合金薄膜

作品数:238被引量:320H指数:9
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相关领域:一般工业技术金属学及工艺理学更多>>
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相关机构:中国科学院南京大学上海交通大学复旦大学更多>>
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基于金银合金薄膜的高灵敏度宽光谱表面等离子体共振成像传感器
《物理化学学报》2019年第6期630-636,共7页梁爽 高然 张萌颖 薛宁 祁志美 
国家重点基础研究发展规划项目(973)(2015CB352100);国家自然科学基金(61675203);中科院科研装备研制项目(YZ201508)资助~~
报道了一种基于金银合金薄膜的宽光谱表面等离子体共振成像(SPRI)传感器,该传感器能够对吸附在薄膜局部或整个表面上的生化分子进行原位定量检测,而且与常规的金膜SPRI传感器相比,检测成本更低,检测灵敏度更高。利用质量比1:1的金银合...
关键词:金银合金膜 宽光谱SPR成像 色相 高灵敏度 定量 
Cu-Ti合金薄膜的微结构和力学性能
《稀有金属材料与工程》2015年第12期3224-3227,共4页张安明 李玉阁 尚海龙 马冰洋 孙士阳 李戈扬 
国家重点基础研究发展计划("973"计划)(2012CB619601);国家自然科学基金(51371118)
通过磁控共溅射方法制备了一系列不同Ti含量的Cu-Ti合金薄膜,采用EDS、XRD、TEM、AFM和纳米力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能,研究了化合物对超过饱和固溶薄膜的强化作用。结果表明,由于溅射粒子的高分散性和薄膜生长的高非平衡性,...
关键词:铜合金薄膜 超过饱和固溶体 金属间化合物 微结构 力学性能 
XPS-AES联用技术对Pt-Co,Cu-Au和Cu-Ag合金薄膜的定量表征方法研究被引量:1
《光谱学与光谱分析》2013年第11期3128-3132,共5页李连中 卓尚军 申如香 钱荣 高捷 
国家重点基础研究发展计划(973)项目(2012CB720900);中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目(Y17YQ1110G)资助
俄歇电子能谱(AES)在表面微区元素分析方面优势明显,但是受基体效应的影响,其定量分析,特别是非单质材料表面元素含量分析的准确度差,X射线光电子能谱(XPS)的定量分析准确度较高。为了降低AES定量分析的误差,将XPS和AES两种分析技术联用...
关键词:XPS AES 定量分析 相对灵敏度因子 
基于金银合金薄膜的近红外表面等离子体共振传感器研究被引量:9
《物理学报》2013年第6期81-86,共6页张喆 柳倩 祁志美 
国家自然科学基金(批准号:60978042;61078039);国家重点基础研究发展计划(批准号:2009CB320300)资助的课题~~
利用淀积在玻璃衬底上的金银合金薄膜作为表面等离子体共振(SPR)芯片,构建了Kretschmann结构的近红外波长检测型SPR传感器.采用不同浓度的葡萄糖水溶液测试了金银合金薄膜SPR传感器的折射率灵敏度.实验结果表明随着入射角从7.5°增大到...
关键词:金银合金薄膜 表面等离子体共振 波长检测型 高灵敏度 
TiAl合金薄膜在冷却过程中结构变化的原子尺度计算研究被引量:4
《物理学报》2011年第6期230-235,共6页宋成粉 樊沁娜 李蔚 刘永利 张林 
国家重点基础研究发展计划(批准号:G2011CB606403);中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:90405001)资助的课题~~
采用基于嵌入原子势模型的分子动力学方法模拟了熔融TiAl合金薄膜分别在急冷降温和连续降温两个冷却过程中微观结构的变化.通过应用原子平均能量、对分布函数和键对分析技术等对薄膜内原子局域结构进行的分析.研究表明,在降温过程中,薄...
关键词:分子动力学 TIAL合金 薄膜 计算机模拟 
Si(001)衬底上分子束外延生长Ge_(0.975)Sn_(0.025)合金薄膜被引量:5
《物理学报》2011年第2期707-711,共5页苏少坚 汪巍 张广泽 胡炜玄 白安琪 薛春来 左玉华 成步文 王启明 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB613404);国家自然科学基金(批准号:61036003;60906035;51072194);中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目(批准号:ISCAS2009T01)资助的课题~~
使用低、高温两步法生长的高质量Ge薄膜作为缓冲层,在Si(001)衬底上采用分子束外延法生长出Ge0.975Sn0.025合金薄膜.X射线双晶衍射和卢瑟福背散射谱等测试结果表明,Ge0.975Sn0.025合金薄膜具有很好的晶体质量,并且没有发生Sn表面分凝.另...
关键词:GeSn Ge 分子束外延 外延生长 
生长参数对Si_(1-x)Ge_x∶C合金薄膜中元素分布的影响
《真空科学与技术学报》2008年第S1期52-55,共4页梅琴 韩平 王荣华 吴军 夏冬梅 葛瑞萍 赵红 谢自力 修向前 张荣 郑有炓 
国家重点基础研究发展规划(No.2006CB604900);国家高技术研究发展规划(No.2006AA03A103;2006AA03A142);国家自然科学基金(No.60421003);高等学校博士学科点专项科研基金(No.20050284004);单片集成电路与模块国家级重点实验室2006年度基金(No.9140C1404010605)
用化学气相淀积方法在Si(100)衬底上外延生长Ge组分渐变的Si1-xGex∶C合金薄膜。本文通过能量色散谱仪(EDS)和扫描电子显微镜(SEM)对合金薄膜的元素深度分布和表面形貌进行了表征,分析研究了外延层的生长温度、生长时间对Si1-xGex∶C合...
关键词:Si1-xGex∶C合金薄膜 扩散 能量色散谱仪 化学气相淀积 
Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub>合金薄膜中替位式C组分随生长温度的变化
《稀有金属》2007年第S2期5-8,共4页王荣华 韩平 王琦 夏冬梅 谢自力 张荣 
国家重点基础研究发展规划基金(2006CB604900);国家高技术研究发展规划基金(2006AA03A103);高等学校博士学科点专项科研基金(20050284004);单片集成电路与模块国家级重点实验室2006年度基金(9140C1404010605)
用化学气相淀积方法,以乙烯为碳源、硅烷为硅源,在Si(100)衬底上外延生长了替位式C组分达1.22%的Si1-yCy合金薄膜,研究表明:处于替位式格点位置的C原子与Si原子成键,形成Si-C局域振动模;随着生长温度的降低,更多具有较低迁移率的C原子...
关键词:化学气相淀积 Si1-yCy合金薄膜 Si-C局域振动模 
生长温度对Si<sub>1-x</sub>Ge<sub>x</sub>∶C合金薄膜性质的影响
《稀有金属》2007年第S2期21-24,共4页夏冬梅 王荣华 王琦 韩平 谢自力 张荣 
国家重点基础研究发展规划基金(2006CB604907);高等学校博士学科点专项科研基金(20050284004);2006年度国防科重点实验室基金(9140C1404010605)
用化学气相淀积方法在Si(100)衬底上制备Si缓冲层,继而外延生长Ge组分渐变的Si1-xGex∶C合金薄膜。研究表明,较低的Si缓冲层或Si1-xGex∶C外延层生长温度均不利于获得理想的Si1-xGex∶C合金薄膜,仅在Si缓冲层和Si1-xGex∶C外延层的生长...
关键词:化学气相淀积 Si1-xGex∶C合金薄膜 生长温度 
Si_(1-y)C_y合金薄膜中替位式C组分随生长温度的变化
《稀有金属》2007年第z1期5-8,共4页王荣华 韩平 王琦 夏冬梅 谢自力 张荣 
国家重点基础研究发展规划基金(2006CB604900);国家高技术研究发展规划基金(2006AA03A103);高等学校博士学科点专项科研基金(20050284004);单片集成电路与模块国家级重点实验室2006年度基金(9140C1404010605)
用化学气相淀积方法,以乙烯为碳源、硅烷为硅源,在Si(100)衬底上外延生长了替位式C组分达1.22%的Si1-yCy合金薄膜,研究表明:处于替位式格点位置的C原子与Si原子成键,形成Si-C局域振动模;随着生长温度的降低,更多具有较低迁移率的C原子...
关键词:化学气相淀积 Si1-yCy合金薄膜 Si-C局域振动模 
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