国家自然科学基金(60878032)

作品数：5被引量：31H指数：2
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相关机构：西安工业大学西安电子科技大学西北工业大学中国空间技术研究院更多>>
相关期刊：《光学学报》《中国激光》《真空科学与技术学报》《西安工业大学学报》更多>>
相关主题：表面粗糙度非平衡磁控溅射DLC薄膜超宽带红外增透膜更多>>
相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
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椭偏方法分析无氢DLC薄膜光学吸收特性
《西安工业大学学报》2012年第10期800-805,共6页杭凌侠 夏方园 郭晓川 
国家自然科学基金资助项目(60878032)
类金刚石(Diamond Like Coobon,DLC)薄膜在光学领域主要用做红外区高强度减反射光学薄膜,准确测定薄膜的消光系数k,是评价薄膜吸收特性的关键环节.考虑到DLC薄膜材料结构的复杂性,研究了椭偏技术在分析无氢DLC薄膜时物理模型的建立方法...
关键词：DLC薄膜 吸收损耗 建模 椭偏法 
离子束后处理对TiO_2薄膜表面粗糙度的影响被引量：12
《中国激光》2010年第4期1108-1113,共6页潘永强 杭凌侠 吴振森 王浩浩 
国家自然科学基金(60878032)资助课题
利用电子束热蒸发技术在两种不同粗糙度的K9玻璃和一批单晶硅基底上沉积了单层二氧化钛(TiO_2)薄膜,并对这些样片进行了氧离子后处理。采用泰勒-霍普森相关相干表面轮廓粗糙度仪(Talysurf CCI)分别对基底以及样片处理前后的表面粗糙度...
关键词：薄膜 二氧化钛 表面粗糙度 离子束后处理 椭偏仪 
UBMS和PVAD法制备DLC薄膜表面微观形貌分析
《西安工业大学学报》2010年第1期13-16,66,共5页杭凌侠 郭晓川 
国家自然科学基金资助项目(60878032)
光学薄膜的表面粗糙度是影响薄膜光学特性的重要因素，薄膜表面产生的散射损耗将影响薄膜的光学质量．采用非平衡磁控溅射（Unbalance Magnetron Sputtering，UBMS）和脉冲真空电弧沉积（Pulsed Vacuum Arc Deposition，PVAD）制备类金...
关键词：DLC薄膜 表面粗糙度 非平衡磁控溅射 脉冲真空电弧沉积 
硒化锌基底2～16μm超宽带硬质红外增透膜的研制被引量：18
《光学学报》2010年第4期1201-1204,共4页潘永强 杭凌侠 梁海锋 田刚 
国家自然科学基金(60878032)资助课题
硒化锌材料具有较宽的透光区,使其在红外区有着广泛的应用,然而其作为基底,镀制超宽带增透膜却有相当大的难度,尤其是膜层强度问题。设计出了硒化锌基底上2～16μm的多层超宽带增透膜,并采用离子束辅助沉积工艺在硒化锌基底上进行了多...
关键词：光学薄膜 超宽带增透膜 离子束辅助沉积 硒化锌 类金刚石薄膜 
电磁阴极磁场分布对磁控溅射系统伏安特性的影响被引量：1
《真空科学与技术学报》2009年第5期474-478,共5页惠迎雪 樊慧庆 弥谦 孙国斌 王稳奇 
国家自然科学基金资助项目(No.60878032);陕西省教育厅资助项目(03JS033)
本文设计了一种新型圆形平面阴极磁控溅射源。该源具有独特的三极线圈结构,改变各线圈励磁电流可调节靶面磁场强度的大小和分布。通过对系统气体放电伏安特性随各线圈励磁电流大小变化规律的分析,以及对距靶面60mm基片台处等离子体束流...
关键词：磁控溅射 磁场分布 等离子体 非平衡磁控溅射 
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