教育部科学技术研究重大项目(0216)

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相关机构：重庆大学重庆工学院中国电子科技集团中国电子科技集团第二十四研究所更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《中国机械工程》《微纳电子技术》更多>>
相关主题：MEMS微加速度传感器压力传感器过载保护各向异性腐蚀更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
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MEMS微加速度传感器的系统级仿真
《中国机械工程》2005年第z1期293-295,共3页刘妤 温志渝 张流强 梁玉前 
国家自然科学基金资助项目(10176040);微米纳米加工技术国家重点实验室基金资助项目(514850202JW2001);教育部科学技术研究重大项目(0216);重庆大学MEMS设计联合开放实验室资助项目
概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真.
关键词：MEMS CAD 微加速度传感器 系统级仿真 宏模型 
真空微电子压力传感器的研制被引量：7
《光学精密工程》2004年第6期603-607,共5页温志渝 温中泉 徐世六 刘玉奎 张正元 陈刚 杨国渝 
"863"MEMS重大专项(2002AA404080)资助课题;教育部科学技术研究重大项目(0216)资助课题;重庆市"十五"攻关项目资助课题;微米/纳米加工技术国家重点实验室基金资助课题;国防科技模拟集成电路实验室资助课题。
提出了一种带过载保护功能的真空微电子压力传感器。对传感器的压力敏感膜尺寸、阴阳极间距等结构参数进行了分析计算;针对过载保护的问题,在结构上设计了过载保护环,实现了真空微电子压力传感器的过载自保护功能。采用硅的干、湿法结...
关键词：压力传感器 过载保护 场致发射阴极锥尖阵列 各向异性腐蚀 
微加速度传感器的研究现状及发展趋势被引量：9
《光学精密工程》2004年第z1期81-86,共6页刘妤 温志渝 张流强 刘玉奎 梁玉前 
国家自然科学基金资助项目(No.10176040);微米纳米加工技术国家重点实验室基金资助(514850202JW2001);教育部科学技术研究重大项目(0216);光电技术及系统教育部重点实验室访问学者基金资助
基于MEMS技术的微型传感器是微机电系统研究中最具活力与现实意义的领域.微加速度传感器作为微传感器的重要分支一直是热门的研究课题.本文基于对微加速度传感器研究现状的综述,探讨了微加速度传感器的发展趋势.
关键词：微加速度传感器 MEMS 
真空微电子加速度传感器结构的有限元分析被引量：2
《微纳电子技术》2003年第7期292-294,301,共4页彭述成 温志渝 温中泉 潘银松 李霞 
"8 63"计划MEMS重大专项资助 (2 0 0 2AA 2 A16);教育部科学技术研究重大项目资助 (0 2 16)
论述了真空微电子加速度传感器的结构及工作原理 ,应用有限元方法对加速度传感器进行了静力学和动力学分析 ,拟合出悬臂梁的长宽厚与质量块最大位移量的关系曲线和谐振频率的关系曲线以及质量块受迫振动的谐响应曲线。
关键词：真空微电子 加速度传感器 结构 有限元分析 场致发射 力学量传感器 工作原理 
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