国家自然科学基金(50977056)

作品数：4被引量：5H指数：1
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相关作者：赵小林戴旭涵王佩红丁桂甫隋灵禾更多>>
相关机构：上海交通大学上海新阳半导体材料股份有限公司安徽大学更多>>
相关期刊：《微纳电子技术》《功能材料与器件学报》《复旦学报（自然科学版）》更多>>
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闭锁电热微开关的制备及性能测试
《功能材料与器件学报》2012年第5期345-349,共5页张颖 汪红 毛胜平 戴旭涵 丁桂甫 
上海市科委项目(11DZ2290203);国家自然基金(50977056)
本文主要介绍了一种闭锁电热微开关的制备及性能测试。利用双层膜电热微驱动器,基于双悬臂梁的结构设计,实现开关的驱动和闭锁。采用MEMS表面微加工技术完成所设计微开关器件的制备,并对其进行性能测试。结果表明,施加的脉冲电信号的最...
关键词：电热驱动 机械锁定 MEMS微加工工艺 时序双脉冲电信号 
基于单轴微拉伸的TSV铜力学性能研究被引量：1
《复旦学报（自然科学版）》2012年第2期184-189,I0004,I0005,共8页李君翊 汪红 王溯 王慧颖 程萍 张振杰 丁桂甫 
科技部重大专项基金资助项目(02专项:2011ZX02702);国家自然科学基金资助项目(50977056)
电子产品的微型化趋势使芯片的三维集成概念应运而生,并通过硅通孔(TSV-through silicon via)技术得以实现.为了测试TSV中互连铜(Cu-TSV)的力学性能,提出了1个简便、易于操作的单轴微拉伸方法.利用有限元分析优化设计Cu-TSV微拉伸试样...
关键词：硅通孔 互连铜 微拉伸 微观力学性能 
MEMS永磁振动发电机的设计、制作和测试被引量：1
《信息与电子工程》2011年第1期96-100,共5页王佩红 赵小林 戴旭涵 汪忠柱 
国家自然科学基金资助项目(51007001和50977056)
提出了一种基于微电子机械系统技术的微型永磁振动发电机。该发电机能够采集自然界中存在的机械振动能并转换成电能。它主要包括1个固定的双层铜线圈和1个由永磁体和硅基平面弹簧构成的拾振系统。采用体硅微加工和微电镀技术制作硅基平...
关键词：微机电系统 振动发电机 永磁 微加工技术 铜线圈 镍弹簧 
MEMS镍平面弹簧非线性力学性能仿真及研究被引量：3
《微纳电子技术》2010年第12期736-741,共6页隋灵禾 戴旭涵 王佩红 赵小林 
国家自然科学基金资助项目(50977056)
工程应用中,平面微弹簧存在弹性系数的非线性现象且难以被忽略,弹簧结构的几何非线性是引起这种现象的主要原因。针对特定形状的弹簧运用Ansys软件进行了非线性有限元静力学仿真,计算出弹簧弹性力F与弹性形变x之间的对应关系,并与采用M...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 平面微弹簧 弹性系数 几何非线性 ANSYS 
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