原子层沉积

作品数：428被引量：575H指数：10
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原子层沉积钌/氧化铝复合纳米薄膜的制备与电阻调控
《表面技术》2024年第14期173-180,共8页廉卓禧 朱香平 王丹 李相鑫 
国家自然科学基金(62101425);陕西省重点研发计划(2021LLRH-03);中国科学院重大科研仪器设备研制项目(ZDKYYQ20220007);中国科学院重点部署项目(ZDRW-XH-2021-6)。
目的针对目前微通道板(MCP)导电层电阻可调范围窄、性能稳定性差等问题,提出一种新的MCP导电层的制备方法。方法应用原子层沉积(ALD)工艺在硅片上沉积不同厚度的Al_(2)O_(3)和Ru薄膜,以获得较优的纳米薄膜制备工艺参数,应用扫描电子显微...
关键词：微通道板 原子层沉积 导电层 钌 氧化铝 体电阻 
预沉积ZnO薄膜对ZnO−MoS_(2)/ZnO复合涂层结构与性能影响
《表面技术》2022年第11期226-234,243,共10页曹明 赵岚 余健 唐平 许欢 钟珮瑶 
江西省自然科学基金面上项目(20202BABL204004);江西省教育厅科技项目(CJJ190907)。
目的通过优化原子层沉积工艺获取不同厚度ZnO薄膜,研究ZnO薄膜晶体取向对ZnO−MoS_(2)涂层生长结构的影响,获得具有优异摩擦学性能的ZnO−MoS_(2)/ZnO复合涂层。方法采用原子层沉积法在不锈钢基体上预沉积不同厚度的ZnO薄膜,再用射频磁控...
关键词：原子层沉积 ZNO薄膜 ZnO-MoS_(2)/ZnO复合涂层 晶化 润滑性能 
原子层沉积技术改性CrN硬质涂层性能的第一性原理研究被引量：2
《表面技术》2021年第11期202-207,共6页蒋钊 高恒蛟 周晖 肖更竭 成功 汪科良 
目的基于密度泛函理论的第一性原理,对原子层改性氮化铬(CrN)涂层的关键性能进行仿真计算,以充分了解涂层微观组织结构演变和微观界面结构本质,为后续原子层沉积CrN工艺研究提供理论指导。方法通过建立CrN(011)-CrN(011)复合体系模型,...
关键词：第一性原理 原子层沉积 CRN 界面性能 性能仿真 
Al_(2)O_(3)/MgO复合膜层对微通道板性能的影响被引量：4
《表面技术》2021年第6期199-205,共7页张正君 邱祥彪 乔芳建 丛晓庆 李婧雯 任玲 王鹏飞 
目的大幅提高微通道板增益,延长寿命。方法采用原子层沉积技术(ALD)在微通道板(MCP)大长径比(40:1)通道内壁沉积Al_(2)O_(3)/MgO复合膜层材料,对通道内壁二次电子发射层进行增强,改善其二次电子发射特性。通过设计复合膜层结构,采用Al_(...
关键词：微通道板(MCP) 氧化镁 氧化铝 封装 复合膜层 原子层沉积(ALD) 高增益 长寿命 
基于ALD低温制备的纳米涂层刀具性能研究被引量：1
《表面技术》2021年第5期364-371,共8页王睿 唐思文 刘德顺 刘骞 卞凯 李佩真 
国家自然科学基金(51305134);湖南省自然科学基金面上项目(2020JJ4308);湖南省研究生科研创新项目(CX20190805);湖南省教育厅资助科研项目(18B230)。
目的探索基于原子层沉积法(Atomic Layer Deposition, ALD)的纳米涂层低温制备技术,并重点研究涂层沉积过程及纳米氧化铝涂层对刀具力学性能的影响。方法利用原子层沉积法,在200℃的环境下制备不同涂层厚度的纳米Al_2O_3涂层刀具,对涂...
关键词：刀具 纳米涂层 原子层沉积 低温制备 微观组织 结合力 力学性能 
原子层沉积技术及应用被引量：12
《表面技术》2018年第9期163-175,共13页苗虎 李刘合 韩明月 谷佳宾 
武器装备预研基金(61409230602)~~
简单阐述了原子层沉积技术的发展背景,然后概括了原子层沉积技术原理、技术特征和优势,并对化学吸附和顺次反应两种自限制机制进行了描述和比较。着重介绍了原子层沉积技术在工艺等方面的最新成果,以及在纳米催化剂、电池、半导体器件...
关键词：原子层沉积 自限制 前驱体 纳米催化剂 电池 半导体 光学 生物医学 航空航天 
原子层沉积技术在微纳器件中的应用研究进展被引量：2
《表面技术》2015年第2期60-67,共8页李惠琴 陈晓勇 王成 穆继亮 许卓 杨杰 丑修建 薛晨阳 刘俊 
国家自然科学基金重点支持项目(91123036);国家自然科学基金杰出青年基金(51225504);国家自然科学基金(91123016)~~
原子层沉积(ALD)是一种新型的精确表层薄膜制备技术,具有沉积面积大、薄膜均匀、膜厚纳米级可控生长、低温性等特点,适用于纳米多孔和高深宽比基底材料,可应用于三维微纳结构器件的功能薄膜材料制备,广受国内外学术界和工业界的关注。...
关键词：原子层沉积 薄膜技术 高深宽比结构 纳米多孔结构 微纳结构器件 
采用原子层沉积技术在管道内壁镀铝膜的分析研究被引量：1
《表面技术》2012年第3期47-50,共4页刘恒 熊玉卿 王济洲 
中国空间技术研究院青年创新基金(GY0303)
研究分析了采用原子层沉积技术在大长径比管道内壁镀制铝膜的可行性。首先,建立了管道内壁气体吸附动力学方程,通过分离变量法解吸附动力学方程,计算出反应前驱体在管道内壁达到饱和化学吸附的时间;其次,根据铝晶胞的面心立方结构,计算...
关键词：原子层沉积 管道内壁 波导 铝 
原子层沉积前驱体材料的研究进展被引量：4
《表面技术》2010年第4期77-82,共6页袁军平 李卫 郭文显 
广州市教育局科研项目(08C013);广州市教育系统首批建设创新学术团队项目(穗教科2009-11)
介绍了原子层沉积技术的基本原理及其特点,从无机类材料和有机金属类材料两个方面综述了前驱体材料的研究进展状况,介绍了单一元素、卤化物等无机类前驱体材料的特点,以及烷基、环戊二烯基、醇盐、β二酮、烷基胺、硅胺基和酰胺等有机...
关键词：原子层沉积 前驱体 材料 
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