阴极溅射

作品数：54被引量：150H指数：7
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离子注入机中热阴极溅射离子源的设计
《造纸装备及材料》2022年第4期81-83,共3页赵官源 马国宇 李世才 李红赛 吴莹莹 
离子注入机是将离子源产生的离子引出,通过电场和磁场的加速、筛选以及束流分布形状的调节,使离子束以一定的角度、能量均匀地注入硅片的装置。文章重点阐述离子注入机中的关键部件——热阴极溅射离子源的开发设计方法。热阴极溅射离子...
关键词：离子注入机 离子源 阴极 反射极 材料改性 半导体器件 
浅谈磁控阴极溅射镀膜玻璃的膜层保护
《建筑玻璃与工业玻璃》2018年第9期8-12,共5页陈大伟 
采用磁控阴极溅射工艺生产的离线镀膜玻璃,由于其颜色丰富、性能优良、生产效率高等特点,已经在各个领域得到了广泛的应用。磁控阴极溅射镀膜属于软镀膜,尤其是生产的含有银材料的高性能Low—E镀膜产品,膜层软且不耐氧化,一般镀膜后保...
关键词：镀膜玻璃 阴极溅射 膜层 磁控 生产效率 溅射工艺 加工过程 膜产品 
磁控阴极溅射镀膜玻璃的电纹缺陷及成因
《建筑玻璃与工业玻璃》2018年第8期13-17,共5页陈大伟 
随着建筑对玻璃的装饰性和节能性要求的不断提高，镀膜玻璃在建筑中的使用量不断地增大，其中采用磁控阴极溅射工艺生产的离线镀膜玻璃得到了迅猛的发展，在生产过程中，由于工艺、设备、环境、材料等方面的原因，会使得镀膜玻璃产生各...
关键词：镀膜玻璃 质量缺陷 阴极溅射 磁控 成因 生产过程 质量成本控制 溅射工艺 
第十九讲 真空溅射镀膜
《真空》2018年第2期71-73,共3页张以忱 
（接2018年第1期第72页）b.带有中空阴极的平面磁控溅射系统图104给出了一个在传统的平面磁控溅射系统中附加了中空阴极电子枪的溅射装置,这是一个三极装置,其中阴极为磁性阴极,中空阴极电子源作为一个二极阴极。电子源靠近磁阴极,以使...
关键词：阴极溅射 溅射装置 平面磁控溅射 离子束溅射 铁磁性 永磁体 
第十九讲 真空溅射镀膜
《真空》2017年第4期77-80,共4页张以忱 
③弧光放电 如前所述,在直流反应磁控溅射沉积化合物薄膜时,阴极溅射靶会出现靶中毒现象,即在靶面上建立起愈来愈高的正电位Up,而在一定的靶电源输出电位下,靶阴极位降区的电位降随着Up的升高而降低,直到阴极位降区的电位降减小到零,...
关键词：电位降 靶面 阴极溅射 电源输出电压 绝缘膜 溅射系统 反应气体 反应溅射 反应磁控溅射 阴极表面 
几种氙灯用钨阴极抗烧蚀性能的研究被引量：3
《中国钨业》2017年第3期59-64,共6页李鹏 杨建参 李岩 
国家自然科学基金创新研究群体项目（51621003）
采用E3、Er-W、La-W1和La-W2四种材料作为氙灯的阴极材料，研究氙灯点灯一段时间后阴极的烧蚀形貌，分析阴极的烧蚀特征。结果表明：在电压3 000 V，频率3 Hz，电容23μF的条件下点灯100万发次，Er-W氙灯发黑最为严重，La-W2氙灯发黑程...
关键词：氙灯阴极 阴极烧蚀 微观形貌 阴极溅射 
太阳选择性吸收涂层系列讲座(14) 活性环境空心阴极溅射特性与沉积Al_2O_3、ZnO掺杂和In_2O_3:Mo薄膜的应用(下)
《太阳能》2014年第8期39-41,共3页Delahoy A E Guo S Y Paduraru C 范崇治 
透明导电氧化物薄膜，例如SnO2、ITO、ZnO，有很多应用，如建筑玻璃、汽车、显示器、光伏器件。制备掺杂氧化锌膜用射频或脉冲直流溅射陶瓷靶，它含有ZnO和2％（重量比）Al2O3，无论如何靶的代价是过高的，而能用的功率密度是有限的。...
关键词：ZnO Al2O3 IN2O3 透明导电氧化物薄膜 阴极溅射 MO薄膜 应用 掺杂 
活性环境空心阴极溅射特性与沉积Al_2O_3、ZnO掺杂和In_2O_3:Mo薄膜的应用(中)
《太阳能》2014年第7期16-18,22,共4页范崇治 殷志强 
2实验结果和讨论 2．1阴极和沉积特性 典型空心阴极I-V，特性如图2所示，HC中有铜靶块并用氩气作为工作气体。在气流量和放电电流一定时，压强越低需放电电压越高。在给定真空室压强情况下，两个不同气流量的I-V特性很接近，在一定电...
关键词：沉积特性 阴极溅射 空心阴极 AL2O3 IN2O3 MO薄膜 ZnO I-V特性 
N_2/Ti微空心阴极放电等离子体阴极溅射模拟
《计算物理》2013年第3期396-402,共7页高书侠 张素 孟秀兰 张连珠 
河北省自然科学基金(A2012205072)资助项目
采用Monte Carlo方法模拟N2/Ti微空心阴极放电等离子体阴极溅射过程,其中,氮离子(N2+,N+)轰击阴极表面采用PIC/MC模型模拟.计算溅射钛原子的热化过程、钛原子的密度及其平均能量分布.结果表明,沿各方向溅射出的90%金属Ti原子所带的初始...
关键词：微空心阴极放电 阴极溅射 氮等离子体 Monte-Carlo模型 
N_2微空心阴极放电特性及其阴极溅射的PIC/MC模拟被引量：5
《物理学报》2013年第7期252-261,共10页张连珠 孟秀兰 张素 高书侠 赵国明 
河北省自然科学基金(批准号:A2012205072)资助的课题~~
采用两维PIC/MCC模型模拟了氮气微空心阴极放电以及轰击离子(N+2,N+)的钛阴极溅射.主要计算了氮气微空心阴极放电离子(N+2,N+)及溅射原子Ti的行为分布,并研究了溅射Ti原子的热化过程.结果表明:在模拟条件下,空心阴极效应是负辉区叠加的...
关键词：微空心阴极放电 PIC MC模拟 N2等离子体 
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