国家科技重大专项(2009ZX02207)

作品数：45被引量：186H指数：8
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相关作者：陈兴林魏凯刘川姜晓明王岩更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学黑龙江大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所黑龙江省工业技术研究院更多>>
相关期刊：《自动化仪表》《自动化与仪表》《系统工程与电子技术》《组合机床与自动化加工技术》更多>>
相关主题：光刻机工件台直线电机迭代学习控制FPGA更多>>
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压电式倾斜镜迟滞特性及其实验研究被引量：2
《光学学报》2018年第8期375-381,共7页于志亮 姜晓明 曹开锐 李松 王岩 
国家科技重大专项(2009ZX02207);国家自然科学基金(51537002);国家自然科学基金青年科学基金(61503096)
空间激光通信精瞄系统中压电式倾斜镜存在的迟滞非线性特性,不仅降低了精瞄系统定位精度,而且对信标光的捕获以及链路的稳定性造成影响。针对该问题,提出一种基于PLAY迟滞算子改进Prandtl-Ishlinskii(P-I)数学模型及参数辨识方法,利用...
关键词：激光通信 倾斜镜 压电陶瓷执行器 迟滞特性 改进Prandtl-Ishlinskii迟滞模型 
磁悬浮平面电机的建模与仿真被引量：3
《自动化技术与应用》2017年第10期108-111,共4页李杨 刘杨 浑陆 饶裕 
国家极大规模集成电路制造装备与成套工艺的国家重大科技专项(编号2009ZX02207)
磁浮平面电机是一种新型的平面电机,这种平面电机可以实现在六个自由度上的运动,可实现真空条件更适合于在光刻机中使用。本文以鱼骨型动磁式磁浮平面电机为分析目标,在充分了解电机气隙磁场的基础上,建立磁浮平面电机的磁场模型并进行...
关键词：平面电机 磁浮 鱼骨型建模 磁感应强度分布 
电机同步过程中的扰动抑制被引量：1
《自动化技术与应用》2017年第10期131-134,共4页齐彪 刘杨 饶裕 魏凯 强盛 
国家极大规模集成电路制造装备与成套工艺的国家重大科技专项(编号2009ZX02207)
双工件台换台是光刻机研制的核心,换台过程要求高速度和高精度,因此扰动的存在极易导致换台的失败。本文主要对Y向多电机同步过程中的扰动进行了分析与抑制。结合现有的同步控制策略,介绍了基于扰动补偿的同步控制策略,将扰动观测器应...
关键词：光刻机 同步运动 扰动抑制 动态补偿 
基于CCD摄像头的目标跟踪系统设计被引量：1
《自动化技术与应用》2017年第9期97-99,共3页齐彪 刘杨 饶裕 浑陆 强盛 
国家极大规模集成电路制造装备与成套工艺的国家重大科技专项(编号2009ZX02207)
目标随动控制系统是典型的自动化控制系统之一,被广泛的应用于跟踪技术等研究领域当中。设计是基于K60单片机的摄像式图像实时采集测量系统,主要是采用索尼CCD摄像头作为位置传感器,其输出的视频信号经外部模数转换器转换成八位数字量,...
关键词：目标跟踪 随动控制 图像处理 单片机 
压电陶瓷执行器迟滞补偿及复合控制被引量：17
《光学精密工程》2017年第8期2113-2120,共8页于志亮 王岩 曹开锐 陈昊 
国家科技重大专项(No.2009ZX02207);国家自然科学基金重点资助项目(No.51537002);国家青年自然科学基金资助项目(No.61503096)
快速倾斜镜是星间激光通信终端精瞄系统的核心部件,其驱动装置为压电陶瓷执行器,而压电陶瓷具有迟滞特性,其严重影响了快速倾斜镜的定位精度,进而对星间通信链路的稳定性造成不利影响。为解决这一问题,本文设计了一种改进Prandtl-Ishlin...
关键词：快速倾斜镜 激光通信 精瞄系统 压电陶瓷执行器 迟滞特性 改进PI迟滞模型 复合控制 
光刻机工件台自转电机控制系统设计被引量：2
《自动化技术与应用》2016年第9期20-23,共4页宋跃 张常江 强盛 刘洋 何良辰 
国家极大规模集成电路制造装备与成套工艺的国家重大科技专项(编号2009ZX02207)
双工件台是光刻机的重要部分,为了保证其曝光的准确性,提出一种基于FPGA和DSP的工件台自转电机的控制系统设计方案。详细介绍了控制系统的驱动电路、永磁同步电机执行机构和传感器等方面的设计。运动控制卡主要采用TI公司的TMS320C6414...
关键词：光刻机工件台 圆光栅 自转电机 
DSP用户程序二次引导加载设计被引量：4
《自动化技术与应用》2016年第8期47-51,共5页万勇利 韩纪晓 赵为志 陈兴林 
国家极大规模集成电路制造装备与成套工艺的国家重大科技专项(编号2009ZX02207)
DSP芯片功耗低,具有很高的运算处理能力,且其EMIF接口可以实现与外部存储扩展的无缝连接。但是DSP本身没有足够的ROM来存放用户程序,这使得在DSP重新上电后,用户加载的程序会丢失,需要重新在线烧写,十分不便。本文介绍一种利用EMIF的FL...
关键词：DSP EMIF FLASH 自动加载 
考虑输入饱和的离散最优积分滑模控制被引量：3
《控制与决策》2016年第7期1317-1320,共4页李理 刘杨 陈兴林 
国家自然科学基金项目(51405097);国家科技重大专项基金项目(2009ZX02207)
针对含有匹配有界干扰的线性离散系统,提出一类最优积分滑模控制算法.在系统开环极点位于单位圆内(上)的前提下,考虑输入饱和,可以实现系统状态的半全局稳定.该算法是低增益反馈和积分滑模的有益结合,通过低增益反馈使输入饱和得到满足...
关键词：离散系统 最优积分滑模控制 输入饱和 
基于输入整形器的公转电机振动抑制
《自动化技术与应用》2016年第7期73-76,共4页韩记晓 张常江 万勇利 刘洋 陈兴林 
国家极大规模集成电路制造装备与成套工艺的国家重大科技专项(编号2009ZX02207))
光刻机是超高精度控制系统,需要实现纳米级的运动与定位精度。而在光刻系统的换台过程中,公转电机处于核心位置,对其性能要求比较高,我们常用定位速度以及精度这些指标来衡量它的性能。但由于运动过程中,公转电机在快速定位时总会产生振...
关键词：公转电机 输入整形器 粒子群优化算法 
光刻机双工件台控制系统任务调度设计被引量：2
《自动化技术与应用》2016年第7期129-134,共6页万勇利 韩记晓 魏凯 陈兴林 
国家极大规模集成电路制造装备与成套工艺的国家重大科技专项(编号2009ZX02207)
双工件台系统是光刻机控制系统的核心,在换台系统下工件台要实现两个工件台互换,换台过程复杂且需要宏动电机的配合,为了保证此过程的安全性又有很多的保护限制,过程中对于上位机的一些指令需要实时响应,这对光刻机控制系统的任务调度...
关键词：双工件台 VXWORKS 任务 调度处理 
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