教育部重点实验室开放基金(11ZXZK03)

作品数：15被引量：34H指数：4
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相关机构：中国工程物理研究院电子工程研究所西南科技大学重庆大学中国科学院微电子研究所更多>>
相关期刊：《中国惯性技术学报》《微纳电子技术》《压电与声光》《太赫兹科学与电子信息学报》更多>>
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薄膜体声波谐振器的电磁兼容性分析被引量：4
《压电与声光》2015年第1期1-5,共5页高杨 周斌 何移 何婉婧 李君儒 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(ZZ14001;2012CJMZZ00009);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金资助项目(2013MS04);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题基金资助项目(11ZXZK03);西南科技大学研究生创新基金资助项目(13ycjj31;13ycjj36)
随着薄膜体声波谐振器(FBAR)工作频率及FBAR器件集成度的不断提高,FBAR器件的电磁干扰问题显得尤为突出。常用电学模型和有限元模型都假定FBAR中的电磁场为无源准静态场,无法仿真模型的相关电磁特性。使用HFSS高频电磁仿真软件建立了FBA...
关键词：薄膜体声波谐振器 电磁兼容 电磁场耦合 等效介电常数 高频电磁仿真 
MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置被引量：4
《传感器与微系统》2014年第8期109-112,共4页高杨 代富 席仕伟 刘婷婷 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2012CJMZZ00009);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金资助项目(2013MS04);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题(11ZXZK03);西南科技大学研究生创新基金资助项目(13YCJJ31;13YCJJ36)
为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定,设计制作了一种由标准流量发生器和传感器信号读出与数据采集电路组成的简易流量测试装置。标准流量发生器由注射器和可更换的砝码组成,利用不同的砝码配重,在注射器出气口产...
关键词：微机电系统 气体流量传感器 测试 标定 有限元分析 
L波段薄膜体声波谐振器纵波谐振频率计算被引量：5
《压电与声光》2014年第3期331-334,共4页何移 高杨 周斌 何婉婧 李君儒 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2012CJMZZ00009);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金资助项目(2013MS04);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题基金资助项目(11ZXZK03);西南科技大学研究生创新基金资助项目(13ycjj31;13ycjj36)
薄膜体声波谐振器(FBAR)电极层和压电层的厚度、材料是影响谐振频率的主要因素,确定各层的厚度和材料可得到期望的谐振频率。通过推导FBAR纵向运动应力方程,得到各层厚度、材料、频率参数与角频率相关的公式;采用MATLAB对FBAR各层应力...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 谐振频率 牛顿迭代 MATLAB Mason模型 ADS仿真 
基于微加速度计的虚拟呼啦圈被引量：1
《测控技术》2014年第6期135-138,142,共5页高杨 周斌 何移 李君儒 何婉婧 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2012CJMZZ00009);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题基金资助项目(11ZXZK03);西南科技大学研究生创新基金资助项目(13ycjj31;13ycjj36);重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室访问学者基金资助项目(2013MS04)
传统呼啦圈为实体产品,体积大,不易随身携带,使用不当有可能损害身体健康。设计了一种基于微加速度计的新型虚拟呼啦圈,能够将腰部的扭动转化为同步的LED点阵屏转动,采用带有微加速度计的信号检测模块对腰部扭动的加速度数据进行采集和...
关键词：微加速度计 呼啦圈 射频通信 数码显示 
薄膜体声波谐振器温度-频率漂移特性分析被引量：3
《压电与声光》2014年第2期171-175,共5页周斌 高杨 何移 李君儒 何婉婧 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2012CJMZZ00009);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题基金资助项目(11ZXZK03);西南科技大学研究生创新基金资助项目(13ycjj31;13ycjj36);重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室访问学者基金资助项目(2013MS04)
薄膜体声波谐振器(FBAR)的谐振频率会受外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化,降低其在电学应用中的可靠性。应用ANSYS有限元分析软件,对一个典...
关键词：薄膜体声波谐振器 温度-频率漂移 温度频率系数 谐振频率 机电耦合 有限元分析 
空腔型FBAR功率容量的影响因素分析与优化被引量：1
《太赫兹科学与电子信息学报》2014年第2期310-314,共5页何移 高杨 周斌 李君儒 何婉婧 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2012CJMZZ00009);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题(11ZXZK03)资助项目;重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室访问学者基金资助项目(2013MS04)
机械应力和自热效应是影响空腔型薄膜体声波谐振器(FBAR)功率容量的主要因素。采用ANSYS对声波纵向振荡产生的机械应力进行了结构仿真,发现应力主要集中在空气腔结构附近;对压电薄膜逆压电效应功率损耗产生的自热效应进行了热仿真,发现...
关键词：薄膜体声波谐振器 功率容量 机械应力 自热效应 有限元分析 
基于故障物理的MEMS可靠性研究被引量：2
《半导体光电》2014年第2期214-220,224,共8页高杨 刘婷婷 李君儒 何婉婧 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(2012CJMZZ00009);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金项目(2013MS04);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题(11ZXZK03);西南科技大学研究生创新基金项目(13ycjj31;13ycjj36)
简要介绍了基于故障物理的MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微电子机械系统)可靠性研究方法和技术路线。以电容式RF MEMS开关为例,介绍了基于故障物理的MEMS可靠性研究方法的主要步骤,包括:采用多物理场3D有限元模型研究MEMS器...
关键词：微电子机械系统 可靠性 故障物理 电容式RF MEMS开关 
第一类齿轮集机构复合齿轮最小层数证明被引量：3
《太赫兹科学与电子信息学报》2013年第6期994-999,共6页高杨 白波 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助(2012CJMZZ00009);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题资助(11ZXZK03);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金资助(2013MS04)
抗干涉齿轮集(CMG)机构是一种复杂的密码鉴别机构,可用于确保要害系统保证性的机械组合锁中。CMG机构的密码鉴别功能取决于由多层密码齿轮堆叠而成的2个复合齿轮。在满足同样的密码鉴别功能的前提下,复合齿轮层数的最小化有利于应用CMG...
关键词：组合锁 密码鉴别机构 抗干涉齿轮集 迷宫 
窄带FBAR带通滤波器设计被引量：7
《微纳电子技术》2013年第8期487-493,共7页周斌 高杨 何移 李君儒 何婉婧 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2012CJMZZ00009);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题资助项目(11ZXZK03);西南科技大学研究生创新基金资助项目(13ycjj31;13ycjj36)
由薄膜体声波谐振器构成的滤波器,其带宽受压电材料机电耦合系数的影响,较难实现窄带滤波器设计。使用ADS射频仿真软件设计了一种通带为1.18～1.20 GHz的窄带薄膜体声波滤波器,分别通过比较增加无源电容元件、改变串并联谐振器面积比、...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 窄带滤波器 机电耦合系数 带宽 压电材料 先进设计系统(ADS) 
微加速度计动态离心测试数据采集系统设计
《中国惯性技术学报》2013年第3期415-420,共6页高杨 秦燃 官承秋 李枚 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2010A0302013);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题(11ZXZK03)
为了实现惯性导航或制导系统中微加速度计的动态飞行环境模拟考核,需要对精密静态离心机进行相应的机械和电气改造,并研制新的数据采集系统。文中报道了微加速度计动态离心测试数据采集系统的系统设计方案和软硬件实现,该系统基于虚拟...
关键词：微加速度计 离心机测试 数据采集 虚拟仪器 
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