等离子体增强

作品数：340被引量：736H指数：9
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医用钛表面石墨烯薄膜的PECVD法制备及其性能
《表面技术》2024年第8期156-162,190,共8页张宪明 蔡丁森 钱仕 
宁波市高层次人才和高端创业创新团队资助项目(2018A-09-C);国家自然科学基金面上项目(31971259)。
目的在医用钛表面制备石墨烯薄膜,研究生长时间对石墨烯薄膜理化性能和生物学性能的影响。方法采用等离子体增强化学气相沉积设备,在医用钛表面制备石墨烯薄膜,控制石墨烯薄膜生长时间为5、10、30 min。通过拉曼光谱、扫描电子显微镜、...
关键词：等离子体增强化学气相沉积 医用钛 石墨烯 耐腐蚀性 细胞相容性 
异质a-C:H/a-C:H:F配副的摩擦学行为研究被引量：2
《表面技术》2024年第7期107-115,共9页唐诗琪 邢朝阳 王圆圆 张俊彦 张斌 
甘肃省重点研发计划国际合作专项(20YF8WA006)。
目的研究F元素掺杂非晶碳基薄膜与a-C:H薄膜摩擦配副的摩擦学行为机制。方法利用PECVD法在Si基底上制备a-C:H:F薄膜,与直径为6.0mm的a-C:H薄膜摩擦对偶球组成摩擦配副体系,使用往复模式的CSMTRB3摩擦机研究a-C:H:F薄膜的摩擦学特性,频率...
关键词：摩擦学性能 F元素掺杂改性 类金刚石薄膜 等离子体增强化学气相沉积 
工作气压对管内壁沉积Si/O-DLC薄膜结构与性能的影响被引量：1
《表面技术》2023年第6期439-449,共11页许浩杰 陈仁德 周广学 叶羽敏 汪爱英 
中国科学院-韩国国家科技理事会协议项目(174433KYSB20200021);王宽城率先人才计划卢嘉锡国际团队(GJTD-2019-13);中科院创新团队(292020000008)。
目的探讨工作气压对管内等离子体放电光学现象以及Si/O-DLC(Si and O Incorporated DLC,Si/O-DLC)薄膜结构与性能的影响,为获得管内高质量、均匀的Si/O-DLC薄膜制备工艺技术提供指导。方法利用空心阴极等离子体增强化学气相沉积(Hollow ...
关键词：工作气压 空心阴极等离子体增强化学气相沉积 管内壁 Si/O-DLC 等离子体放电光学现象 均匀性 
非晶含氢碳薄膜本征结构对退火行为的影响被引量：3
《表面技术》2022年第7期98-106,共9页贾倩 张斌 赖振国 张俊彦 
国家自然科学基金(U1737213)。
目的为在高温工况下服役的含氢碳(a–C:H)薄膜的制备提供新思路。方法首先利用DP–PECVD和BiP–PECVD两种方法分别在Si基底上制备了两种本征结构不同的a–C:H薄膜,分别在350、450、550、650℃下进行退火处理。通过纳米硬度、X射线光电...
关键词：非晶含氢碳薄膜 退火 双极脉冲 直流脉冲 等离子体增强化学气相沉积 
等离子体增强磁控溅射制备TiAlVSiCN涂层的抗冲蚀性能被引量：3
《表面技术》2021年第4期253-259,共7页黄晓林 魏荣华 林健凉 Robert Castillo 赵文涛 
目的提高不锈钢基体的抗固体颗粒冲蚀性能。方法在不锈钢基体表面,通过等离子体增强磁控溅射系统(PEMS),采用不同偏压工艺制备TiAlVSiCN纳米复合涂层。通过SEM、HRTEM观察涂层的微观形貌与组织,利用XRD、SAD分析涂层的物相组成与晶体结...
关键词：等离子体增强 磁控溅射 TiAlVSiCN 纳米复合涂层 抗冲蚀性能 纳米晶 非晶 
等离子体增强磁控溅射CrSiN涂层摩擦磨损行为被引量：7
《表面技术》2020年第8期185-191,共7页周子超 张豪 张雪 常伟杰 宋玲玲 黄传 多树旺 
江西省自然科学基金(20171BAB206008);江西省教育厅科技计划重点项目(GJJ180596);江西科技师范大学硕士研究生创新专项资金项目(YC2019-X11);江西科技师范大学本科生科研项目(20161004082);江西科技师范大学校级重点科研项目(2016XJZD004)。
目的基于细晶强化理论,借助新型涂层制备技术获得综合性能优良的CrSiN涂层,研究Si含量对涂层微观结构、力学性能及耐磨性能的影响规律。方法采用等离子体增强磁控溅射技术,制备四种含有不同Si含量的CrSiN涂层。使用X射线能谱仪(EDS)、X...
关键词：等离子体增强磁控溅射技术 CrSiN涂层 SI含量 微观结构 力学性能 摩擦磨损 
化学气相沉积温度对AZ31镁合金表面制备DLC薄膜微观结构及机械性能的影响被引量：8
《表面技术》2020年第5期317-324,共8页杨利 张桐 陈东旭 王亚男 周艳文 陈树江 
辽宁省自然科学基金(20180510001);辽宁科技大学校人才计划(2018RC03);辽宁省教育厅项目(SKLMEA-USTL(201709),SKLMEA-USTLN(201909));辽宁科技大学创新团队项目(2017TD01)。
目的提高镁合金表面硬度及耐磨性,给出最佳性能薄膜的制备温度。方法采用化学气相沉积(PECVD)技术在AZ31镁合金表面制备了含氢DLC薄膜,研究了沉积温度对DLC薄膜厚度、表面形貌、硬度、杨氏模量、耐磨性能、膜基结合力以及sp^3键含量的影...
关键词：等离子体增强化学气相沉积 类金刚石薄膜 AZ31镁合金 沉积温度 机械性能 
两种DLC涂层对ZL108铝合金干式铣削性能的影响被引量：4
《表面技术》2020年第1期356-363,共8页张而耕 张致富 周琼 黄彪 陈强 沈秀国 陈亚楠 
国家自然科学基金(51971148);上海市科委重点支撑计划(170905038000);上海市联盟计划(LM201904)~~
目的比较分析氢元素对类金刚石涂层摩擦性能的影响,研究含氢和无氢DLC涂层在铣削ZL108铝合金时的切削性能。方法分别采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和磁控溅射物理气相沉积(MS)制备含氢和无氢DLC涂层,并采用三维形貌仪对涂层基片...
关键词：类金刚石涂层 等离子体增强化学气相沉积 磁控溅射 物理气相沉积 摩擦磨损 磨损率 切削性能 抗粘附性 
304不锈钢管内壁沉积耐磨防腐DLC涂层被引量：6
《表面技术》2019年第9期87-96,共10页魏徐兵 张明蓝 王焱 鲁志斌 张广安 林博 
广西科技重大专项(AA18242002)~~
目的将HiPIMS电源应用于PECVD技术,在304不锈钢管内壁沉积DLC涂层,以提高其机械、耐蚀及摩擦学性能。方法将HiPIMS电源应用于PECVD技术,并利用空心阴极放电效应在管道内产生高密度等离子体,沉积DLC涂层。通过拉曼光谱、扫描电子显微镜和...
关键词：高功率脉冲磁控溅射电源 空心阴极等离子体增强化学气相沉积 管内壁 DLC涂层 耐蚀性 耐磨性 均匀性 
消除PECVD膜的第一晶片效应
《表面技术》2009年第6期50-50,共1页
本发明大体上提供了用于消除等离子体增强化学气相沉积（PECVD）中“第一晶片效应”的装置和方法。本发明的一种实施例提供了用于在室空闲了一段时间之后使室做好准备的方法。该方法包括在清洁步骤之后，根据空闲时间长度调整进行干燥...
关键词：PECVD 等离子体增强化学气相沉积 晶片 时间长度 膜 发明 
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