国家自然科学基金(50975002)

作品数：31被引量：105H指数：5
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相关作者：储向峰董永平白林山张王兵孙文起更多>>
相关机构：安徽工业大学滁州学院更多>>
相关期刊：《新乡学院学报》《稀有金属材料与工程》《铜业工程》《Journal of Rare Earths》更多>>
相关主题：化学机械抛光抛光液钌锇蓝宝石更多>>
相关领域：金属学及工艺电子电信化学工程理学更多>>
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添加剂对微晶玻璃化学机械抛光的影响被引量：5
《润滑与密封》2017年第11期53-57,共5页白林山 王金普 储向峰 
教育部高校留学回国人员科研项目;国家自然科学基金项目(50975002)
利用自制抛光液对微晶玻璃进行化学机械抛光,研究络合剂、氧化剂、润滑剂种类及添加量对微晶玻璃化学机械抛光材料去除速率和表面粗糙度的影响。结果表明:抛光液中加入质量分数0.2%的EDTA络合剂后,能大幅降低材料表面粗糙度;加入质量分...
关键词：微晶玻璃 化学机械抛光 络合剂 氧化剂 润滑剂 
二氧化铈抛光液化学机械抛光微晶玻璃的机理及优化被引量：4
《金刚石与磨料磨具工程》2017年第2期1-5,10,共6页白林山 王金普 储向峰 
国家自然科学基金项目(50975002);教育部高校留学回国人员科研项目
以纳米CeO_2为磨料自制抛光液,研究磨料质量分数、pH值、抛光液流量、抛光盘转速、表面活性剂种类和氟化铵质量分数等因素对微晶玻璃化学机械抛光的影响,分析总结CeO_2在微晶玻璃化学机械抛光中的作用机理,利用原子力显微镜(AFM)检测微...
关键词：二氧化铈 微晶玻璃 化学机械抛光 材料去除速率 
A向蓝宝石化学机械抛光研究被引量：8
《金刚石与磨料磨具工程》2016年第3期43-49,共7页王金普 白林山 储向峰 
国家自然科学基金项目(50975002);教育部高校留学回国人员科研项目;安徽省教育厅自然科学基金(KJ2011A057)
以纳米氧化铝为磨料对A向蓝宝石进行化学机械抛光,实验中考察了磨料浓度、磨料粒径、抛光时间、抛光压力以及NH4F浓度等因素对A向蓝宝石的材料去除速率和表面粗糙度的影响。利用原子力显微镜(AFM)检测抛光后A向蓝宝石的表面粗糙度,系统...
关键词：A向蓝宝石 化学机械抛光 氟化铵 材料去除速率 表面粗糙度 
锇化学机械抛光过程中表面活性剂的作用研究
《稀有金属材料与工程》2016年第3期798-801,共4页白林山 梁淼 储向峰 董永平 张王兵 
国家自然科学基金项目(50975002);安徽工业大学创新团队项目(TD201204);教育部高校留学回国人员科研项目
利用化学机械抛光方法对锇基片进行表面平坦化处理,通过自制抛光液研究不同表面活性剂对锇化学机械抛光效果的影响。采用电化学分析方法和X射线光电子能谱(XPS)仪分析表面活性剂对锇抛光的影响,利用原子力显微镜(AFM)观察抛光后锇的表...
关键词：化学机械抛光 锇 表面活性剂 电化学 
不同磨料对微晶玻璃化学机械抛光的影响被引量：3
《纳米技术与精密工程》2015年第1期74-79,共6页王金普 白林山 储向峰 
教育部高校留学回国人员科研资助项目;安徽工业大学创新团队资助项目(TD201204);国家自然科学基金资助项目(50975002)
为了提高微晶玻璃化学机械抛光(CMP)的材料去除速率(MRR),降低其表面粗糙度,利用自制的抛光液对微晶玻璃进行化学机械抛光,研究了4种含不同磨料(Si O2、Al2O3、Fe2O3、Ce O2)的抛光液对微晶玻璃化学机械抛光MRR和表面粗糙度的影响.利用...
关键词：微晶玻璃 化学机械抛光 材料去除速率 表面粗糙度 磨料 
硬盘微晶玻璃基板化学机械抛光研究被引量：4
《人工晶体学报》2015年第1期216-220,共5页王金普 白林山 储向峰 
国家自然科学基金(50975002);教育部高校留学回国人员科研项目;安徽省教育厅自然科学基金(KJ2011A057)
利用自制的抛光液对硬盘微晶玻璃基板进行化学机械抛光。研究了抛光压力、SiO2浓度、pH和氧化剂过硫酸铵浓度等因素对材料去除速率MRR和表面粗糙度Ra的影响,系统分析了微晶玻璃抛光工艺过程中的影响因素,优化抛光工艺条件,利用原子力显...
关键词：微晶玻璃 化学机械抛光 表面粗糙度 材料去除率 
水杨酸体系抛光液中钌的化学机械抛光研究被引量：3
《稀有金属材料与工程》2014年第12期3120-3123,共4页王婕 储向峰 董永平 白林山 叶明富 孙文起 
国家自然科学基金项目(50975002);安徽工业大学创新团队项目(TD201204);教育部高校留学回国人员科研项目
研究了抛光液中H2O2和水杨酸浓度对钌的抛光速率的影响。采用电化学方法和X射线光电子能谱分析了H2O2和水杨酸对金属钌腐蚀效果的影响;采用原子力显微镜观察钌表面的微观形貌。结果表明:水杨酸浓度的增加有利于金属钌表面钝化膜的形成,...
关键词：钌 化学机械抛光 水杨酸 
络合剂对蓝宝石晶片化学机械抛光的影响被引量：5
《机械科学与技术》2014年第7期1027-1030,共4页熊伟 白林山 储向峰 董永平 陈均 毕磊 叶明富 
国家自然科学基金项目(50975002);安徽工业大学创新团队项目(TD201204);教育部高校留学回国人员科研项目资助
利用自制的抛光液对蓝宝石晶片进行化学机械抛光,研究化学机械抛光过程中抛光压力、抛光液pH值、SiO2浓度、络合剂种类及其浓度等参数对抛光速率的影响,采用MicroNano D-5A扫描探针显微镜观察抛光前后蓝宝石晶片的表面形貌。结果表明:...
关键词：蓝宝石 化学机械抛光 抛光速率 络合剂 
SiO_2/CeO_2复合磨粒的制备及在蓝宝石晶片抛光中的应用被引量：14
《光学精密工程》2014年第5期1289-1295,共7页白林山 熊伟 储向峰 董永平 张王兵 
国家自然科学基金资助项目(No.50975002);安徽工业大学创新团队项目(No.TD201204);教育部高校留学回国人员科研项目;安徽工业大学研究生创新基金资助项目(No.2012029)
采用均相沉淀法制备了SiO2/CeO2复合磨料,并利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)等对样品的相组成和形貌进行了表征。将所制备的SiO2/CeO2复合磨料用于蓝宝石晶片的化学机械抛光,利用原子力显微镜...
关键词：蓝宝石晶片 化学机械抛光 表面粗糙度 SiO2/CeO2 复合磨料 
乳酸体系抛光液中锇的化学机械抛光被引量：2
《纳米技术与精密工程》2014年第1期74-78,共5页梁淼 储向峰 董永平 张王兵 孙文起 
国家自然科学基金资助项目(50975002);安徽工业大学创新团队资助项目(TD201204);教育部高校留学回国人员科研资助项目
本文研究了乳酸(HL)体系抛光液中金属锇的化学机械抛光(CMP)行为,采用电化学分析方法和X射线光电子能谱仪(XPS)分析氧化剂和腐蚀抑制剂的作用机理,利用原子力显微镜(AFM)观察抛光前后锇的表面形貌.结果表明,当抛光液仅含有H2O2时,金属...
关键词：化学机械抛光 锇 乳酸 极化曲线 
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