国家自然科学基金(60478035)

作品数：32被引量：154H指数：8
导出分析报告
相关作者：王彤彤高劲松王笑夷陈红申振峰更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院长春理工大学中国科学院更多>>
相关期刊：《光子学报》《发光学报》《红外》《微波学报》更多>>
相关主题：表面改性频率选择表面SIC离子辅助沉积碳化硅更多>>
相关领域：理学电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
2m大口径RB-SiC反射镜的磁控溅射改性被引量：3
《光学精密工程》2016年第7期1557-1563,共7页刘震 高劲松 刘海 王笑夷 王彤彤 
国家自然科学基金资助项目(No.60478035)
为了消除RB-SiC反射镜直接抛光后表面存在的微观缺陷,降低抛光后表面的粗糙度,提高表面质量,针对大口径SiC的特性,选择Si作为改性材料,利用磁控溅射技术对2m量级RB-SiC基底进行了表面改性。在自主研发的Φ3.2m的磁控溅射镀膜机上进行基...
关键词：光学加工 磁控溅射 表面改性 RB-SIC 大口径 
大口径反射镜高反射膜研究进展被引量：10
《中国光学》2016年第2期203-212,共10页孙梦至 王彤彤 王延超 刘震 刘海 王笑夷 杨海贵 高劲松 
国家自然科学基金资助项目(No.60478035)~~
大口径反射镜是大型反射式光学系统中关键的光学元件,在工作波段的反射率直接决定了光学系统的性能。随着地基、天基观测设备的发展,对大口径反射镜高反射膜提出了更宽的工作波段、更高的反射率、更好的环境适应性等要求。针对这些挑战...
关键词：大口径 反射镜 高反射膜 环境适应性 
应用表面改性技术降低烧结碳化硅反射镜的表面散射被引量：5
《光学精密工程》2014年第12期3224-3230,共7页王彤彤 
国家自然科学基金资助项目(No.60478035)
针对烧结碳化硅在制作过程中形成的孔洞缺陷会造成严重的反射镜表面散射问题,提出了用等离子体辅助沉积技术镀制硅表面改性层来消除表面缺陷以降低反射镜的表面散射。应用扫描电子显微镜测量了未改性的烧结碳化硅试片,并分析了表面散射...
关键词：表面改性 烧结碳化硅 反射镜 表面散射 总积分散射 等离子辅助沉积 
基于氧化物的0.8～1.7μm和3.7～4.8μm硬质宽带红外增透膜研制被引量：8
《中国光学》2014年第5期816-822,共7页王彤彤 
国家自然科学基金资助项目(No.60478035)
从实际应用出发，在0°入射的条件下，在ZnS基底上针对0.8～1.7μm和3.7～4.8μm两个红外波段，设计并制备了双波段红外增透膜。论述了材料选择、膜系设计和制备方法，最终使用等离子辅助沉积技术在ZnS窗口上制备出双波段红外增透膜，...
关键词：红外增透膜 硫化锌 等离子辅助 双波段增透膜 
用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜被引量：1
《光电子．激光》2014年第7期1298-1302,共5页刘震 
国家自然科学基金(60478035)资助项目
Fe-IX/X(λ=17.1nm)和He-II(λ=30.4nm)是太阳辐射的两条重要谱线,极紫外(EUV)空间太阳望远镜通常选择这两条谱线对日冕进行观测。为了实现在同一块反射镜对上述两条谱线同时具有较高的反射率,设计了多层膜膜系结构。首先根据极紫外波...
关键词：极紫外(EUV) 双波段多层膜 太阳望远镜 反射率 磁控溅射 
提高反应烧结碳化硅反射镜光学性能的研究
《激光与光电子学进展》2014年第9期231-236,共6页王彤彤 
国家自然科学基金(60478035)
反应烧结碳化硅(RB-SiC)是一种性能良好的反射镜镜胚材料,但其固有的一些缺陷导致未经特殊处理无法获得光滑的光学表面。使用X射线衍射(XRD)测试了反应烧结碳化硅试片的晶体结构,结果表明其主要成分为多晶态碳化硅和多晶态硅。扫描电子...
关键词：薄膜 反应烧结碳化硅 表面改性 总积分散射 等离子辅助沉积 
应用碳化硅表面改性技术降低全息-离子束刻蚀光栅刻槽的粗糙度被引量：1
《发光学报》2013年第11期1489-1493,共5页王彤彤 
国家自然科学基金(60478035)资助项目
采用具有良好比刚度和热稳定性的碳化硅材料作为基底,使用全息-离子束刻蚀技术制作了光栅。碳化硅材料表面固有缺陷导致制作的光栅刻槽表面粗糙度高,槽底和槽顶粗糙度分别达到了29.6 nm和65.3nm(R q)。通过等离子辅助沉积技术在碳化硅...
关键词：碳化硅 表面改性 光栅 全息-离子束刻蚀 等离子辅助 
霍尔离子源辅助制备长波红外碳化锗增透膜被引量：4
《发光学报》2013年第3期319-323,共5页王彤彤 
国家自然科学基金(60478035)资助项目
为了提高锗基底的透过率和环境适应性,镀制了增透保护膜。应用电子枪蒸发加霍尔离子源辅助的方法沉积了碳化锗(Ge1-xCx)薄膜。通过固定霍尔离子源参数,控制沉积速率的工艺得到了不同光学常数的碳化锗薄膜。X射线衍射(XRD)测试表明,所制...
关键词：碳化锗 长波红外增透膜 离子辅助 霍尔离子源 
射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响被引量：2
《红外与激光工程》2012年第8期2167-2172,共6页王笑夷 高劲松 陈红 王彤彤 申振峰 郑宣鸣 
国家自然科学基金(60478035)
利用磁控溅射方法以CH4和Ar的混合放电气体溅射单晶Ge靶制备碳化锗(Ge1-xCx)薄膜,通过XPS、Raman和Nanoindentation等表征手段系统地研究了射频功率和衬底温度对所获薄膜成分、键合结构及力学性质的影响。研究发现:射频功率和衬底温度...
关键词：碳化锗 sp3杂化碳原子 射频功率 衬底温度 
用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征被引量：1
《红外》2011年第8期8-11,共4页单兆会 高劲松 王彤彤 申振峰 陈红 
国家自然科学基金项目(60478035)
以Ar气作为工作气体,CH_4作为反应气体,利用低压反应离子镀(RLVIP)技术在Ge基底上成功制备出类金刚石(DLC)薄膜。通过拉曼光谱、Perking Elmer GX型红外光谱仪和Nano Indenter XP型纳米压痕硬度测试计分别表征了类金刚石薄膜的微观结构...
关键词：低压反应离子镀 类金刚石薄膜 拉曼光谱 显微硬度 
全选清除导出
共4页<1234>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部