离子敏场效应管

作品数：19被引量：9H指数：2
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：韩泾鸿汪祖民夏善红任振兴杨海钢更多>>
相关机构：中国科学院电子学研究所哈尔滨理工大学中国科学院华中科技大学更多>>
相关期刊：《自动化技术与应用》《仪器仪表学报》《化学传感器》《物理学报》更多>>
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氧化钛栅介质离子敏场效应管pH传感器的研制
《实验室研究与探索》2023年第8期58-61,126,共5页黄旭东 陈伟 鹿胜康 陈凯 郜晚蕾 金庆辉 
国家自然科学基金项目(62271242);宁波市重点研发计划项目(2022Z092)。
为了满足微量溶液的检测需求以及解决部分pH传感器灵产品敏度低、尺寸较大以及抗干扰性差的问题,研制了一种氧化钛(TiO_(2))栅介质离子敏场效应管pH传感器。该传感器的沟道层为铟镓锌氧化物(InGaZnO)薄膜,顶栅介质为氧化钛(TiO_(2))薄膜...
关键词：铟镓锌氧化物 氧化钛 PH传感器 离子敏场效应管 射频磁控溅射 
顶栅石墨烯离子敏场效应管的表征及其初步应用被引量：2
《物理学报》2016年第8期60-67,共8页吴春艳 杜晓薇 周麟 蔡奇 金妍 唐琳 张菡阁 胡国辉 金庆辉 
国家高技术研究发展计划(批准号:2014AA06A506);国家自然科学基金(批准号:61501441;61401442);中国科学院中德国际合作伙伴团队项目(批准号:GJHZ 1306);上海市科委项目(批准号:14ZR1447300,15220721700);上海市教委基础研究重点项目(批准号:14ZZ095)资助的课题~~
传统的液栅型石墨烯场效应管虽然灵敏度高,但是石墨烯沟道极易被污染,致使器件的稳定性减小,不能被重复利用.为此,我们设计制造了一种顶栅石墨烯离子敏场效应管,以化学气相沉积生长的石墨烯为沟道,通过原子层沉积在石墨烯表面沉积绝缘层...
关键词：石墨烯 场效应管 HfO2/Al2O3 水基-原子层沉积 
血气分析中二氧化碳分压测定方法比较
《生物医学工程与临床》2009年第6期566-569,共4页严荣国 郭旭东 葛斌 
上海高校选拔培养优秀青年教师科研专项基金资助(slg-07045)
陈述了应用于临床血气分析的4种二氧化碳分压[p(CO2)]测定原理,即基于离子选择性电极(ISE)、基于离子敏场效应管(ISFET)、基于气体对光谱选择性吸收原理和基于气体通透皮肤特性的测定。最后对4种p(CO2)二氧化碳分压测定方法进行了比较分...
关键词：二氧化碳分压 离子选择性电极 离子敏场效应管 朗伯-比尔定律 经皮二氧化碳分压 
新型pH-ISFET芯片系统研究
《电子与信息学报》2007年第10期2525-2528,共4页汪祖民 任振兴 韩泾鸿 边超 杨海钢 夏善红 
国家自然科学基金(90307014;60672019)资助课题
该文研究设计一种新型ISFET/REFET/PRE传感器与信号检测电路集成于一体的芯片系统。采用商业标准CMOS工艺实现了基础集成芯片,探索研究与集成芯片兼容的敏感薄膜制备技术及其相关后续工艺,着重研究电聚合法制备的H^+敏感PPy膜;与采用低...
关键词：离子敏场效应管 片上系统 聚吡咯 五氧化二钽 敏感膜 
悬浮栅结构ISFET动态特性的HSPICE仿真
《微纳电子技术》2007年第7期363-366,共4页屈岚 汪祖民 韩泾鸿 任振兴 夏善红 
国家自然科学基金资助项目(90307014)
通过对ISFET敏感机理的理论分析,根据表面基模型,建立了悬浮栅结构ISFET器件的HSPICE动态行为模型,对ISFET器件的动态特性进行仿真得到时间响应曲线,并探讨了薄膜等效电阻、薄膜等效电容、互连线寄生电容和寄生电阻等因素与动态特性中...
关键词：离子敏场效应管 HSPICE 动态特性 悬浮栅 
MEMS工艺制备pH-ISFET/REFET功能膜研究被引量：2
《电子器件》2007年第3期741-744,共4页汪祖民 韩泾鸿 任振兴 杨海钢 夏善红 
国家自然科学基金资助(90307014)
微电子技术的快速发展,促使硅基传感器向着集成化、微型化、可批量加工方向发展.对于pH-ISFET集成芯片而言,如何以MEMS工艺制备性能优良的pH功能膜,是其发展的关键.目的:以适合批量加工的MEMS工艺研制pH功能膜;方法:在小尺寸集成芯片的...
关键词：离子敏场效应管 功能膜 微电子机械系统 五氧化二钽 聚四氟 乙烯 
聚合物在pH-ISFET研究中的应用
《传感器与微系统》2007年第4期1-3,共3页汪祖民 韩泾鸿 任振兴 陈绍凤 夏善红 
国家自然科学基金资助项目(90307014)
聚合物具有许多无机物没有的特性,已被越来越多地应用到pH-ISFET中,主要体现在4个方面,即pH敏感膜、pH钝化膜、结构材料及封装材料。在介绍pH-ISFET工作机理的基础上,分析了其对功能薄膜的要求,总结、比较了各种用于pH-ISFET的聚合物的...
关键词：离子敏场效应管 敏感膜 钝化膜 聚合物 
采用DSP的青霉素浓度测试系统的研究
《自动化技术与应用》2006年第12期65-67,共3页高俊山 岳亚杰 孙真和 
本文基于离子敏场效应管的工作原理,设计了以DSP为核心单元的青霉素浓度测试系统。文中给出了系统的检测原理及硬件与软件的设计方法。该系统克服了传统测量方法的局限性,提高了青霉素浓度的测量精度、缩短了检测时间。
关键词：离子敏场效应管 青霉素浓度 DSP 
基于Ppy敏感膜的pH-ISFET研制
《仪器仪表学报》2006年第z2期1065-1066,共2页汪祖民 孙红光 韩泾鸿 边超 陈绍凤 夏善红 
国家自然科学基金(90307014)
研制了一种采用0．35μm标准CMOS工艺制造的,集成ISFET／REFET及其信号处理电路于一体的集成化芯片系统(SOC)。其中ISFET敏感膜为采用电化学法制备的导电聚合物Ppy(Polypyrrole,聚吡咯),通过对各种条件的优化,最终得到了pH响应为56mV／p...
关键词：离子敏场效应管 聚吡咯 敏感膜 集成化芯片系统 
CMOS离子敏场效应管SPICE模型被引量：1
《传感器技术》2005年第10期16-18,22,共4页刘肃 韩富强 于峰崎 
完全用CMOS工艺实现离子敏场效应型晶体管(ISFET)成为可能,这种ISFET的栅极结构是由绝缘体、多晶硅、金属层叠起来,称之为多层栅结构。从ISFET的传感机理出发,通过分析金属氧化物场效应晶体管(MOSFET)阈值电压的原理,利用通用电路模拟程...
关键词：离子敏场效应晶体管 器件模型 通用电路模拟程序 
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