多层布线技术

作品数：15被引量：9H指数：2
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埋置型多层布线技术中的光刻工艺研究
《混合微电子技术》2001年第4期23-27,共5页陈炜 
埋置型薄膜多层布线与其它多层布线技术相比有更高的集成度。本文讨论了埋置型薄膜多层布线基板的制备在光刻工艺中的技术问题及解决措施。并成功地在埋置型双层混合电路中进行了应用。
关键词：埋置型 多层布线技术 光刻工艺 微电子 
被釉钢基板及多层布线技术研究被引量：3
《混合微电子技术》1999年第2期99-102,130,共5页王正义 
关键词：被釉钢基板 多层布线技术 印刷电路板 
低烧,低介超细陶瓷基板研究被引量：1
《混合微电子技术》1997年第1期16-29,共14页孙义传 章瑜 
关键词：陶瓷基板 微组装技术 多层布线技术 
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