国家自然科学基金(50775209E052502)

作品数：3被引量：13H指数：2
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压阻式微加速度计灵敏度的温度特性研究被引量：5
《传感技术学报》2008年第9期1536-1540,共5页王楷群 张文栋 毛海央 
国家自然基金资助(50775209/E052502)
以压阻式微加速度计为研究对象,定量研究了环境温度对其灵敏度的影响。理论研究结果表明,压阻式微加速度计灵敏度的相对误差随着温度偏差绝对值的增大而增大;其中灵敏度误差在温度偏差为+20℃时达到-4.943%,在温度偏差为-20℃时达到4.9...
关键词：相对误差 温度偏差 迁移率 灵敏度 压阻式微加速度计 
(100)面硅片各向异性腐蚀中的凸角补偿方式被引量：7
《纳米技术与精密工程》2008年第1期68-71,共4页郭涛 范波 郭虎岗 高健飞 
国家自然科学基金资助项目(50775209/E052502)
为了避免微加速度计在加工过程中,由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象,必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的要求,在腐蚀开始前设计好补偿的掩膜图形,使之在特定的腐蚀时间后显现出理想的凸角形状.以一种梁-质量...
关键词：梁-质量块结构微加速度计 湿法腐蚀 凸角补偿 各向异性腐蚀 
可靠性预计模型被引量：1
《纳米技术与精密工程》2007年第4期285-288,共4页熊继军 高健飞 郭涛 范波 
国家自然科学基金重点项目(50775209/E052502)
微加速度计是集微电子与机械于一体的加速度敏感元件.微加速度计的应用越来越广泛,但是其可靠性问题成为制约微加速度计市场化的关键因素.为了预计压阻式微加速度计的可靠性,分析了一个完整的压阻式微加速度计,它由加速度计微结构、键...
关键词：微加速度计 可靠性 预计模型 失效率 
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