原子层沉积

作品数：428被引量：575H指数：10
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GaN基p-i-n型紫外探测器钝化工艺研究
《半导体光电》2023年第6期895-900,共6页杨富城 杨帆 许金通 
国家重点研发计划项目(2021YFA0715501)。
钝化层膜系的选择及其工艺的优化对降低GaN基紫外探测器的漏电流和提升其可靠性是至关重要的。文章采用多种钝化层:等离子体增强化学气相沉积生长的Si_(3)N_4(PECVD-Si_(3)N_4)、电感耦合等离子体化学气相沉积生长的Si_(3)N_4(ICPCVD-Si...
关键词：GAN 漏电流 钝化 等离子原子层沉积 界面态密度 
GaAs衬底上等离子体增强原子层沉积GaN薄膜
《半导体光电》2023年第4期573-579,共7页邱洪宇 王馨颐 段彰 仇鹏 刘恒 朱晓丽 田丰 卫会云 郑新和 
采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术在斜切的砷化镓(GaAs)衬底上低温沉积了氮化镓(GaN)薄膜,对生长过程、表面机制以及界面特性等进行分析,得到GaN在215~270℃的温度窗口内生长速度(Growth-Per-Cycle, GPC)为0.082 nm/cycle,并从表...
关键词：等离子增强原子层沉积 氮化镓 砷化镓衬底 低温 
原子层沉积过程中腔室内前驱体分布的模拟研究
《半导体光电》2023年第1期81-86,共6页雷星航 王国政 杨继凯 
吉林省科技厅项目(20200201077JC);吉林省教育厅项目(JJKH20220726KJ);重庆市自然科学基金项目(CSTB2022NSCQ-MSX0751)
建立了原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)反应腔室的三维模型,利用ANSYS Fluent软件模拟分析了ALD过程中压强、前驱体脉冲时间、温度等工艺参数变化对前驱体分布的影响。模拟结果表明:反应压强越低,Mg(Cp)_(2)前驱体分子的扩散...
关键词：原子层沉积 计算流体力学 数值模拟 前驱体分布 
原子层沉积低温生长α-MoO_(3)薄膜被引量：1
《半导体光电》2022年第3期567-572,共6页成天乐 曹发 李佳 季小红 
以六羰基钼和氧气为前驱体,通过等离子增强原子层沉积技术(PE-ALD)在硅基片上实现了α-MoO_(3)薄膜的低温制备。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线光电子能谱仪等手段对薄膜的晶体结构、表面形貌及薄膜成分进行表...
关键词：原子层沉积 氧化钼薄膜 低温沉积 α-MoO_(3) 
基于圆顶锥壳阵列的超宽带太阳能吸收器研究
《半导体光电》2021年第4期536-541,共6页郭政杰 蔡昊天 闫淑贤 孙婷婉 富鸣 何大伟 王永生 
国家自然科学基金项目(51772021)。
提出了一种顶锥壳阵列超宽带全向超材料吸收器,研究了圆顶锥壳的几何参数、顶部的几何形状以及不同密排方式对宽带吸收的影响。研究了包覆金属薄膜的圆顶锥壳阵列在太阳辐射能谱区的超宽带吸收特性,结果显示在250~2500nm范围内的平均吸...
关键词：超材料 超宽带太阳能吸收器 有限时域差分方法 胶体球光刻 原子层沉积 
衬底表面处理对原子层沉积法生长GaN薄膜的影响被引量：1
《半导体光电》2021年第3期375-379,417,共6页李佳 王文樑 季小红 
国家自然科学基金项目(51572092)。
采用等离子增强原子层沉积技术于蓝宝石衬底上生长GaN薄膜,研究氮等离子体预处理衬底对薄膜结晶性能的影响。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线光电子能谱仪等手段对薄膜的晶体结构、表面形貌及薄膜成分进行表征和...
关键词：GAN 等离子增强原子层沉积 外延膜 衬底预处理 
原子层沉积法制备高反射率的分布式布拉格反射镜被引量：3
《半导体光电》2019年第4期528-533,共6页万颖 吴昊 刘昌 
国家重点研发计划项目(2017YFA0205802);国家自然科学基金项目(11574235,11875212);江苏省资助基金项目(BK20151250)
为提高GaN基发光二极管(LED)的发光强度,制备TiO2/Al2O3分布式布拉格反射器(DBR)来提高其外量子效率是一种有效的方法。原子层沉积(ALD)法所制备的薄膜具有良好的均匀性,适合用来制备反射器材料。同时,TiN薄膜具有良好的类金属性质,且与...
关键词：发光二极管 原子层沉积 分布式布拉格反射器 
柔性衬底上使用等离子增强原子层沉积制备的氮化镓薄膜物性分析
《半导体光电》2018年第6期819-823,827,共6页李美玲 何荧峰 卫会云 刘三姐 仇鹏 宋祎萌 安运来 彭铭曾 郑新和 
北京市自然科学基金项目(4173077;2184112)
采用等离子增强原子层沉积技术(PE-ALD)在350℃温度下,在KAPTON柔性衬底上直接生长出多晶GaN薄膜。利用低角度掠入射X射线衍射仪、AFM、SEM、TEM、XPS对薄膜的晶体结构、表面形貌及薄膜成分进行了表征和分析。结果表明,薄膜呈多晶态,且...
关键词：氮化镓 柔性衬底 等离子增强原子层沉积 反向扩散 
纳米二氧化钒薄膜的制备及其特性研究被引量：1
《半导体光电》2015年第1期75-80,共6页李建国 惠龙飞 冯昊 秦利军 龚婷 安忠维 
国防基础科研基金项目
采用原子层沉积(ALD)方法,分别以VO(OC3H7)3和H2O2为钒源和氧源,在载玻片基底上沉积钒氧化物薄膜;在还原气氛的管式炉中,对钒氧化物薄膜进行还原退火结晶,进而得到VO2薄膜晶体。通过扫描电镜(SEM)、X-射线衍射(XRD)及X-射线光电子能谱(X...
关键词：原子层沉积(ALD) 纳米二氧化钒薄膜 半导体-金属相变 红外透过率 
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