直线度测量

作品数:108被引量:297H指数:10
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激光跟踪干涉仪在坐标测量机直线度测量中的应用
《计量与测试技术》2025年第3期45-47,共3页郭文波 
广州市NQI-质量安全科技协同创新中心开放基金资助(项目名称:激光跟踪干涉仪在空间几何精度全参数高精度检测中的应用研究,项目编号:2023B04J0407)。
坐标测量机直线度的测量通常使用激光干涉仪或自准直仪。本文采用激光跟踪干涉仪进行测量,并进行实验验证。结果表明:该干涉仪具有可行性和可靠性。
关键词:激光跟踪干涉仪 直线度 坐标测量机 
线性位移台直线度高精密外差干涉测量装置被引量:9
《光学精密工程》2018年第7期1570-1577,共8页金涛 刘景林 杨卫 乐燕芬 侯文玫 
国家自然科学基金资助项目(No.51075280;No.51705324);上海市自然基金资助项目(No.16ZR1423000);国家自然科学基金中德合作研究中心项目(No.GZ1287)
直线度测量中往往存在有限的测量范围、精度低和阿贝误差等问题。本文提出了一种高精密直线度外差干涉测量装置,该装置由Koester棱镜、角锥棱镜、1/4波片、楔面棱镜和楔面反射镜构成。楔面棱镜为直线度传感元件,角隅棱镜和楔面反射镜是...
关键词:测试计量技术及仪器 直线度测量 外差激光干涉 阿贝误差 
渥拉斯顿棱镜偏摆对激光外差干涉直线度测量的影响分析被引量:1
《浙江理工大学学报(自然科学版)》2012年第5期672-676,682,共6页张华叶 张恩政 严利平 陈本永 
国家自然科学基金项目(90923026)
描述激光外差干涉直线度及其位置测量方法;分析由渥拉斯顿棱镜偏摆角引起的测量误差,建立激光外差干涉直线度及其位置测量误差的数学模型,并进行仿真分析研究。结果表明:渥拉斯顿棱镜倾角和摆角引入的测量误差为正弦型误差分量,当渥拉...
关键词:激光外差干涉仪 渥拉斯顿棱镜 直线度 倾角 摆角 
基于激光剪切干涉的长导轨直线度测量系统设计被引量:1
《传感器与微系统》2009年第12期77-79,共3页王文丹 赵美蓉 付鲁华 刘启海 林玉池 
国家自然科学基金资助项目(60874106)
针对长导轨直线度传统测量方法中存在的问题,研制了一种基于激光楔形平板剪切干涉测量的便携式激光干涉准直系统。根据剪切干涉测量原理,设计了光学元件的关键参数。在ARM9硬件开发平台下使用嵌入式操作系统WINCE 5.0,通过Embedded C++...
关键词:激光准直 剪切干涉 楔形平板 直线度误差 
大型超精密机床导轨卸荷系统结构设计与测试被引量:6
《光学精密工程》2007年第9期1383-1390,共8页张景和 张顺国 赵海潇 何远新 董申 
国家十五攻关资助项目(No.41318.2.12)
设计制造了一种新型的,适用于大型超精密机床的导轨卸荷系统。分析了卸荷系统中弹簧数量对卸荷系统性能的影响,并设计了连接卸荷浮板与导轨负荷的卸荷弹簧机构用于精确调整卸荷量的大小,并测试了卸荷弹簧的刚度。设计了卸荷浮板结构并...
关键词:超精密机床 卸荷系统 结构设计 直线度测量 
三点接续式大尺寸工件直线度动态测量方法研究被引量:1
《制造业自动化》2006年第12期16-19,共4页李迎春 朱善君 孙新亚 
讨论大尺寸导轨直线度的动态测量方法。首先介绍了三点接续式测量方案的基本原理及数据处理方法。文章结合电梯T型导轨的侧导向面和上导向面的特点,分别选择涡流传感器和平行激光—线阵CCD传感器,作为直线度动态测量的实现方案。最后,...
关键词:导轨 直线度测量 动态测量 组合式传感器 
中长距离直线度测量中的激光标尺
《机械工程师》2006年第5期115-117,共3页徐陵 张新宝 
开发了一种用于中长距离无衍射光直线度误差测量中的长度方向定位的激光标尺。它可精确地测量出长度方向(Z坐标)距离,同时通过它的激光反射光可以控制无衍射光直线度误差探测器与无衍射光直线基准的垂直度。文中基于相位法激光测距原理...
关键词:无衍射光 直线度 激光 相位 测距 
角锥棱镜用于激光直线度测量的特性分析被引量:10
《光学技术》2005年第2期282-285,共4页匡萃方 冯其波 刘斌 
对角锥棱镜用于激光直线度测量时可使测量精度提高一倍的光学特性进行了分析。分析了角锥棱镜的制造角差、面形误差和测量过程中角锥棱镜的偏摆、俯仰、滚转对直线度测量的影响。用实验验证了分析结果。分析结果为角锥棱镜用作激光直线...
关键词:角锥棱镜 直线度测量 误差分析 
激光束角漂移对双频激光直线度测量的影响被引量:2
《光电工程》1998年第4期55-61,72,共8页于瀛洁 张之江 张善钟 
利用惠更斯关于波面传播的理论,分析计算了双频激光渥拉斯顿棱镜直线度测量系统中激光束角漂移以及渥拉斯顿棱镜和双面反射镜倾角对测量精度的影响,得到了相应的结论。
关键词:双频激光干涉仪 直线度测量 激光束角漂移 
长距离同轴度测量方法及实验被引量:2
《计量学报》1997年第2期85-89,共5页成相印 方仲彦 殷纯永 郭继华 
国家自然科学基金
本文介绍了一种新型的自适应双频激光同轴度测量系统,该系统利用两个完全对称的渥拉斯顿棱镜,一个作为测量元件,另一个作为补偿元件。采用比相技术处理测量信号,因而测量元件可以暂时移出光路,能够进行同轴度的测量。系统的光学设...
关键词:直线度测量 同轴度测量 自适应 双频激干涉仪 
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