辽宁省高校创新团队支持计划(2007T130)

作品数：4被引量：7H指数：1
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相关作者：揣荣岩王健刘晓为刘本伟崔林更多>>
相关机构：沈阳工业大学哈尔滨工业大学沈阳化工学院中国石油天然气集团公司更多>>
相关期刊：《沈阳工业大学学报》《传感技术学报》《仪表技术与传感器》更多>>
相关主题：密封腔牺牲层多晶硅压力传感器高灵敏更多>>
相关领域：机械工程动力工程及工程热物理电子电信理学更多>>
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高灵敏压力传感器过载保护结构设计被引量：5
《传感技术学报》2011年第5期675-678,共4页揣荣岩 孙瑞 刘晓为 王健 
国家自然科学基金项目(60776049);辽宁省教育厅创新团队项目(2007T130)
采用微机电系统（MEMS）牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小,灵敏度高的优势,但同时也带来了提高过载能力的难题。为此,利用有限元法,对牺牲层结构压阻式压力传感器弹性膜片的应力分布进行了静态线性分析和非线性接触分析。通过...
关键词：压力传感器 牺牲层技术 过载保护 非线性接触 
基于电流致重结晶的Poly-Si纳米薄膜电阻电学修正特性
《纳米技术与精密工程》2011年第1期11-15,共5页施长治 崔虹云 刘晓为 揣荣岩 李智 
国家自然科学基金资助项目(60776049);辽宁省科学技术基金资助项目(20072036);辽宁省教育厅创新团队资助项目(2007T130)
为了提高基于多晶硅纳米薄膜的压阻传感器的性能及成品率,对不同厚度多晶硅薄膜的电阻电学修正特性进行了研究.采用低压化学气相淀积(LPCVD)工艺,620℃下制备多晶硅薄膜.通过固相扩散法实现高掺硼,并基于光刻工艺制作成电阻.实验结果表...
关键词：多晶硅 纳米薄膜 电学修正 电流致重结晶 薄膜厚度 
多晶硅纳米薄膜牺牲层压力敏感结构设计被引量：2
《仪表技术与传感器》2010年第2期10-12,21,共4页揣荣岩 崔林 王健 刘本伟 郑雁公 李新 
国家自然科学基金资助项目(60776049);辽宁省科学技术基金资助项目(20072036);辽宁省教育厅创新团队资助项目(2007T130);辽宁省微纳米技术及系统重点实验室;微系统与微制造辽宁省高校重点实验室开放基金资助项目
为使多晶硅纳米薄膜良好的压阻特性在MEMS（微机电系统）压阻传感器中得到有效应用，在设计牺牲层结构压力传感器芯片中探索性地采用了多晶硅纳米薄膜作为应变电阻，并给出这种传感器的设计方法。分析了牺牲层结构弹性膜片的应力分布对...
关键词：牺牲层 有限元 多晶硅纳米薄膜 密封腔 
牺牲层结构压力传感器技术
《沈阳工业大学学报》2009年第5期587-590,共4页揣荣岩 郑雁公 刘本伟 王文东 崔林 李新 
国家自然科学基金资助项目(60776049);辽宁省科学技术基金资助项目(20072036);辽宁省教育厅创新团队项目(2007T130);辽宁省微纳米技术及系统重点实验室;微系统与微制造辽宁省高校重点实验室开放基金资助项目
为使多晶硅纳米薄膜良好的压阻特性在微机电系统压阻传感器中得到有效应用,在设计牺牲层结构压力传感器芯片中探索性地采用多晶硅纳米薄膜作为应变电阻,并对这种传感器的工艺方法进行了研究.通过对牺牲层材料及结构的分析,给出了传感器...
关键词：压力传感器 牺牲层 灵敏度 工艺设计 化学气相淀积 多晶硅 纳米薄膜 密封腔 
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