声表面波器件

作品数：329被引量：417H指数：10
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一种抑制声表面波器件横向能量泄露结构及其应用
《压电与声光》2024年第5期680-684,共5页李世国 褚梦群 胡丞稷 郑泽渔 杜雪松 董加和 陆川 李桦林 陈彦光 汪红兵 马晋毅 肖强 
采用42°YX-LiTaO_(3)基底的声表面波(SAW)滤波器、多工器易产生横向能量泄露效应,这种效应的产生会增大SAW器件的插损、缩减有效带宽、降低矩形度等。为了抑制声表面波的横向能量泄露,提出了一种假指加宽结构,并通过有限元仿真验证了...
关键词：声表面波器件 42°YX-LiTaO_(3) 横向能量泄露 假指加宽 
基于165Y-75Y LiNbO_(3)的声表面波器件的声光互作用性能分析
《压电与声光》2023年第5期657-662,共6页郭谦 李楠 王石语 路远 
基础研究基金项目(2021110B179)。
该文从理论上仿真了切割方向为165°Y,传播方向为75°Y的LiNbO_(3)晶体(简称165Y LN)的表面波声光调制器的场分布及其重叠积分、驱动功率随波导厚度变化的关系,并与其他切割方向的仿真结果进行了比较。该方向位于材料退耦面内,且在该面...
关键词：声表面波器件 声光相互作用 重叠积分 LiNbO_(3) 驱动功率 
声表面波器件引线楔形键合跟部微损伤控制研究被引量：1
《压电与声光》2023年第5期682-685,共4页吴燕 柳怡 王岚 唐运红 周琴珍 
声表面波器件内连的主流工艺是硅铝丝超声键合,而跟部微损伤是该工艺最大的质量隐患。该文从超声键合原理和工艺技术出发,对造成跟部微损伤的影响因素进行了分析,并给出了相应的解决方案。该方案使声表面波器件的键合点跟部微损伤得到...
关键词：声表面波器件 超声键合 跟部微损伤 
基于铌酸锂/BCB/聚酰亚胺结构的柔性声表面波器件的设计与仿真被引量：1
《压电与声光》2023年第2期169-173,共5页陈健中 彭斌 张万里 林庚辉 高令桥 
该文采用有限元法对“铌酸锂/苯并环丁烯(BCB)/聚酰亚胺”结构的柔性声表面波器件进行了研究。结果表明,铌酸锂厚度为0.06λ~0.8λ(λ为周期)时,不能激发稳定的瑞利波,在此区间外可激发瑞利波。随着温度升高,器件的谐振频率降低,计算结...
关键词：柔性声表面波器件 铌酸锂/苯并环丁烯(BCB)/聚酰亚胺 有限元仿真 温度 
声表面波器件光刻的衍射效应研究
《压电与声光》2022年第2期246-249,共4页孟腾飞 陈晓阳 段英丽 于海洋 周培根 王永安 
声表面波(SAW)器件光刻过程中,制作的光刻胶线条宽度与掩模版不一致,特别是不同宽度的非均匀线条光刻后线宽变化值存在偏差。该文研究了接近式曝光衍射效应对线宽的影响,分析了掩模版上线条和缝隙宽度、衍射光强、掩模版与光刻胶间距等...
关键词：声表面波(SAW)器件 光刻 衍射效应 线宽 
基于COMSOL的声表面波器件二维等效模型设计被引量：5
《压电与声光》2021年第5期605-608,共4页王巍 周杨春 王方 谭纪伟 滕洪菠 王华东 
重庆市科技局科技重大专项基金资助项目(cstc2018jszx-cyztzxX0054);重庆市教委基金资助项目(KJQN201800628)。
利用COMSOL软件建立了声表面波(SAW)单端口谐振器和双端口滤波器的二维等效模型,基于有限元法通过该模型计算了完整的SAW谐振器和梯形滤波器结构的导纳和频率响应特性,并将该结果与通过COM耦合模型模拟的结果进行对比。结果表明,基于有...
关键词：声表面波(SAW)谐振器 梯形滤波器 二维等效模型 有限元法 COM耦合参数 
基于ZnO/Al_(2)O_(3)缓冲层制备耐高温SAW器件电极
《压电与声光》2021年第3期365-369,共5页李海鸥 刘晶晶 彭斌 王博文 刘兴鹏 郭磊 
广西科技基地与人才专项基金资助项目(No.AD19245066);电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放基金资助项目(KFJJ201906);中国科学院纳米器件与应用重点实验室开放课题基金资助项目(20YZ02)。
为了声表面波(SAW)器件能在高温环境(不小于1000℃)中工作,该文设计并在La_(3)Ga_(5)SiO_(14)压电衬底上制作Pt/ZnO/Al_(2)O_(3)多层复合薄膜电极,利用ZnO/Al_(2)O_(3)组合缓冲层增强了Pt薄膜电极在极端高温条件下的导电稳定性。制备的...
关键词：高温 缓冲层 电极稳定性 声表面波器件 压电衬底 
一种防止声表面波器件静电烧伤的方法被引量：1
《压电与声光》2021年第2期222-224,共3页伍平 赵雪梅 董加和 陈彦光 
为了防止声表面波器件被自身的热释电静电烧伤,提出了一种新的静电防护方法。该方法采用导电介质来实现对声表面波器件引脚的良好接触,并建立了静电传导途径,实现了热释电静电的释放,解决了困扰声表面波器件的静电敏感问题。试验结果表...
关键词：声表面波器件 导电介质 静电 热释电 晶片 
声表面波器件晶圆键合工艺研究被引量：1
《压电与声光》2020年第3期361-364,共4页卢丹丹 米佳 彭兴文 谭昕怡 金中 
声表面波器件向小型化、集成化、更高性能方向发展,需要制作复合单晶薄膜和采用晶圆级封装。该文针对关键工艺中的晶圆键合工艺开展研究,提出工艺要求,简述有关键合工艺要求和设备特点,并进行了金属键合工艺验证。实验证明,设备和工艺...
关键词：声表面波器件 晶圆级封装 复合单晶薄膜 晶圆键合 设备特点 
基于COMSOL的声表面波器件三维结构仿真被引量：12
《压电与声光》2019年第4期497-500,共4页张永威 郭涛 谭秋林 张利威 
国家自然科学基金资助项目(U1837209)
基于铌酸锂基底的声表面波传感器电极材料设计,采用COMSOLMultiphysics仿真分析软件对声表面波传感器单对叉指进行三维建模,并进行固体力学和静电学物理场的有限元仿真分析。结果表明,不同电极材料和厚度对其反对称模态频率、对称模态...
关键词：声表面波传感器 有限元分析 对称模态频率 电极厚度 
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