云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 溅射法制备

溅射法制备: 作品数：444被引量：1081H指数：12; 导出分析报告; 相关领域：理学电子电信更多>>; 相关作者：齐宏进赵青南程晓农冯良桓刘汉法更多>>; 相关机构：武汉理工大学中国科学院东南大学电子科技大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>

射频磁控溅射法制备MoS_(2)纳米薄膜的光学性能研究: 《化工新型材料》2025年第2期131-134,共4页樊志琴邢淑涵李瑞张丽英张俊峰; 2024年河南省研究生教育改革与质量提升工程项目(YJS2024ZX15);河南工业大学2023年度研究性教学课程项目(2023YJXJX-38);教育部高等学校物理学类专业教学指导委员会教改研究课题项目(JZW-23-GT-09)。; 采用射频磁控溅射法在石英玻璃衬底表面沉积不同厚度的MoS_(2)纳米薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外-可见光分光光谱(UV-Vis)和荧光光谱等手段对MoS_(2)薄膜结构及光谱性质进行表征。结果表明:溅射时间越长,MoS_(2)薄膜的...; 关键词：MoS_(2)薄膜射频磁控溅射光学性能激子峰

磁控溅射法制备掺镁氧化锌薄膜的微观结构及其物理性质: 《中南民族大学学报（自然科学版）》2024年第5期709-717,共9页顾锦华万鑫冯朝德龙浩钟志有; 国家自然科学基金资助项目(12075322)。; 采用磁控溅射工艺制备了纯氧化锌(ZnO)和不同掺杂量的掺镁氧化锌(MgZnO)薄膜,研究了薄膜样品电学、光学、气敏性能和微观结构与掺杂量之间的依赖关系,以及温度和气体浓度对薄膜气敏性能的影响,并对掺杂量为10%(质量分数)的薄膜样品的室...; 关键词：磁控溅射掺杂氧化锌微观结构气敏性能

磁控溅射法制备钛镓锌氧化物透明导电膜的介电和光电性能研究: 《中南民族大学学报（自然科学版）》2024年第4期561-566,共6页陆轴郭声彦谢泉; 贵州省科学技术基金资助项目(黔科合基础[2019]1248)。; 采用磁控溅射技术制备了钛镓锌氧化物(TiGaZnO)透明导电膜,研究了衬底温度对薄膜样品介电、光电和结构性能的影响.结果表明:所制备的薄膜样品均为(002)择优取向的六角纤锌矿结构,并且衬底温度对薄膜性能具有明显的影响.当衬底温度为610 ...; 关键词：透明导电膜氧化锌介电常数光电性能

PI基材磁控溅射法制备柔性覆铜板的结合力优化研究: 《宇航材料工艺》2024年第4期81-86,共6页王恩泽王顺花尚伦霖张广安; 中国科学院科技服务网络计划(No.20201600200092)。; 采用磁控溅射法在聚酰亚胺薄膜表面沉积铜层广泛应用于柔性覆铜板的制备。目前,表面铜膜和聚酰亚胺基材结合强度低是磁控溅射法制备柔性覆铜板所面临的主要问题之一。本文提出通过对聚酰亚胺基材进行等离子体刻蚀处理和引入金属Cr结合...; 关键词：聚酰亚胺铜膜结合力 FCCL

同位靶磁控溅射法制备Al掺杂CdSe薄膜: 《热加工工艺》2024年第16期159-162,共4页何惠江宣乐毛高翔刘辉王春海; 国家科技攻关计划项目(J2019-VI-0015-0130)。; 为增加掺杂薄膜的元素均匀性,基于磁控溅射技术,设计了靶材同位共溅射制备掺杂薄膜的方法,并用于制备Al掺杂CdSe薄膜,获得了Al均匀掺杂的CdSe薄膜。结果表明:制备的薄膜为富Se状态,呈现明显的(111)择优取向。Al掺杂后的CdSe薄膜方块电阻...; 关键词：同位靶磁控溅射 Al掺杂CdSe薄膜电学行为

基于磁控溅射法制备的大面积高质量硒化铂薄膜及其在红外探测中的应用被引量：1: 《Science China Materials》2024年第7期2293-2301,共9页夏丰田王东博曹伽牧曾值张冰珂潘静文刘东昊刘思航赵晨晨矫淑杰陈天媛刘罡方铉赵连城王金忠; supported by the National Key Research and Development Program of China(2019YFA0705201);the National Natural Science Foundation of China(U2032129).; PtSe_(2)因其可调的带隙、高载流子迁移率和较高的光吸收率在红外探测领域受到广泛的研究和关注.然而,传统的制备方法存在生长条件复杂、生长时间长、铂源和硒源的选择性较低、晶体质量不高、成本昂贵以及大规模制造困难等缺点,限制了...; 关键词：infrared detection material two-dimensional mate-rial transition metal dichalcogenides topological semi-metal

磁控溅射法制备的硫化镉缓冲层的铜锌锡硫薄膜太阳电池性能: 《云南师范大学学报（自然科学版）》2024年第2期18-21,共4页陈玉飞廖华周志能赵永刚王书荣; 国家自然科学基金资助项目(62264016)。; 利用磁控溅射法制备硫化镉薄膜,研究硫化镉薄膜作为缓冲层的铜锌锡硫薄膜太阳电池性能.进一步地,采用双功率溅射的方法,减轻溅射过程对吸收层的损伤,增加了铜锌锡硫薄膜太阳电池的开路电压和填充因子,提高了光电转换效率,最终获得了光...; 关键词：铜锌锡硫薄膜太阳电池硫化镉缓冲层磁控溅射法双功率溅射

磁控溅射法制备电致变色器件的研究进展被引量：1: 《光源与照明》2024年第1期56-58,共3页谢意含杨小天胡小军张祺黄林茂; 吉林省科技发展计划项目(20220201068GX)。; 电致变色材料在外部施加电压的作用下可实现光学特性的可逆性转换,基于此原理设计的电致变色器件因其优异的低功耗特性得到了广泛应用。在电致变色器件的制备工艺中磁控溅射技术因其工艺成熟,操作简单,镀膜质量好等优势成为研究者们制...; 关键词：磁控溅射技术电致变色器件薄膜制备

感应耦合等离子体增强磁控溅射法制备MoO_(3)高透亲水光学薄膜: 《功能材料》2023年第11期11118-11125,共8页彭井泉郑学军冯春阳李方黄乐陈立左滨槐陈丽娟贺楚才; 国家自然科学基金(11832016);国家重点研发计划(2021YFB4000802);湖南创新型省份建设专项(2020GK2014);合肥通用机械研究院有限公司项目(2021ZKKF 043);湖南省研究生科研创新项目(CX20210644)。; 将磁控溅射和感应耦合相结合形成感应耦合等离子体增强磁控溅射技术(ICPMS),制备了MoO_(3)高透亲水光学薄膜。使用分光光度计、水接触角测试仪、扫描电子显微镜、X射线衍射仪和X射线能谱仪,分别表征薄膜的光学性能、润湿性能、显微形貌...; 关键词：正交实验感应耦合等离子体增强磁控溅射法 MoO_(3)薄膜透过率接触角

磁控溅射法制备氧化锆涂层及其绝缘性能研究: 《电镀与精饰》2023年第7期68-73,共6页徐文慧刘杰袁志响吴泊鋆卢文壮; 国家自然科学基金项目(51975287)。; 电机轴承的绝缘对于提高电动汽车的电机寿命具有重要意义。采用直流反应磁控溅射方法和正交试验设计,研究了工作气压、氧气流量和沉积温度对ZrO_(2)绝缘涂层的影响。采用扫描电镜、X射线衍射仪及数字兆欧表对ZrO_(2)涂层进行截面形貌、...; 关键词：ZrO_(2)涂层绝缘性能涂层厚度微观结构磁控溅射

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