PCVD

作品数：241被引量：448H指数：9
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多源PCVD合成SiNx—SiOy和SiNx—SiCy复合膜
《等离子体应用技术快报》2000年第9期8-10,共3页蓉佳 
关键词：复合膜 多源等离子体化学气相沉积 
通过超磁控管PCVD生成导电的掺氮a—C：H膜（DLC膜）
《等离子体应用技术快报》1997年第1期5-6,共2页张正模 
关键词：PCVD 类金刚石 薄膜生长 
用PCVD技术制备金刚石膜和氮化硼膜
《等离子体应用技术快报》1996年第8期1-5,共5页张正模 
关键词：PCVD 金刚石 氮化硼 薄膜 
可防止电极等污染的PCVD成膜方法
《等离子体应用技术快报》1995年第5期4-5,共2页肖敏 
关键词：PCVD 半导体器件 薄膜 
PCVD生长的SnO2／Fe2O3膜的分界面过滤层的性质和形成
《等离子体应用技术快报》1994年第10期13-14,共2页方水泉 
关键词：等离子体 化学气相沉积 锡氧化物 铁氧化物 薄膜 
SiN：H薄膜ECR—PCVD的就地监测
《等离子体应用技术快报》1994年第8期4-5,共2页留文 
关键词：ECR 等离子体 化学相沉积 氮化硅 薄膜 
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