外差干涉

作品数：217被引量：600H指数：12
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纳米精度外差式激光干涉仪非线性误差修正方法研究被引量：10
《仪器仪表学报》2005年第5期542-546,共5页黎永前 李晓莹 朱名铨 
提出一种外差干涉非线性误差修正方法,采用混频技术将光频信号降低到通用数据采集系统频率响应范围内;采用高速数据采集板实现外差干涉测量信号和参考信号双通道同步实时采集;对采集数据进行光滑处理,滤除高阶非线性误差;解出位移量对...
关键词：误差修正方法 外差式 双频激光干涉仪 非线性误差 精度 纳米 数据采集系统 测量不确定度 数据采集板 外差干涉仪 频率响应 混频技术 实时采集 参考信号 测量信号 光滑处理 采集数据 试验结果 双通道 相位差 位移量 
超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究被引量：2
《仪器仪表学报》2005年第z1期239-240,共2页廖小华 葛杨翔 李玉和 李庆祥 
国家重点基础研究发展计划(973计划)(2003CB716201)资助项目子课题
电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面和亚表面无损伤性要求越来越高。为了检测纳米尺度的表面微划痕,基于原子力显微镜思想,选用硅微探针工作在轻敲模式,通过外差干涉测量振幅变化,z向反馈实现微划痕成像,构建了一套微划痕检...
关键词：划痕 纳米尺度 轻敲模式 外差干涉 原子力显微镜 
外差干涉仪中金属反射镜对测量精度的影响被引量：3
《仪器仪表学报》2001年第6期602-605,共4页赵慧洁 
航空基础科学基金 (96I51 1 1 5);国防科技预研基金 (98J1 8.3.3HK0 1 1 9)资助项目
根据金属反射理论 ,偏振光经金属反射镜反射后会变成椭圆偏振光。本文研究了共光路干涉仪中偏振方向相互垂直的线偏振光通过金属反射镜后引起的椭圆偏振光的不正交性和偏心度 ,并研究了此偏振光经渥拉斯顿棱镜后引起的频率混叠误差的机...
关键词：外差干涉 金属反射镜 测量精度 
共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响
《仪器仪表学报》1998年第2期189-191,206,共4页李鹏生 于瀛洁 张琢 于英满 
航天工业总公司资助的重点预研项目
共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响＊李鹏生于瀛洁张琢于英满（哈尔滨工业大学哈尔滨１５０００１）０引言双频激光共光路外差干涉仪测量表面微细形貌原理如图１所示［１］，光路１和光路２的干涉信号的光强由光电元件接收。通过分...
关键词：干涉仪 激光束 角漂移 外差 共光路 
适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪
《仪器仪表学报》1996年第6期658-661,共4页李彬 梁晋文 
适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪李彬，梁晋文（东南大学机械系南京２１００１８）（清华大学精仪系北京１０００８４）０引言多波长激光干涉测量利用合成波长概念，可以在降低或不降低测量灵敏度的前提下，延长干涉测量的...
关键词：激光外差干涉仪 干涉仪 测量 
纳米光学测量技术
《仪器仪表学报》1995年第S1期197-201,共5页尤政 
本文综述了超精密测量技术的发展，介绍了作者研制的具有纳米级测量精度的非接触光探针扫描外差干涉仪，其分辨率为１ｎｍ，量程１０μｍ。
关键词：光学测量技术 测量精度 外差干涉仪 纳米技术 光电探测器 纳米级 声光调制器 探针扫描 表面粗糙度的测量 加工精度 
一种新型的纳米级外差干涉信号处理方法被引量：1
《仪器仪表学报》1995年第S1期398-402,共5页赵洋 李达成 曹芒 王佳 
本文介绍了一种新的用于纳米级外差干涉信号处理方法。该方法采用了相位及相位整数周期测量法，使外差干涉测量的分辨率提高到０．３ｎｍ。本文给出了采用该方法的外差干涉仪的实验结果。
关键词：外差干涉测量 外差干涉仪 信号处理方法 信号处理电路 纳米级 整数相位测量 调宽信号 压电陶瓷 激光干涉仪 声光调制器 
一种测量表面粗糙度的激光外差干涉仪
《仪器仪表学报》1990年第2期135-139,共5页古丽蓉 王佳 章恩耀 曹芒 
国家自然科学基金
本文讨论激光外差干涉技术测量表面粗糙度仪器的工作原理。作者利用两个声光调制器产生差频光,解调拍频信号并进行鉴相处理,精确测量表面粗糙度。文中还讨论了设计研制的表面粗糙度外差干涉仪的具体技术问题,对不同样品及加工表面进行实...
关键词：表面粗糙度 激光干涉仪 测量 
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