROSCOPE angular velocity

The Research on Growth Temperature of Ge/Si Thin Films Grown by Magnetron Sputtering: 《稀有金属材料与工程》2006年第A03期564-566,共3页Xu Mao Yingxia Jin Zhenlai Zhou YU Yang Xinghui Wu Fuxue Zhang; supported by the National Natural Science Foundation of China(No.60272001);the Beijing Natural Science Foundation of China(No.4032010);the Yunnan Natural Province Science Foundation of China(Youth Foundation:No.K1010265); The films of Ge and Si were grown on the substrate Si (100) by magnetron sputtering at 2.5 Pa Ar pressure.The growth temperature of films was 100℃,250℃,400℃and 550℃.The structure and composition were analysised by...; 关键词：Ge/Si thin film Raman scattering growth temperature

全方位气体摆式倾角传感器的结构原理被引量：7: 《电子元件与材料》2006年第5期19-22,共4页林宇朴林华张福学; 国家自然科学基金资助项目(60272001);北京市自然科学基金资助项目(4032010);北京市重点实验室开放课题资助项目(603037); 介绍了全方位气体摆式倾角传感器的敏感原理,并对几种敏感元件的结构设计方案进行了详细的分析。在影响传感器主要性能的基础上,比较了不同敏感元件的优劣,找出最合适的敏感元件结构设计,最后通过对实际制作的全方位倾角传感器进行测试...; 关键词：电子技术全方位气体摆倾角传感器

旋转载体用硅微机械陀螺的敏感元件被引量：3: 《压电与声光》2006年第2期170-172,共3页王宏伟毛旭张伟张福学; 国家自然科学基金资助项目(60272001); 介绍了旋转载体用硅微机械陀螺的敏感原理,计算了硅振动单元振动摆角和敏感电容的关系。介绍了旋转载体用硅微机械陀螺敏感元件的结构和利用双面多次光刻、腐蚀等微机械工艺加工得到硅振动单元的工艺过程。对制作的4个敏感元件的电容进...; 关键词：微机械系统陀螺敏感元件

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