国家自然科学基金(61104093)

作品数：11被引量：20H指数：2
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相关机构：沈阳化工大学中国科学院东北大学大连交通大学更多>>
相关期刊：《控制理论与应用》《沈阳化工大学学报》《工业安全与环保》《半导体技术》更多>>
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基于误差补偿的谷氨酸发酵过程模型预测控制研究被引量：1
《沈阳化工大学学报》2016年第1期70-75,共6页关长亮 王贵成 
国家自然科学基金资助项目(61104093)
谷氨酸发酵过程是一种具有高度的非线性、强烈的时变性和大滞后等因素的生化过程.本文将神经网络和预测控制算法相结合,用于解决谷氨酸发酵过程非线性控制问题.首先,通过神经网络实现非线性模型的预测能力;然后,引入动态矩阵控制,建立...
关键词：谷氨酸发酵过程 非线性系统 神经网络 多变量 动态矩阵控制 
集束型半导体装备的性能分析模型研究被引量：1
《现代制造工程》2014年第8期19-25,共7页郑秀红 马纪颖 
国家自然科学基金项目(61104093)
由于集束型装备自身结构的复杂多变,使得对集束型装备的性能分析和产能预测变得非常困难。建立集束型装备性能分析模型是预测装备产能和辅助装备设计的有效方式之一。以可扩展的模块化方式,建立了装备的随机Petri网模型,模型中引入随机...
关键词：随机PETRI网 集束型 半导体 马尔可夫链 性能 模型 
中央空调机房降噪技术的研究被引量：2
《工业安全与环保》2014年第7期75-78,共4页刘欢 王健 李金凤 郭烁 张琳琳 王庆辉 李金娜 
国家自然科学基金(61104093);辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2012141)
中央空调已得到广泛应用,但产生的噪声对居民生活的危害非常严重。以某住宅小区中央空调机房的噪声治理为例,通过对现场测量数据的分析,从吸声和隔声2个方面降低噪声,对机组噪声进行综合治理。结果表明,此方案降噪效果明显,能够满足国...
关键词：中央空调机组 吸声 隔声 降噪 
冷却塔的噪声特性分析与噪声治理被引量：8
《工业安全与环保》2014年第6期75-78,共4页刘欢 王健 李金凤 郭烁 张琳琳 王庆辉 李金娜 
国家自然科学基金(61104093);辽宁省教育厅项目(L2012141)
以某高档商务酒店式公寓冷却塔的噪声治理为例,通过对其噪声数据的测量,详细分析了冷却塔噪声的来源和特性,并从消声、吸声、隔声等方面阐述了一种实用的控制措施。结果表明,此方案不仅降噪效果明显,而且能够完全满足设备所需通风量和...
关键词：冷却塔 噪声治理 消声器 声屏障 
水泵机组的双层隔振功率流研究
《工业安全与环保》2014年第5期78-80,共3页刘欢 王健 李金凤 郭烁 张琳琳 王庆辉 李金娜 
国家自然科学基金(61104093);辽宁省教育厅(L2012141)
通过研究水泵机组和地基的隔振装置,建立了水泵机组的双层隔振设计模型。通过改变双层隔振系统中间质量块的质量,由仿真计算得到双层隔振系统输入功率流和传递功率流频率特性曲线等参数,并应用到实际工程中,有效地降低了噪声。结果证明...
关键词：噪声 水泵 双层隔振 功率流 
基于SRN的集束型半导体装备批加工模型
《半导体技术》2014年第4期309-314,共6页郑秀红 
国家自然科学基金资助项目(61104093)
为了分析集束型半导体装备的性能,研究了系统批加工过程的随机回报网模型,模型不仅可以描述装备的批加工过程和机械手的操作序列,还可以用来分析装备的性能。该模型适用于装备的并行晶圆流和串行晶圆流、串-并混合型模式。在模型中,用...
关键词：随机回报网(SRN) 模型 集束型装备 半导体 批加工 
基于GMM核的LS-SVM真核启动子模型
《化工学报》2013年第12期4662-4666,共5页郭烁 袁德成 郭娲 
国家自然科学基金项目(61104093);辽宁省科学研究基金项目(L2012141);辽宁省教学研究基金项目(2011A017)~~
由于真核启动子DNA序列结构复杂、数据量巨大,启动子序列辨识一直是一个难点。首先对真核启动子序列寡核苷酸位置分布特征进行高斯混合模型建模,能够将出现频率少但重要的基序提取出来。并将高斯混合模型作为真核启动子最小二乘支持向...
关键词：高斯混合模型 核函数 最小二乘支持向量机 脱氧核糖核酸 模型简化 算法 
具有时变采样周期网络控制系统的严格耗散控制(英文)被引量：6
《控制理论与应用》2013年第9期1170-1177,共8页李媛 张庆灵 邱占芝 蔡敏 
supported by the National Natural Science Foundation of China(Nos.61074029,61104093,61273008)
研究具有时变采样周期和数据丢包的网络控制系统的渐近稳定和严格耗散控制问题.针对采样周期时变且在标称周期上下波动,数据丢包数有界,利用参数不确定的方法,网络控制系统建模为一类带有参数不确定的离散时滞系统.构造一个改进的李雅...
关键词：网络控制系统 时变采样周期 数据丢包 严格耗散控制 参数不确定性 
半导体制造过程R2R控制方法研究进展被引量：1
《现代制造工程》2013年第3期4-10,99,共8页王亮 胡静涛 王志艳 
国家自然科学青年基金资助项目(61104093);国家科技重大专项基金资助项目(2009ZX02008-003;2009ZX02001-005)
随着半导体器件关键尺寸的不断减小、集成度的不断提高和晶圆直径的不断增大,半导体制造过程变得越来越复杂,对半导体制造装备及其自动化水平要求越来越高。半导体制造过程Run-to-Run(R2R)控制器的性能直接决定半导体产品的良率、再工...
关键词：半导体制造 过程控制 R2R控制方法 指数加权移动平均 预测控制 
CMP过程多变量免疫预测R2R控制方法
《仪器仪表学报》2012年第11期2586-2593,共8页王亮 胡静涛 
国家科技重大专项(2009ZX02008-003);国家科技重大专项(2009ZX02001-005);国家自然科学青年基金(61104093);973计划前期研究专项课题(2010CB334705)资助项目
为了解决多输入多输出和产品质量不易在线测量的化学机械研磨(chemical mechanical polishing,CMP)过程R2R(run-to-run)控制的难题,提出了一种基于贝叶斯最小二乘支持向量机(Bayes least squares support vector machine,BLS-SVM)预测...
关键词：化学机械研磨 R2R控制 最小二乘支持向量机 贝叶斯证据框架 克隆选择 预测控制 
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