云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- HSQ

HSQ: 作品数：13被引量：15H指数：2; 导出分析报告; 相关领域：电子电信医药卫生更多>>; 相关作者：朱效立陈宝钦刘明谢常青赵珉更多>>; 相关机构：中国科学院微电子研究所中国科学院复旦大学天津华慧芯科技集团有限公司更多>>; 相关期刊：《实用医学杂志》《强激光与粒子束》《电世界》《Plasma Science and Technology》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金广东省中医药管理局科研基金更多>>

电子束光刻HSQ显影对比度中的图形密度效应: 《微纳电子技术》2024年第2期137-144,共8页梁惠康段辉高; 国家自然科学基金优秀青年科学基金项目(51722503)。; 氢倍半氧硅烷(HSQ)是一种高分辨的电子束抗蚀剂,其稀疏结构的分辨率已证实达到亚5 nm。但在实际应用中,很难达到约10 nm周期的密集结构,其中间隙残胶问题是无法实现更高分辨率的根本原因。利用传统大块薄膜获取的显影对比度进行理论计算...; 关键词：电子束光刻(EBL) 氢倍半氧硅烷(HSQ) 显影对比度分辨率极限显影机理图形密度效应

miR-21对人口腔癌细胞株HSQ-89增殖、侵袭与迁移的影响实验研究被引量：1: 《陕西医学杂志》2024年第2期157-162,共6页韦敏顾春梅管燕华王育新; 江苏省重点研发计划(社会发展)专项资金资助项目(BE2021609)。; 目的:探讨微小核糖核酸-21(miR-21)介导Smad7调节转化生长因子β(TGF-β)/Smad信号通路对人口腔癌细胞株HSQ-89增殖、侵袭与迁移的作用。方法:取人口腔癌细胞株HSQ-89培养传代,分为阴性对照组、下调组、上调组和正常组,前三者分别采用...; 关键词：口腔癌微小核糖核酸-21 转化生长因子Β 细胞增殖细胞侵袭细胞迁移

高亮度硅纳米晶发光峰位的调制: 《半导体技术》2021年第6期479-484,共6页陈家荣王东辰陆明张弛张玉琼; 国家自然科学基金资助项目(62064001);贵州省科技厅基础研究项目([2018]1084);贵州省教育厅青年人才成长项目([2016]155);贵州民族大学校级项目([2018]577-YB17)。; 镶嵌硅纳米晶的SiO_(2)薄膜(Si-nc∶SiO_(2))是目前主要的硅发光材料。Si-nc发光强度低的缺点阻碍了它的应用,因此寻求一种制备高亮度Si-nc∶SiO_(2)的方法尤为重要。使用氢硅倍半环氧乙烷(HSQ)热退火方法制备高亮度的Si-nc∶SiO_(2),...; 关键词：Si-nc∶SiO_(2) 氢硅倍半环氧乙烷(HSQ) 光致发光蒸镀腐蚀

大高宽比纳米硅立柱的感应耦合等离子体刻蚀工艺优化被引量：4: 《强激光与粒子束》2017年第7期73-77,共5页李欣刘建朋陈烁张思超邓彪肖体乔孙艳陈宜方; 国家自然科学基金项目(61574043);上海STCSM项目(15JC1401000);中国科学院开放项目(2015KF003); 针对氢基硅倍半氧烷(hydrogen silsesquioxane,HSQ)作为深反应离子刻蚀(DRIE)掩膜形成大高宽比纳米硅立柱的工艺进行了系统研究。优化了刻蚀工艺中线圈功率、极板功率和气体流量参数,减小了横向刻蚀,使形貌垂直性得到了更好的控制,并实...; 关键词：HSQ 深反应离子刻蚀硅纳米柱高宽比硬X射线

大高宽比微纳结构制备关键技术被引量：1: 《微纳电子技术》2016年第10期685-690,共6页赵健董连和朱效立谢常青陈宝钦史佩雄; 国家青年科学基金资助项目(61308078); 利用HSQ具有的高分辨率、高反差和低边缘粗糙度等突出的优点并通过大量的工艺实验,摸索出电子束曝光剂量、显影液配比、显影时间和显影温度等优化条件,对电子束曝光剂量与线条宽度的关系进行了探索,有效消除了由于散射电子和背散射电子...; 关键词：HSQ 电子束光刻抗蚀剂工艺 CO2超临界干燥大高宽比结构

三氧化二砷与顺铂合用抗人口腔癌细胞株HSQ-89的实验研究被引量：1: 《实用医学杂志》2014年第15期2371-2373,共3页江穗叶永康陈仲伟彭参罗朝阳; 广东省科技计划项目(编号:20088030301036,20078031514005);广东省中医药管理局科研项目(编号:20121260); 目的:探讨三氧化二砷能否增强顺铂对口腔癌细胞的抗瘤活性。方法:以人口腔癌细胞株HSQ-89为研究对象,在经顺铂处理过的肿瘤细胞中加入不同浓度的三氧化二砷,用MTT法测定计算肿瘤细胞的抑制率。结果:在加入顺铂15μg/mL的口腔癌细胞珠HSQ...; 关键词：口腔肿瘤三氧化二砷顺铂

新二维核磁共振谱在天然产物研究中的应用被引量：5: 《波谱学杂志》2013年第4期602-613,共12页王蓓刘星朱国磊李海舟; 国家自然科学基金资助项目(31060054); 二维核磁共振技术是天然产物研究方面的关键技术手段.由于天然产物种类繁多、结构多样、构效关系极为复杂,如何合理高效使用二维核磁共振技术这一方法,对于化合物结构的准确分析尤为重要.该文分析了目前常用的二维核磁共振谱的优缺点,...; 关键词：二维核磁共振谱(2D NMR) H2BC 新H2BC HAT HMBC HSQC-ADEQUATE

Effect of Oxygen Plasma on Low Dielectric Constant HSQ (Hydrogensilsesquioxane) Films被引量：1: 《Plasma Science and Technology》2013年第1期86-88,共3页袁强华殷桂琴宁兆元; supported by National Natural Science Foundation of China(No.11165012);China Postdoctoral Science Foundation Funded Project(2011M501494,2012T50831);Project of Graduate Supervisor of Gansu Province(No.1001-01);Project of Key Laboratory of Atomic and Molecular Physics & Functional Materials of Gansu Province,Project of Northwest Normal University(NWNU-LKQN-11-9,NWNU-KJCXGC-03-62); The commercially available hydrogensilsesquioxane （HSQ） offers a low dielectric constant. In this paper, the impact of oxygen plasma treatment has been investigated on the low- k HSQ films. Fourier transform infrar...; 关键词：thin films oxygen plasma exposure ANNEALING

HSQ用于电子束曝光的性能分析被引量：2: 《微细加工技术》2008年第4期10-13,共4页赵珉陈宝钦刘明谢常青朱效立; 国家973项目资助(2006CB0N0604); 作为一种非化学放大的无机负性电子束光刻抗蚀剂,HSQ(hydrogen silsesquioxane)具有极高的分辨率(约5 nm),由于灵敏度较低,限制了其在微纳米加工方面的应用。从化学结构变化的角度分析了HSQ在电子束曝光中的性能,通过实验验证了其灵敏...; 关键词：HSQ(hydrogen silsesquioxane) 电子束曝光技术抗蚀剂工艺邻近效应

Structure Characterization of HSQ Films for Low Dielectrics Using D5 as Sacrificial Porous Materials: 《Chinese Physics Letters》2007年第12期3532-3534,共3页殷桂琴宁兆元袁强华; Support by the National Natural Science Foundation of China under Grant No 10575074, and the Specialized Research Fund for the Doctoral Programme of Higher Education of China under Grant No 20050285007.; Low-density materials, commercially available hydrogensilsesquioxane （HSQ） offer a low dielectric constant. HSQ films can be obtained by spin on deposition （SOD）. In this work, low-dielectric-constant HSQ films ar...; 关键词：THERMOELECTRIC half-Heusler compounds thermal conductivity

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