国家自然科学基金(60076027)

作品数：6被引量：14H指数：2
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硅基微电感的研究
《黑龙江大学自然科学学报》2006年第3期354-358,共5页李点美 王璐 杨志 温殿忠 
国家自然科学基金资助项目(60076027)
阐述了一种在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金属膜形成的欧姆接触电极作为内引线的硅基电感的新制造方法,提出了在硅杯背面用激光器打孔以减薄衬底厚度,从而使电感的Q值得到提高的一种方案,并应用目前普遍采用的电感模型,利用Ansys有限元...
关键词：MEMS 浓硼扩散区 内引线 激光打孔 硅基微电感 
基于MEMS技术新型硅磁敏三极管负阻-振荡特性被引量：3
《Journal of Semiconductors》2005年第6期1214-1217,共4页赵晓锋 温殿忠 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60076027)~~
介绍了一种新型硅磁电负阻振荡器件———S型负阻振荡硅磁敏三极管.该器件是基于MEMS技术在p型高阻单晶硅片上制作的具有立体结构的新型磁电转换器件,采用KOH各向异性腐蚀技术实现发射区及引线的制作.实验结果表明,集电极电流随外加磁...
关键词：MEMS S型负阻-振荡特性 硅磁敏三极管 雪崩倍增效应 
基于SOI硅片研制新型P^+-I-N^+双注入磁敏差分电路被引量：1
《传感器技术》2005年第4期84-85,88,共3页田凤军 温殿忠 
国家自然科学基金资助项目(60076027)
阐述基于SOI硅片制造新型P+ I N+双注入磁敏差分电路的设计原理和制造工艺。构成新型P+ I N+双注入磁敏差分电路的磁敏三极管的复合区采用MEMS中的各向异性腐蚀技术进行设置,给出了这种复合区的复合机理。实验结果表明:此种三极管具有...
关键词：磁敏三极管 低噪声 微机电系统 各向异性腐蚀 
采用MEMS制作新型硅磁敏三极管特性研究被引量：3
《传感器技术》2004年第9期86-88,共3页赵晓锋 田凤军 温殿忠 
国家自然科学基金资助项目(60076027)
给出采用MEMS技术在硅片表面制作矩形板状立体结构新型硅磁敏三极管的基本结构及灵敏度特性、电压-电流特性、磁电特性和温度特性,对新型硅磁敏三极管样品基本特性进行研究的结果表明:该新型硅磁敏三极管的集电极电流相对磁灵敏度较高,...
关键词：硅磁敏三极管 MEMS技术 磁灵敏度 
激光刻蚀硅磁敏三极管发射区引线槽的研究被引量：6
《中国激光》2003年第5期454-456,共3页温殿忠 
国家自然科学基金 (编号 :60 0 760 2 7)资助项目
提出了一种激光与微电子机械加工系统 (MEMS)相结合刻蚀硅磁敏三极管发射区引线槽的方法。实验结果表明 ,利用这种新方法刻蚀的硅磁敏三极管发射区引线槽具有刻蚀速率大、质量好的优点 ,并且可以实现对 ,〈111〉晶向硅片无掩膜加工。
关键词：激光技术 激光刻蚀 微电子机械加工系统 磁敏三极管 引线槽 
采用MEMS技术制造硅磁敏三极管被引量：7
《传感器技术》2001年第5期49-52,共4页温殿忠 穆长生 赵晓峰 
国家自然科学基金资助项目! (60 0 760 2 7)
阐述了采用MEMS技术与反外延技术相结合在硅片表面制造具有矩形板状立体结构的硅磁敏三极管的设计原理、结构和工艺。结果表明 ,设计的硅磁敏三极管制造技术不但能与IC工艺相兼容 ,而且便于集成化 ,将有广泛的应用领域。
关键词：MEMS技术 反外延技术 硅磁敏三极管 
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