片上螺旋电感

作品数：19被引量：16H指数：2
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八边形片上螺旋电感等效电路模型研究
《电子制作》2024年第19期99-103,共5页黄智超 赵昭 李洁 
集成电路时间参数校准技术研究。
片上螺旋电感的电感值、品质因数等参数对高速无源延迟电路的性能影响较大,需要进行精确的建模和分析。本文提出了一种八边形片上螺旋电感的双π等效电路模型。该八边形片上螺旋电感双等效电路模型可以有效反映螺旋电感中的趋肤效应、...
关键词：片上螺旋电感 双π 等效电路模型 高速无源延时电路 
石墨烯片上螺旋电感的射频建模和参数提取（英文）被引量：2
《红外与毫米波学报》2018年第4期393-398,共6页张译心 张傲 王博冉 高建军 
Supported by National Natural Science Foundation of China(61474044)
基于物理原理,对石墨烯螺旋电感提出了一种改进的等效电路模型,该模型在传统π模型的串联支路中增加了RC并联网络.并结合分析法和优化法,对此模型提出了一种参数提取方法.结果表明,在1～40 GHz频率范围内,测试所得S参数和模型仿真所得S...
关键词：等效电路 参数提取方法 石墨烯电感 
碳化硅基片上螺旋电感建模
《微波学报》2016年第S1期306-309,共4页曹泽华 徐锐敏 
在射频集成电路设计中,片上螺旋电感应用非常广泛。对于GaN器件,由于其单晶制备困难,无法进行同质外延,选用SiC作为GaN器件衬底是较为理想的选择。本文将针对SiC衬底进行片上螺旋电感建模,基于Enhance 1-p等效电路模型,可缩放模型中所...
关键词：GaN工艺 螺旋电感 等效电路模型 可缩放模型 
片上螺旋电感的一种新增强型单π模型被引量：1
《云南大学学报（自然科学版）》2016年第2期204-210,共7页李成玮 马铭磷 金湘亮 陈媛 李志军 
国家自然科学基金(61233010;61176030);湖南省自然科学基金(2015JJ2140);湖南省教育厅科学研究一般项目(14C1072)
针对片上螺旋电感提出了一种新型增强型单π等效电路模型.在宽频范围内,该模型仿真数据和HFSS中电磁仿真数据呈现出很好的拟合结果.所提模型充分考虑了高频下的衬底耦合效应、趋肤效应和邻近效应,基于电磁仿真得到的Y参数,采用拟线性函...
关键词：单π等效电路模型 参数提取 衬底耦合 高精度 
CMOS兼容高Q值微机电系统悬浮片上螺旋电感被引量：7
《兵工学报》2014年第5期634-639,共6页卢冲赢 徐立新 李建华 付博 欧修龙 
利用微机电系统（MEMS）表面微加工技术设计并制作了一种应用于无线电引信射频前端的CMOS兼容高Q值悬浮片上螺旋电感.电感的制作工艺在热预算和材料选择上均具有良好的CMOS兼容特性.通过采用铜金属悬浮线圈结构减小了片上螺旋电感损耗因...
关键词：兵器科学与技术 微机电系统 CMOS兼容工艺 悬浮片上螺旋电感 Q值 无线电引信 
片上螺旋电感宽频带等效电路模型的建立被引量：1
《微波学报》2014年第1期1-5,共5页罗晓斌 于伟华 吕昕 习国爱 
国家"973"计划项目(2010CB327505)
介绍了一种简单而有效的对片上螺旋电感建立集总等效电路模型的方法,并提出了用电容和电感补偿等效代替的思想,实现了9个参数的宽频带电路。通过仿真ADS中空气桥横跨式结构和电介质隔离地下通道式结构,该等效模型在26～40GHz带宽内获得...
关键词：片上螺旋电感 集总电路模型 等效代替 宽频带 
基于厚铜工艺的高Q值片上螺旋电感研究
《微电子学》2013年第6期850-854,共5页黄寅 毛志刚 王勇 赵宇航 
国家科技重大专项02专项(2009ZX02303-002)
为了减少片上螺旋电感的金属导体损耗,基于200mm晶圆的铜后道互连工艺线,开发了适用于射频电路的3μm厚铜工艺。流片测试结果显示,基于低阻硅衬底制作的电感器件在很宽的频率范围内,其品质因子Q值超过10,最高达到19.1;建立了用于电路设...
关键词：片上螺旋电感 厚铜工艺 品质因子 宏模型 
一种CMOS集成MEMS片上螺旋电感设计与仿真被引量：1
《科技导报》2012年第6期20-23,共4页卢冲赢 徐立新 王婷 
设计了一种与CMOS工艺兼容的MEMS片上螺旋电感。电感为矩形平面螺旋线圈结构,并采用电导率较高的铜代替铝制作线圈。利用MEMS技术设计了厚金属线圈,同时在CMOS级低阻硅衬底中刻蚀空腔,减小了线圈的串联电阻和衬底损耗,提高了电感的Q值...
关键词：MEMS 片上螺旋电感 COMS集成 Q值 
片上螺旋电感集总模型中衬底因子的分析与拟合
《电子器件》2009年第3期550-553,共4页陈大为 石艳玲 李曦 王鹏 刘婧 丁艳芳 
国家自然科学基金资助(60676047;60606010);上海市科委项目资助(075007033;08706200802)
石英、高阻SOI、高阻硅等衬底上实现的电感具有比低电阻率衬底的电感更优的高频性能,因而研究基于不同衬底的电感性能,并在高频模型中进行精确的衬底因子表征就显得十分重要。综合考虑高频下的趋肤效应和邻近效应及衬底电磁损耗对电感...
关键词：片上螺旋电感 集总模型 衬底因子 趋肤效应和邻近效应 
金属线宽与间距渐变的片上螺旋电感设计规则研究被引量：2
《电子器件》2008年第4期1116-1119,共4页刘婧 石艳玲 曹福全 唐深群 陈大为 黄浩 叶红波 王勇 薛琳艳 
国家自然科学基金资助(60676047,60606010);上海市科委项目资助(075007033、04QMX1419);上海-应用材料研究与发展基金等项目资助(0522)
在分析片上螺旋电感的磁场分布及射频损耗机制的基础上,研究了电感的金属线宽及线圈间距的变化对电感性能的影响,在大量数值分析基础上提出了金属线宽与间距之和不变,而金属线宽与间距之比从外圈到内圈逐渐减小的渐变型片上螺旋电感,并...
关键词：片上螺旋电感 欧姆损耗 磁场损耗 渐变结构 品质因子 
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