国家自然科学基金(59735110)

作品数:35被引量:361H指数:10
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相关作者:温诗铸雒建斌张朝辉薛群基刘维民更多>>
相关机构:清华大学中国科学院香港科技大学中国石油大学(北京)更多>>
相关期刊:《润滑与密封》《Science China Chemistry》《清华大学学报(自然科学版)》《Science China Mathematics》更多>>
相关主题:薄膜润滑纳米摩擦学润滑LUBRICATION自组装膜更多>>
相关领域:理学机械工程一般工业技术电子电信更多>>
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化学机械抛光流动性能分析被引量:12
《润滑与密封》2004年第4期31-33,共3页张朝辉 雒建斌 温诗铸 
国家自然科学基金资助项目 (5 9735 1 1 0 ) ;杰出青年基金资助项目 (5 0 0 2 5 5 1 5 )
基于连续流体理论和其运动学关系 ,建立了力平衡方程关系式。推导了牛顿流体在化学机械抛光过程中的润滑方程 ,给出了模拟出的典型的压力分布情况和无量纲载荷、转矩与抛光垫转速变化的关系。计算结果表明 :抛光中的压力分布是沿半径方...
关键词:化学机械抛光 润滑方程 压力分布 CMP 计算机硬盘 硅片 流动性能 
薄膜润滑研究的回顾与展望被引量:11
《中国工程科学》2003年第7期84-89,共6页雒建斌 张朝辉 温诗铸 
国家自然科学基金资助项目 ( 5 973 5 110 ) ;杰出青年基金资助项目 ( 5 0 0 2 5 5 15 )
薄膜润滑是 2 0世纪 90年代以来广泛研究的新型润滑状态。它是界于弹流润滑和边界润滑之间的一种过渡润滑状态 ,有着自己独特的润滑规律。文章回顾了薄膜润滑的研究历史 ,包括薄膜润滑概念的提出、测试技术的发展、薄膜润滑的膜厚特性。
关键词:薄膜润滑 有序膜 膜厚测量 微结构 
CMP润滑方程的多重网格法求解被引量:7
《自然科学进展》2003年第11期1224-1227,共4页张朝辉 雒建斌 温诗铸 
国家自然科学基金(批准号:59735110);国家杰出青年科学基金(批准号:50025515)资助项目
化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)是用于获取全局和局部高级别平面度的技术,其作用机理包含流体动力作用.求解CMP的润滑方程有助于对其作用机理的了解和认识.文中利用线松弛技术和多重网格技术进行求解,并考察了不同输...
关键词:CMP润滑方程 多重网格法 化学机械抛光 线松弛 全网格近似 集成电路 晶片 平面度 流体动力 微电子产业 
纳米级二相流的润滑特性
《现代机械》2003年第4期1-3,共3页张朝辉 温诗铸 雒建斌 
国家自然学基金资助项目 (5 973 5 110 )
薄膜润滑是指两相对运动的表面间润滑特性由固体表面及润滑剂特性与润滑剂的粘度共同决定的一种特润滑状态。由于此时有序分子的决定作用 ,耦合效应对润滑特征的影响不能忽略。此时的张量描述和本构方程均与牛顿流体不同。本文考察了二...
关键词:纳米级二相流 薄膜润滑 有序分子 耦合应力 固液两相 膜厚 
薄膜润滑中的应力偶效应被引量:5
《摩擦学学报》2002年第6期486-489,共4页张朝辉 温诗铸 雒建斌 
国家自然科学基金资助项目(59735110).
利用应力偶理论计算了薄膜润滑的膜厚特性.计算结果表明:应力偶的作用相当于增加润滑剂粘度,其可以增加油膜厚度,提高承载能力;同时应力偶作用依赖于油膜尺寸,润滑油膜越低,其影响越明显.
关键词:薄膜润滑 应力偶效应 有序分子 润滑性能 
探针作用下自组装膜的分子动力学模拟被引量:3
《自然科学进展》2002年第6期652-655,共4页兰惠清 张嗣伟 王德国 
国家自然科学基金(批准号:59735110);高等学校博士点学科专项科研基金(批准号:97042510)
用分子动力学模拟的方法研究了在金探针作用下沉积在金(111)表面的十六烷基硫醇自组装膜的纳米摩擦特性.整个模拟过程包括平衡、压缩和扫描3个阶段.结果表明,在压缩阶段,随着探针和膜之间距离的减小,和探针相邻近分子的倾角增大,势能也...
关键词:探针 自组装膜 分子动力学模拟 纳米摩擦特性 
Characteristics of lubrication at nanoscale in two-phase fluid system被引量:6
《Science China Chemistry》2002年第2期166-172,共7页张朝辉 温诗铸 雒建斌 
Nomenclature: τ, stress tensor; ρ, density; a, acceleration (m/s2);f, body force (N);p, pressure (Pa); λ, second viscosity coefficient; d, strain tensor; δ, sign function; η, material constant responsible for couple stress parameter; μ dynamic visc
Thin film lubrication (TFL) is a condition in which the lubricating features between two surfaces in relative motion are determined by the combination of the properties of the surfaces and the lubricant and viscosity ...
关键词:thin film lubrication  ORDERED molecule  COUPLE stress  TWO-PHASE fluid. 
微机电系统中微摩擦特性及控制研究被引量:46
《机械工程学报》2002年第3期1-5,共5页刘莹 温诗铸 
国家自然科学基金重点资助项目(59735110)。
针对微机电系统设计中存在的微摩擦问题,论述了开展微观摩擦研究的意义和必要性。全面总结了微摩擦基本特性研究的进展,包括微观摩擦与宏观摩擦的对比,微观摩擦与表面形貌的相关性,以及粘滑现象等。提出了控制微摩擦特性的一些主要...
关键词:微机电系统 微摩擦 控制 表面形貌 粘液 
Nano-tribology through molecular dynamics simulations被引量:1
《Science China Mathematics》2001年第8期1049-1055,共7页王慧 胡元中 邹鲲 冷永胜 
the National Natural Science Foundation of China (Grant Nos. 59875042, 59735110).
The solidification and interfacial slip in nanometer-scale lubricating films as well as the contact and adhesion of metal crystals have been studied via molecular dynamics simulations. Results show that the critical p...
关键词:Molecular dynamics simulation NANO-TRIBOLOGY Phase transition in thin films Interfacial sup Micro-scale contact and adhesion 
Nano-tribological properties and mechanisms of the liquid crystal as an additive被引量:10
《Chinese Science Bulletin》2001年第14期1227-1232,共6页Mingwu Shen Jianbin Luo Shizhu Wen Junbin Yao 
This work was supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 59735110); and the Outstanding Youth Foundation (Grant No. 50025515).
Under conditions of low speed, small viscosity and molecularly smooth tribe-surfaces, the behavior of lubricant film in the nano scale is different from that in elas-tohydrodynamic lubrication (EHL) and boundary lubri...
关键词:liquid CRYSTAL ADDITIVES THIN film LUBRICATION electrovis-cous effect. 
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