国家创新方法工作专项(2008IM040700)

作品数：33被引量：219H指数：10
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相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院中国科学院中国科学院大学更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《光学学报》《激光与红外》《光谱学与光谱分析》更多>>
相关主题：光栅成像光谱仪凸面光栅宽波段全息更多>>
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光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响被引量：2
《光学精密工程》2014年第10期2674-2682,共9页杨超 于海利 冯树龙 李晓天 齐向东 姜珊 唐玉国 
国家自然科学基金资助项目(No.60478034);国家创新方法工作专项资助项目(No.2008IM040700);国家重大科研装备研制项目(No.ZDY2008-1);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.11YQ120023);吉林省重大科技攻关项目(No.09ZDGG005);国家973项目资助(No.2014CB049500)
采用菲涅耳-基尔霍夫衍射理论建立了存在刻线弯曲和刻线位置误差的光栅衍射谱成像数学模型,分析了上述误差对光栅光谱性能的影响。针对刻划刀架系统运行不稳定问题,设计了一套光学测量结构,并提出了刻划刀架系统的机械改进方案:采用双...
关键词：刻划刀架 刻划光栅 刻线弯曲 刻线位置误差 光栅光谱 
基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正被引量：3
《光学精密工程》2014年第8期2039-2046,共8页李晓天 齐向东 于海利 高键翔 冯树龙 巴音贺希格 
国家自然科学基金资助项目(No.60478034);国家创新方法工作专项资助项目(No.2008IM040700);国家重大科研装备研制项目(No.ZDY2008-1);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.11YQ120023);吉林省重大科技攻关项目(No.09ZDGG005)
考虑机械刻划光栅刻线摆角对平面光栅衍射波前质量的影响,本文根据光栅机械刻划过程的特点,提出了一种单压电执行器调节方法。该方法可通过不断调节微定位工作台位移,实时修正工作台摆角导致的光栅刻线摆角误差。首先,推导出了微定位工...
关键词：平面光栅 光栅刻线 摆角修正 衍射波前 压电执行器 
机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法被引量：19
《中国激光》2013年第3期227-234,共8页李晓天 巴音贺希格 齐向东 于海利 唐玉国 
国家自然科学基金(60478034);国家创新方法工作专项项目(2008IM040700);国家重大科研装备研制项目(ZDY2008-1);国家重大科学仪器设备开发专项项目(11YQ120023);吉林省重大科技攻关项目(09ZDGG005)资助课题
机械刻划法是制作平面光栅的重要方法之一。深入分析了机械刻划光栅的等间距刻线弯曲和刻线位置误差对平面光栅分辨本领和杂散光等光谱性能的影响,对改善光栅质量和提高应用水平有重要的意义。根据费马原理,建立了单色平行光入射、含有...
关键词：光栅 平面光栅 光栅刻线弯曲 光栅刻线位置误差 衍射波前 光栅指标 
罗兰全息光栅线密度误差分析与控制被引量：2
《激光与光电子学进展》2013年第2期110-114,共5页崔锦江 孔鹏 王帆 檀慧明 
国家自然科学基金(60478034;61007063);国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120023);国家创新方法工作专项(2008IM040700);中国科学院知识创新项目(100132H100);江苏省自然科学基金(BK2012188)资助课题
分析了罗兰光栅帕邢-龙格结构中光栅线密度误差对波长精度的影响。提出一种利用参考光栅在线检测罗兰全息光栅干涉场条纹密度的方法。将具有标准线密度的参考光栅放置在干涉场内曝光位置,通过检验曝光光束的自准直衍射光与空间滤波器中...
关键词：全息术 光谱仪 衍射光栅 罗兰圆 帕邢-龙格结构 线密度误差 
双光栅切换微型平场全息凹面光栅光谱仪被引量：9
《光学学报》2013年第1期24-30,共7页孔鹏 唐玉国 巴音贺希格 齐向东 李文昊 崔锦江 
国家自然科学基金(60478034;61007063);国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120023);国家创新方法工作专项项目(2008IM040700);中国科学院知识创新项目(100132H100)资助课题
基于CCD的微型平场全息凹面光栅光谱仪,以其简单紧凑的结构和快速高效的工作方式在光谱分析领域获得了广泛的应用。但是,由于受限于色散距离,单纯依靠优化光栅像差很难进一步使光谱分辨率获得大幅提高。提出一种双光栅切换微型平场全息...
关键词：光谱学 光谱仪 衍射光栅 平场 宽光谱 分辨率 通光效率 
球差在平场全息凹面光栅设计中的作用被引量：1
《激光与光电子学进展》2013年第1期93-98,共6页孔鹏 巴音贺希格 齐向东 李文昊 崔锦江 
国家自然科学基金(60478034);国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120023);国家创新方法工作专项(2008IM040700);中国科学院知识创新项目(100132H100);江苏省自然科学基金(BK2012188)资助课题
基于平场全息凹面光栅几何像差理论,分析了初级像差与高阶像差特别是球差对平场全息凹面光栅成像的作用。通过一个具体的设计,分别讨论宽波段光栅和窄波段光栅设计中校正球差与否对设计结果的影响。通过对光谱像大小和各种像差系数大小...
关键词：光栅 光谱仪 平场 全息凹面光栅 几何像差 点列图 
全息光栅制作中光栅掩模槽形形状随光刻胶特性曲线的演化规律被引量：2
《光学精密工程》2012年第11期2380-2388,共9页韩建 巴音贺希格 李文昊 孔鹏 
国家自然科学基金资助项目(No.60478034);国家创新方法工作专项资助项目(No.2008IM040700);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2011YQ120023);中国科学院知识创新工程资助项目(No.100132H100)
为分析光栅槽形形成的基本原理及槽形随光刻胶特性曲线的演化规律,建立了显影过程中光栅掩模槽形形成的演化模型。基于光刻胶溶解速率在不同曝光量区间的变化,将光刻胶特性曲线分成3个不同区域并分析各区域在光栅掩模槽形形成中的作用,...
关键词：全息光栅 非线性效应 槽深 掩模槽形 光刻胶 
闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证被引量：10
《光学精密工程》2012年第9期1904-1912,共9页吴娜 谭鑫 巴音贺希格 唐玉国 
"863"重大项目(No.2010AA1221091001);国家重大科研装备研制项目(No.ZBYZ2008-1);中国科学院重大科研装备研制项目(No.YZ201005);吉林省科技发展计划资助项目(No.20070523;No.20086013);国家创新方法工作专项资助项目(No.2008IM040700)
依据特征曲线法推导了非晶体表面的离子束刻蚀模拟方程,结合全息光栅的刻蚀特点开发出离子束刻蚀模拟程序,并通过实验数据分析并优化了非晶体材料刻蚀速率与离子束入射角的关系方程,最后利用离子束刻蚀实验对所开发的离子束刻蚀模拟程...
关键词：闪耀光栅 全息光栅 衍射效率 刻蚀模拟 离子束刻蚀 
红外晶体材料应力双折射测试方法研究被引量：1
《长春理工大学学报（自然科学版）》2012年第3期54-58,共5页撖芃芃 刘家燕 
国家创新方法工作专项项目(2008IM040700);吉林省科技支撑计划项目(20106011)
本文详细介绍了一种用于红外波段测量红外晶体材料应力双折射的测试方法。选择了3.39μm的激光作为测试光源,选择蓝宝石晶体为待测红外晶体材料,同时在传统1/4波片测试法的基础上进行了改进,使该方法可以用来测量红外晶体材料的应力双折...
关键词：红外晶体材料 1/4波片法 应力双折射 光程差 
刻线误差与面型误差对平面光栅光谱性能影响的二维快速傅里叶变换分析方法被引量：12
《光学学报》2012年第11期35-44,共10页李晓天 巴音贺希格 齐向东 于海利 唐玉国 
国家自然科学基金(60478034);国家创新方法工作专项项目(2008IM040700);国家重大科研装备研制项目(ZDY2008-1);国家重大科学仪器设备开发专项项目(11YQ120023);吉林省重大科技攻关项目(09ZDGG005)资助课题
光栅刻线误差与基底面型误差影响平面光栅衍射波前、分辨本领、鬼线、卫线及杂散光等光谱性能,研究光栅性能指标与光栅刻线误差及基底加工误差之间的因果关系,对提高光栅质量极为重要。根据光栅衍射中产生的源于刻线误差与面型误差的光...
关键词：光栅 快速傅里叶变换 衍射波前 光栅指标 光栅刻线误差 
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