硅波导

作品数：63被引量：22H指数：2
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基于硅波导分布布拉格取样光栅的四通道Ⅲ-V/Si激光器阵列
《光子学报》2024年第11期104-114,共11页贾艳青 王海玲 孟然哲 张建心 周旭彦 
国家重点研发计划(No.2022YFB2803100)。
提出了一种波长间隔0.8 nm的四通道Ⅲ-V/Si激光器阵列。在四通道硅波导表面设计了两组分布布拉格取样光栅,分别作为前反射镜和后反射镜,形成Ⅲ-V/Si激光器的谐振腔。优化设计分布布拉格取样光栅的参数,选择四个通道的取样光栅的一阶子...
关键词：取样光栅 分布布拉格反射 直接晶片键合 硅基激光器阵列 异质集成 倏逝波耦合 
用于集成光学陀螺的氮化硅层间耦合干涉环
《中国激光》2024年第22期250-258,共9页姜腾蛟 冯昌坤 李佳龙 刘建河 李加东 
国家重点研发计划(2021YFB3201600);集成电路材料全国重点实验室开放课题(NKLJC-K2023-10)。
集成光学陀螺具有小型化、集成化和低成本的巨大优势,可广泛应用于航空航天、导航卫星以及无人机等惯性导航领域。提出并设计了一种用于集成光学陀螺的氮化硅层间耦合干涉环结构,该氮化硅波导的截面尺寸为3.0μm×0.1μm,具有高宽深比...
关键词：集成光学陀螺 氮化硅波导 层间耦合 锥形垂直耦合器 
面向OCT应用的氮化硅波导基超宽带片上光源
《红外与毫米波学报》2024年第5期671-683,共13页惠战强 李佳颖 李田甜 韩冬冬 巩稼民 
国家自然科学基金(61875165);陕西省重点研发计划项目(2022GY-008);陕西省自然科学基础研究计划项目(2022JQ-638);陕西省创新能力支撑计划项目(2022PT-15);陕西省教育厅协同创新项目(20JY060)。
光学相干层析成像(Optical Coherence Tomography,OCT)技术具有非侵入、高分辨率、可实时成像等优点,在生物医学、材料学及红外传感等众多领域被广泛应用。设计了一种基于氮化硅(Si3N4)的脊形悬空光波导,基于时域有限差分法对所设计波...
关键词：光学相干层析成像 超连续谱 氮化硅波导 色散工程 非线性效应 
集成化光纤陀螺用高宽深比氮化硅光引擎芯片
《激光与光电子学进展》2024年第19期249-256,共8页李佳龙 牛亚楠 冯昌坤 姜腾蛟 李淑娴 李加东 
国家重点研发计划(2021YFB3201600);集成电路材料全国重点实验室开放课题(NKLJC-K2023-10);邯郸市科技计划项目(21422031161)。
针对惯性导航系统对光纤陀螺小型化和低成本的迫切需求,提出并设计了一种基于高宽深比氮化硅波导的集成化光纤陀螺用光引擎芯片。该芯片可兼具光源耦合、分束、传输和起偏等片上功能。光引擎芯片主要由两个1×2多模干涉(MMI)分束器和起...
关键词：集成化光纤陀螺 高宽深比氮化硅波导 光引擎芯片 MMI分束器 
基于十字型异质多芯波导的硅光端面耦合器
《光学学报》2024年第19期233-240,共8页张立桀 范艳晶 胡晶晶 成雨萱 谷一英 
国家重点研发计划(2019YFB2203201);国家自然科学基金(61605023,61805032)。
提出了一种基于十字型氮化硅(Si3N4)波导-半刻蚀硅波导结构的异质多芯端面耦合器,以实现光纤和绝缘体上硅条形波导的模场匹配。该设计采用Si_(3)N_(4)波导和硅(Si)波导共同引导光模场的结构,简化了工艺流程,避免了对二氧化硅(SiO_(2))...
关键词：端面耦合 模斑转换器 氮化硅波导 集成光学器件 多芯波导 
8英寸晶圆低损耗厚氮化硅波导的工艺开发被引量：1
《光子学报》2024年第9期93-103,共11页丛庆宇 李赵一 周敬杰 范作文 贾连希 胡挺 
国家重点研发计划(No.2018YFB2200500)。
在8英寸晶圆上制备氮化硅膜厚度超过400 nm时,产生的拉伸应力会使薄膜产生裂纹,为此,采用大马士革工艺,通过低压化学气相沉积分两步沉积、抛光氮化硅薄膜,同时结合棋盘格结构,减小应力,降低薄膜出现裂纹的风险。使用此方法成功在8英寸...
关键词：光电子学 光波导 8英寸 氮化硅 低压化学气相沉积 工艺优化 低损耗 
基于氮化硅波导的超宽带偏振不敏感光分束器
《光通信研究》2024年第4期85-89,共5页谢雅婷 洪艺涵 张翼 曾志红 卢益民 
【目的】为了解决偏振不敏感光分束器带宽受限问题,文章提出了一种基于氮化硅(Si 3N 4)波导的超宽带偏振不敏感光分束器。【方法】所提光分束器采用绝热耦合波导结构设计,可在1400~1700 nm波长范围内实现横电(TE)模式和横磁(TM)模式的...
关键词：氮化硅波导 光分束器 偏振不敏感 
基于夹层氮化硅波导的可见-中红外超连续谱特性研究
《红外与毫米波学报》2024年第3期293-299,共7页孙嘉浩 程如敏 郭凯 尹金德 卿笃安 李玲 闫培光 
国家自然科学基金(12074264);深圳市科技计划项目(JCYJ20220818095604010)。
提出一种低厚度氮化硅-蓝宝石-氮化硅夹层波导结构。利用其色散波辐射现象和中红外相位匹配条件,结合波导脉冲传输模型,讨论了夹层波导不同物理尺寸对相位匹配点和光谱展宽的影响,数值模拟获得了0.5~4μm的超连续谱展宽,并且在-40 dB水...
关键词：非线性光学 超连续谱 中红外 色散工程 氮化硅 
用于单片集成传感系统的多晶硅级联自发光器件研究
《光子学报》2024年第5期180-188,共9页唐宇 罗谦 刘斯扬 SNYMAN Lukas W 徐开凯 
国家自然科学基金(No.62174018);四川省科技厅重点研发项目(No.2023YFG0141)。
针对全硅光电生物传感器的硅基单片集成应用需求,提出了基于多晶硅级联自发光器件的单片集成传感器,对其中作为关键部分的多晶硅光源进行了试制,采用标准0.35μm的CMOS工艺对该光源进行了流片验证,并设计了适配的全硅波导检测结构。结...
关键词：单片集成 硅基光源 氮化硅波导 生物传感器 折射率传感 
用于宽谱光学耦合的CdTe纳米线与硅波导复合耦合结构设计
《微纳电子技术》2024年第5期66-73,共8页范长江 郭丽君 张云飞 李孟委 辛晨光 
国家自然科学基金(62005252)。
设计了一种基于CdTe纳米线与硅波导的复合光学耦合结构,利用光学绝热耦合实现了CdTe纳米线与片上硅波导的高效率、宽光谱耦合。采用时域有限差分法,研究了CdTe纳米线与硅波导的模式匹配情况,并建立了CdTe纳米线与硅波导复合结构的耦合...
关键词：纳米线 硅波导 光学耦合 宽光谱 光通信 
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