半导体硅材料

作品数：89被引量：116H指数：7
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半导体硅材料CMP三维有限元分析被引量：2
《稀有金属》2023年第9期1324-1330,共7页王新 周旗钢 路一辰 宁永铎 郑宇 王永涛 
国家重点研发计划项目(2017YFB0305603)资助。
利用有限元仿真方法分析了四轴多片式单面抛光系统的抛光压力分布,建立三维准静态非轴对称模型,设定了模型部件尺寸和材料物性参数,设定模型假设条件和边界约束,使用有限元软件计算不同抛光垫杨氏模量和不同载荷条件下对硅片表面法向应...
关键词：硅片 化学机械抛光(CMP) 有限元分析 法向应力 
半导体硅材料的杂质及其纯度计算
《科技创新与应用》2022年第34期71-74,共4页李朋飞 徐岩 
主要阐述硅材料在不同领域扮演着举足轻重的作用,随着新能源和电子信息时代的发展,硅材料对推动信息化革命至关重要。从硅材料的应用研究方向出发,参考GB/T 12963—2014《电子级多晶硅》,以众多科研工作者的研究为基础,综合考虑基体金...
关键词：半导体 电阻率 纯度 计算 表示方法 
中晶科技:半导体硅材料国产化进程的推动者
《投资有道》2021年第1期67-69,共3页藏玉 
浙江中晶科技股份冇限公司(以下简称:中晶科技)是一家专注于半导体硅材料的研发、生产和销售的高新技术企业,主要产品为半导体硅片及硅棒,产品主要应用于半导体分立器件,是专业的高品质半导体娃材枓制造商。
关键词：半导体分立器件 国产化进程 半导体硅材料 高新技术 中晶科技 推动者 制造商 
导通电流密度突破50A/cm^2新型IGBT诞生
《半导体信息》2020年第1期13-15,共3页
几十年前,在功率半导体器件领域,半导体硅材料一直"独唱主角",硅基超大规模集成技术对硅功率器件的发展产生了重大影响。然而,随着功率领域对小型化、高频、高温、高压和抗辐照特性的迫切需求,硅基功率器件达到了理论极限,第二代半导体...
关键词：宽禁带半导体材料 功率半导体器件 理论极限 半导体硅材料 硅功率器件 IGBT 氮化铝 
低温红外分析半导体硅材料影响因素研究
《检验检疫学刊》2019年第6期106-107,共2页韩小月 李文忠 韦金孝 李艳梅 毛智慧 
低温红外光谱在半导体材料的结构、成分分析中有非常广泛的应用。本文从样品制备、仪器条件2个方面论述了低温傅立叶变换红外光谱仪分析半导体硅材料中间隙氧、代位碳及Ⅲ族、Ⅴ族杂质时的影响因素和预防措施,为低温红外分析技术的广泛...
关键词：低温红外 半导体硅材料 影响因素 
更耐高压、更低功耗:新型碳化硅IGBT器件闪耀半导体器件舞台
《科技纵览》2019年第9期64-65,共2页申占伟 张峰 闫果果 刘兴昉 赵万顺 王雷 赵永梅 黄亚军 宋庆文 张艺蒙 
国家973计划青年科学家项目“高压大容量碳化硅IGBT电力电子器件若干基础科学问题研究”(项目编号:2015CB759600)的支持。
几十年前,在功率半导体器件领域,半导体硅材料一直“独唱主角”,硅基超大规模集成技术对硅功率器件的发展产生了重大影响。然而,随着功率领域对小型化、高频、高温、高压和抗辐照特性的迫切需求,硅基功率器件达到了理论极限,第二代半导...
关键词：宽禁带半导体材料 功率半导体器件 理论极限 半导体硅材料 功率器件 IGBT器件 耐高压 低功耗 
基于硅纳米线的场效应晶体管电学性质仿真被引量：1
《电子世界》2018年第17期52-53,共2页许明坤 毛雷鸣 叶松 陈宇 
安徽省高校自然科学研究重点项目(KJ2016A507);南京大学固体微结构物理国家重点实验室开放课题(M30049);安徽省自然科学基金面上项目(1808085MF184);巢湖学院科研启动基金(KYQD201606)
半导体硅材料是微电子、光电子领域的基础材料,而半导体硅纳米线具有优良的光电性质和成熟的制备技术。多年以来,人们对硅纳米线的制备及相关器件应用进行了大量而卓有成效的研究,取得了丰富的研究成果。研究结果发现,半导体硅纳米线在...
关键词：场效应晶体管 硅纳米线 电学性质 仿真模拟 半导体硅材料 化学传感器 器件应用 电学特性 
半导体硅材料的清洗方法被引量：5
《天津科技》2017年第5期56-58,63,共4页王艳茹 李贺梅 
半导体行业中的很重要的一道工序就是对半导体材料的清洗,这直接影响着半导体材料的质量及下游产品的性能。介绍了硅片表面污染的种类来源以及形成机理。对目前硅片主要清洗方法——RCA清洗法、超声清洗法、气相清洗法和其他清洗法的工...
关键词：硅片 表面污染 超声清洗 RCA清洗 
中国科学技术大学研制出新型柔性太阳能电池
《石油化工》2016年第8期945-945,共1页
中国科学技术大学基于应用广泛的半导体硅材料，采用金属纳米结构的热电子注入方法，设计出一种可在近红外区域进行光电转换且具有力学柔性的太阳能电池。
关键词：中国科学技术大学 太阳能电池 柔性 半导体硅材料 热电子注入 纳米结构 光电转换 红外区域 
中科大构筑新型近红外柔性太阳能电池
《军民两用技术与产品》2016年第7期33-33,共1页
针对光伏器件在近红外光波段的吸收和利用问题，中国科学技术大学的研究人员基于半导体硅材料，采用金属纳米结构的等离激元热电子注入机制，设计了一种可在近红外区域进行光电转换且具有力学柔性的光伏器件。
关键词：近红外 太阳能电池 柔性 中国科学技术大学 半导体硅材料 光伏器件 热电子注入 利用问题 
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