晶态薄膜

作品数：23被引量：39H指数：3
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相关领域：一般工业技术理学更多>>
相关作者：杨祖念谈国强余萍冯洁肖定全更多>>
相关机构：四川大学中国科学院陕西科技大学上海交通大学更多>>
相关期刊：《半导体信息》《发光学报》《物理学报》《材料导报》更多>>
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高能脉冲磁控溅射低温制备晶态薄膜的研究进展
《中国表面工程》2022年第5期105-115,共11页白雪冰 蔡群 张旭海 
国家自然科学基金资助项目(51771052,51001026)
高能脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)是一种新型的磁控溅射技术,以峰值功率密度高,金属离化率高为特点,与传统直流磁控溅射(DCMS)相比,表现出其独有的优势。晶态薄膜的制备以往通常采用高温沉积或者后续的热处理技术,不仅工艺复杂,而且容易造...
关键词：HIPIMS 结晶薄膜 沉积温度 Al_(2)O_(3) VO_(2) TiO_(2) 
界面诱导组装聚苯胺晶态薄膜及其气体响应性能被引量：2
《中国塑料》2022年第10期60-64,共5页董经纬 颜海燕 王毅 张博 陈书娟 李旻浩 张悦 
陕西省自然科学基础研究计划(2022JM-215);西安工业大学国家级大创项目(202110702013)。
通过界面模板法合成聚苯胺(PANI)晶态薄膜,并基于单晶硅底材制备了PANI薄膜气体传感器,利用傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)、拉曼光谱仪(Raman)、X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和智能气敏分析系统(CGS-1TP)对产物的结构与性能进...
关键词：界面模板法 聚苯胺 晶态薄膜 气体响应性能 
等离子体增强原子层沉积制备压电AlN薄膜被引量：1
《半导体技术》2021年第9期725-732,共8页乌李瑛 瞿敏妮 沈赟靓 田苗 马玲 王英 程秀兰 
国家科技部“十三五”高性能计算重点研发计划项目子课题资助项目(2016YFB0200205);2018年度上海研发公共服务平台建设项目(18DZ2295400);上海交通大学决策咨询课题资助项目(JCZXSJB2019-005,JCZXSJB2020-010)。
采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术在单晶硅衬底上成功制备了具有(002)晶面择优取向的氮化铝(AlN)晶态薄膜,为设计新型压电功能器件提供了思路。利用椭圆偏振光谱仪(SE)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(...
关键词：等离子增强原子层沉积(PEALD) ALN 晶态薄膜 结合能 氧缺陷 
基于有机半导体TIPS-Pentacene晶态薄膜的超灵敏NO_2气体传感器被引量：1
《物理化学学报》2019年第2期133-134,共2页刘忠范 
以有机半导体为活性层的气体传感器由于其可室温工作、良好的选择性、工艺简单和柔性等特点而具有极大的应用潜力1–4。然而和传统无机半导体传感器相比,有机半导体气体传感器的响应性能却远远不及,如灵敏度具有量级的差距,响应和回复...
关键词：半导体气体传感器 有机半导体 晶态薄膜 NO2 超灵敏 半导体传感器 响应性能 活性层 
原子层沉积低温制备AZO薄膜被引量：1
《功能材料》2015年第18期18100-18104,共5页唐立丹 梅海林 冯嘉恒 王冰 
国家教育部重点资助项目(2012031);辽宁省自然科学基金资助项目(201204916);辽宁省人才基金资助项目(LJQ2013068);辽宁省教育厅创新团队资助项目(LT2013014)
采用原子层沉积技术与改进的Al掺杂模式在石英玻璃基体上低温制备AZO薄膜,利用椭圆偏振仪、原子力显微镜、X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、Hall效应测试仪系统地对样品的生长速率、表面形貌、晶体结构、薄膜成分与电学性能进行了表征...
关键词：Al掺杂ZnO 原子层沉积 低温生长 晶态薄膜 
等离子增强原子层沉积低温生长AlN薄膜被引量：9
《物理学报》2013年第11期436-441,共6页冯嘉恒 唐立丹 刘邦武 夏洋 王冰 
国家自然科学基金(批准号:61106060);中国科学院知识创新工程重大项目(批准号:Y2YF028001);国家高技术研究发展计划(批准号:2012AA052401);国家教育部重点项目(批准号:212031);辽宁省教育厅一般项目(批准号:L2011098)资助的课题~~
采用等离子增强原子层沉积技术在单晶硅基体上成功制备了AlN晶态薄膜,利用椭圆偏振仪、原子力显微镜、小角掠射X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、X射线光电子能谱仪对样品的生长速率、表面形貌、晶体结构、薄膜成分进行了表征和分析...
关键词：氮化铝 等离子增强原子层沉积 低温生长 晶态薄膜 
在半金属表面上应力诱导的红荧烯晶态薄膜
《中国科学：化学》2011年第10期1575-1581,共7页兰梦 邵婷娜 谢佳乐 王俊忠 
国家自然科学基金(10974156);教育部春晖计划(Z2008-1-63010);教育部留学回国人员科研启动基金;重庆市自然科学基金(CSTC008BB4003)的资助
报道了在Bi(001)衬底上从第一层开始形成的红荧烯晶体薄膜.随着覆盖度的增加,红荧烯薄膜的结构会发生从自组装到混合相的转变.在混合相中存在着红荧烯的晶体畴和分子自组装形成的畴壁.特别是,我们在这种晶体畴中发现了Kurdjunov-Sachs(...
关键词：红荧烯 自组装 畴壁 晶态相 扫描隧道显微镜 
自组装单层膜技术制备纳米晶态薄膜的研究被引量：1
《中国陶瓷工业》2010年第5期60-64,共5页谈国强 程蕾 王艳 
国家自然科学基金项目(编号:50672055编号:50872077)
自组装单层膜(SAMs)技术是制备纳米尺寸超薄膜材料的一种极具应用前景的新型高效、环境友好的绿色制膜技术。本文首先比较详细地介绍了自组装单层膜技术(SAMs)的发展历程和研究现状,然后对SAMs技术诱导沉积纳米晶态无机薄膜的机理进行...
关键词：自组装单层膜 纳米晶态薄膜 沉积机理 生物矿化 
二氧化铪(HfO_2)晶态薄膜的液相自组装制备与表征
《稀有金属材料与工程》2009年第A01期349-352,共4页谈国强 贺中亮 苗鸿雁 刘剑 夏傲 
国家自然科学基金项目(50672055);国家科技支撑计划项目(2006BAF02A28);国家自然科学基金项目(50872077)
以硫酸铪和盐酸为原料,采用液相自组装技术,以十八烷基三氯硅烷(OTS)为模板制备了二氧化铪晶态薄膜。通过表面接触角测试仪观察有机层表面接触角变化,探讨了前驱液pH值,薄膜沉积温度和煅烧温度对HfO2薄膜的影响。通过XRD、SEM等测试手段...
关键词：OTS-SAMs HFO2 薄膜 
二氧化铪晶态薄膜的自组装制备被引量：1
《材料导报》2009年第6期81-83,共3页贺中亮 谈国强 苗鸿雁 刘剑 
国家自然科学基金资助项目(50672055);国家科技支撑计划项目(2006BAF02A28);国家自然科学基金资助项目(50872077)
利用自组装单层膜技术,在玻璃基板上生长有机硅烷单分子膜层,以Hf(SO4)2.4H2O和HCl配制HfO2前驱液,通过液相沉积在硅烷的功能性官能团上诱导生成二氧化铪薄膜。通过接触角测试仪、AFM、SEM及XRD等手段对膜材料的表面形貌和结构进行了研...
关键词：薄膜 自组装单层膜 HFO2 
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