国家自然科学基金(10905042)

作品数：9被引量：14H指数：2
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相关作者：朱京涛张众王占山霍同林陈玲燕更多>>
相关机构：同济大学中国科学技术大学上海应用技术学院更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《Chinese Physics Letters》《Chinese Optics Letters》《强激光与粒子束》更多>>
相关主题：磁控溅射MO/SI多层膜反射率MO/SI多层膜更多>>
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Small d-spacing WSi_2/Si multilayers for X-ray monochromators
《Chinese Optics Letters》2012年第12期87-90,共4页黄秋实 李浩川 朱京涛 王占山 唐永建 
supported by the National Natural Science Foundation of China(Nos. 10825521 and 10905042);the National "973"Program of China (No. 2011CB922203)
A WSi2/Si multilayer, with 300 bi-layers and a 2.18-nm d-spacing, is designed for X-ray monochroma- tor application. The nmltilayer is deposited using direct current magnetron sputtering technology. The reflectivity o...
关键词：Curve fitting Interfaces (materials) MONOCHROMATORS REFLECTION Silicon Transmission electron microscopy X ray diffraction X rays 
Fabrication and characterization of sliced multilayer transmission grating for X-ray region被引量：1
《Chinese Optics Letters》2012年第9期6-8,共3页黄秋实 李浩川 朱京涛 王晓强 王占山 陈玲燕 唐永建 
supported by the National Natural Science Foundation of China (Nos. 10825521 and10905042);the National "973" Program of China (No.2011CB922203);the Natural Science Foundation of Shanghai (No. 09ZR1434300)
To develop high quality dispersion optics in the X-ray region, the sliced multilayer transmission grating is examined. Dynamical diffraction theory is used to calculate the diffraction property of this volume grating....
关键词：Aspect ratio DIFFRACTION MULTILAYERS X rays 
低原子序数材料窄带多层膜的研制被引量：2
《强激光与粒子束》2012年第8期1785-1788,共4页吴文娟 朱京涛 张众 王风丽 陈玲燕 周洪军 霍同林 
国家自然科学基金项目(10905042)
为研制极紫外波段窄带多层膜反射镜,采用低原子序数材料组合设计了30.4 nm波长处Mg/SiC,Si/SiC,Si/B4C和Si/C多层膜反射镜,并与极紫外波段传统的Mo/Si多层膜反射镜进行对比。采用直流磁控溅射技术制备了这些多层膜,在国家同步辐射实验...
关键词：多层膜 带宽 低原子序数材料 磁控溅射 同步辐射 
Thinning and polishing of cross-section of depth-graded WSi_2 /Si multilayer for linear zone plate application被引量：1
《Chinese Optics Letters》2012年第1期78-81,共4页黄秋实 朱京涛 李浩川 沈正祥 王晓强 王占山 唐永建 
supported by the National Natural Science Foundation of China (Nos.10825521 and10905042);the Natural Science Foundation of Shanghai (Nos.09XD1404000 and 09ZR1434300);the Project of International Cooperation (No.2008DFA01920)
A linear zone plate named multilayer laue lens （MLL） is fabricated using a depth-graded multilayer structure. The lens shows considerable potential in focusing an X-ray beam into a nanometer scale with high efficien...
关键词：Aspect ratio Atomic force microscopy Chemical mechanical polishing POLISHING Scanning electron microscopy Silicon Surface roughness 
磁控溅射制备横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜被引量：7
《强激光与粒子束》2011年第9期2419-2422,共4页涂昱淳 宋竹青 黄秋实 朱京涛 徐敬 王占山 李乙洲 刘佳琪 张力 
国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金项目(10876023);国家自然科学基金项目(10905042);上海市科委优秀学科带头人项目(09XD1404000);科技部国际交流与合作专项项目(2008DFA01920)
采用磁控溅射方法在Si基板上镀制了横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜。以X射线掠入射反射测量了横向梯度多层膜的膜系结构,在基板65mm长度范围内,多层膜周期从8.21nm线性减小到6.57nm,周期梯度为0.03nm/mm。国家同步辐射实验室反射率计的...
关键词：MO/SI多层膜 磁控溅射 梯度多层膜 反射率 同步辐射 
Spectral Resolution Improvement of Mo/Si Multilayers
《Chinese Physics Letters》2011年第8期233-235,共3页WU Wen-Juan WANG Zhan-Shan ZHU Jing-Tao ZHANG Zhong WANG Feng-Li CHEN Ling-Yan ZHOU Hong-Jun HUO Tong-Lin 
by the National Natural Science Foundation of China(10905042),and Shanghai Municipal Education Commission(YYY-08019).
Theoretically,the spectral resolution of a multilayer can be improved through a combination of utilizing high reflectance orders and by decreasing the thickness of the scattering layer.We fabricate Mo/Si multilayers i...
关键词：reflectance REFLECTIVITY utilizing 
14nm低原子序数材料多层膜的设计和制备被引量：1
《光学精密工程》2011年第6期1192-1198,共7页吴文娟 张众 朱京涛 王风丽 陈玲燕 周洪军 霍同林 
国家自然科学基金资助项目(10905042);上海市高校优秀青年教师科研专项基金资助项目(YYY-08019);上海应用技术学院引进人才基金资助项目(YJ2007-41)
为了减小常规多层膜的带宽,提高其光谱分辨率,对采用低原子序数材料组成的适用于极紫外和软X射线波段的多层膜进行了研究。首先,在14nm波长处选取3种低原子序数材料对Si/B4C,Si/C和Si/SiC组成多层膜,用随机搜索的方法优化设计了这3种多...
关键词：极紫外与软X射线 多层膜 低原子序数材料 磁控溅射 光谱分辨率 
Mo/Si aperiodic multilayer broadband reflective mirror for 12.5-28.5-nm wavelength range被引量：1
《Chinese Optics Letters》2011年第2期79-82,共4页谭默言 李浩川 黄秋实 周洪军 霍同林 王晓强 朱京涛 
supported by the National Natural Science Foundation of China (Nos. 10825521, 10905042,10975139, and 10876023);the Shanghai Committee of Science and Technology (Nos. 09XD1404000 and09ZR1434300);Shanghai Municipal Education Commission and Shanghai Education Development Foundation(No. Chen Guang2008CG25);Young Talents Foundation of Tongji University
Aperiodic molybdenum/silicon （Mo/Si） multilayer designed as a broadband reflective mirror with mean reflectivity of 10% over a wide wavelength range of 12.5-28.5 nm at incidence angle of 5° is developed using a num...
关键词：Mirrors Numerical methods REFLECTION Synchrotron radiation 
磁控溅射方法制备直径120mm高均匀性Mo/Si多层膜被引量：4
《强激光与粒子束》2010年第7期1535-1538,共4页潘磊 王晓强 张众 朱京涛 王占山 李乙洲 李宏杰 王道荣 赵巨岩 陆伟 
国家自然科学基金项目(10825521,10876023,10905042);国家高技术发展计划项目;上海市自然科学基金项目(09ZR1434300);上海市科委纳米计划项目(0952nm06900);上海市教育发展基金会晨光计划项目(2008CG25);同济大学青年优秀人才培养计划项目
为满足极紫外、软X射线和X射线大口径多层膜反射镜的需求,采用基板扫掠过矩形靶材表面的镀膜方法,在直径120 mm的平面基板上镀制了Mo/Si周期多层膜。通过调整基板扫掠过矩形靶材表面的速率修正了薄膜的沉积速率,极大地提高了薄膜厚度的...
关键词：MO/SI多层膜 磁控溅射 均匀性 反射率 同步辐射 
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