微悬臂梁

作品数：261被引量：520H指数：10
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微悬臂梁传感系统在Au-半导体复合纳米材料微热量检测中的应用被引量：1
《仪表技术与传感器》2023年第2期12-16,共5页滕艳华 王启明 周宁鸿 冯贺 许艺婷 刘松 薛长国 
国家自然科学基金项目(11872001,12172002);安徽省自然科学杰出青年科学基金项目(1808085J30);安徽省重点研究与开发计划项目(202004h07020026);安徽省留学回国人员创新项目。
文中采用一种基于微悬臂梁传感器的检测系统,实现了对Au-半导体复合纳米材料的微热量检测。根据光杠杆检测的方法研究了Au-半导体复合纳米材料光热转换散发热量对微悬臂梁挠度的影响。为验证系统对此类材料微热量检测的适用性,实验选用...
关键词：微悬臂梁 Au-ZnO 温度检测 光热光谱 热膨胀 传感器 
气敏材料表征的悬臂梁微称重温控系统设计
《仪表技术与传感器》2021年第12期81-86,共6页陆天海 费超 徐大诚 于海涛 
国家重大科研仪器研制项目(61527818)。
针对传统气敏材料表征实验中微悬臂梁称重装置存在温控系统体积大、能效比低及升降温速度慢等问题。文中设计了采用双层帕尔贴结构的微型温控腔体,拓宽了温度控制范围,减小了温控腔体体积。同时提出高精度自校准温度测量电路和模糊自适...
关键词：气敏材料 微悬臂梁 帕尔贴 温控系统 自校准电路 模糊PID 
基于微流控芯片的悬臂梁传感器性能优化被引量：1
《仪表技术与传感器》2020年第10期13-16,72,共5页张英杰 郝思萍 揣荣岩 张贺 
辽宁省自然科学基金(20180550950)。
以微悬臂梁传感器为核心,设计集混合、富集和检测等功能于一体微流控芯片,可有效弥补微梁传感器在集成化、便携式检测应用方面的不足。然而,片上微尺度条件下的液相环境将影响检测结果的准确性。建立流固耦合模型,研究了流体速度、芯片...
关键词：微悬臂梁 微流体流动 微流控芯片 弯曲位移 检测池 微沟道 
阶梯结构微梁传感器优化设计被引量：1
《仪表技术与传感器》2018年第12期5-8,共4页夏贝贝 揣荣岩 张贺 
为了实现微悬臂梁传感器的自驱动自感知功能,设计了嵌套式阶梯结构微悬臂梁传感器。采用有限元分析的方法对其微梁的自由端弯曲位移和固有频率进行了仿真,研究了阶梯结构对微悬臂梁传感器性能的改善,确定了微悬臂梁传感器的阶梯结构参...
关键词：微悬臂梁 阶梯结构 多晶硅 压电驱动 弯曲位移 固有频率 
基于DSP的集成谐振式微悬臂梁便携式气体检测仪被引量：5
《仪表技术与传感器》2018年第3期46-50,共5页徐善轩 任伟 吴伟 任艳波 刘民 彭欣 李昕欣 于海涛 
针对集成谐振式微悬臂梁气体检测仪小型化的问题,利用DSP(数字信号处理)设计和实现了可快速现场检测的便携式气体检测仪。该仪器基于DSP28335开发,采用开环自动扫频与闭环锁相检测相结合的方式。闭环测试核心是软件锁相环的设计,其中采...
关键词：气体检测仪 DSP 接口电路 软件锁相环 谐振式微悬臂梁 频率跟踪 
基于内聚力原理的薄膜/基底与微悬臂梁粗糙面间接触分析
《仪表技术与传感器》2016年第9期5-9,36,共6页黄书伟 黄健萌 
国家自然科学基金资助项目(51205062)
为提高射频微机电开关(RF MEMS SWITCH)的稳定性和可靠性,进一步深入了解接触式射频微机电开关接触特性。基于内聚力原理,运用ABAQUS 6.13建立了薄膜/基底与微悬臂梁间粗糙接触表面的接触-分离模型;动态分析加卸载过程中薄膜/基底接触...
关键词：薄膜/基底 粗糙接触表面 接触-分离 内聚力模型 射频微机电开关 
微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器被引量：5
《仪表技术与传感器》2015年第5期8-10,27,共4页热合曼.艾比布力 胡英杰 王同东 赵立波 赵玉龙 蒋庄德 
国家自然科学基金项目(51375378;91323303);陕西省科学技术研究发展计划项目(2012KJXX-01);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2012jdgz08);科技重大专项资助项目(2011ZX04004-061);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2012YQ03026101);111引智计划资助项目(B12016)
文中研究了谐振方法测量流体黏度的测量机理,采用MEMS工艺设计并加工了微悬臂梁结构的流体黏度传感器芯片,芯片作为振动体采用电磁激励和压阻检测的方法进行粘度测量。设计了封装结构并搭建了实验系统,在室温环境20℃和25℃2个温度点下...
关键词：MEMS 黏度 微悬臂梁 谐振 传感器 
压电微悬臂梁传感器性能的数值模拟研究被引量：4
《仪表技术与传感器》2011年第1期1-4,共4页张春娟 骆英 李红 
基于力-电双向耦合理论,采用有限元方法,数值模拟研究压电微悬臂梁的灵敏度,并进行参数分析,为设计性能优良的悬臂梁提供理论依据。理论分析微悬臂梁在空气和液体中的共振频率和自身结构参数的定量关系,灵敏度与共振频率变化量、被测物...
关键词：微悬臂梁传感器 灵敏度 有限元 动态模式 
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