电容耦合放电

作品数:6被引量:26H指数:2
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线性离子源反应离子刻蚀多晶硅绒面结构被引量:1
《化学工程》2023年第9期7-13,共7页孙涛 张忠强 林本才 上官泉元 
国家重点研发计划(2018YFB1500304)。
为探究硅片绒面结构受RIE(反应离子刻蚀)工艺参数的影响规律,采用二维流体力学漂移扩散有限元方法建立了矩形腔室电容耦合等离子体放电模型,研究射频功率和压强对等离子放电特性的影响规律,并通过实验研究不同功率(1500、1750、1900 W)...
关键词:反应离子刻蚀 线性离子源 多晶硅 电容耦合放电 绒面结构 
高频电容耦合等离子体净化甲醛废气的实验研究
《工业安全与环保》2011年第1期44-46,共3页王军 黄海涛 李歆 
设计了高频电容耦合等离子体甲醛气体处理实验装置,开展了高频电容耦合等离子体甲醛气体处理实验研究。实验表明,甲醛去除率随着输入功率的增加而增加,随着甲醛初始浓度、电极间距、反应管管径、系统压力和气体流量等减小,甲醛的去除率...
关键词:等离子体 甲醛 电容耦合放电 
等离子体加工光学元件工艺研究被引量:4
《表面技术》2008年第1期51-53,共3页王颖男 杭凌侠 胡敏达 
为了得到超光滑表面且无表层损伤的光学元件,引入一种新型的超光滑表面加工技术——等离子体抛光。介绍了有关等离子体刻蚀的研究进展以及去除机理,在已经设计好的实验平台上进行等离子体加工工艺实验,对影响去除效果的参数进行了实验研...
关键词:超光滑表面 等离子体抛光 电容耦合放电 表面粗糙度 去除速率 
等离子体物理学——等离子体刻蚀工艺的物理基础
《中国学术期刊文摘》2007年第3期7-7,共1页戴忠玲 毛明 王友年 
介绍了等离子体刻蚀工艺背景以及有关等离子体刻蚀机理的研究进展,综述了等离子体刻蚀机理的研究方法,着重阐述了电容耦合放电和电感耦合放电等离子体物理特性,特别是双频电容耦合放电等离子体和等离子体鞘层研究中的关键问题.
关键词:等离子体 刻蚀 电容耦合放电 电感耦合放电 双频 鞘层 
等离子体刻蚀工艺的物理基础被引量:19
《物理》2006年第8期693-698,共6页戴忠玲 毛明 王友年 
国家自然科学基金(批准号:10572035)资助项目
介绍了等离子体刻蚀工艺背景以及有关等离子体刻蚀机理的研究进展,综述了等离子体刻蚀机理的研究方法,着重阐述了电容耦合放电和电感耦合放电等离子体物理特性,特别是双频电容耦合放电等离子体和等离子体鞘层研究中的关键问题.
关键词:等离子体 刻蚀 电容耦合放电 电感耦合放电 双频 鞘层 
低温等离子体催化氧化甲烷的实验研究被引量:2
《环境污染治理技术与设备》2006年第1期30-33,共4页杨小平 刘亚宁 唐兰 黄海涛 
国家自然科学基金资助项目(20376081)
采用电容耦合等离子体和催化剂协同作用对干空气中的甲烷进行了氧化实验,并和没有放置催化剂时进行了对比,结果表明,放置催化剂后甲烷的分解效率明显提高,反应产物中CO2的选择性增加,副产物NO和NO2的浓度减少,反应所需的能耗降低。甲烷...
关键词:等离子体 催化剂 甲烷 电容耦合放电 
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