压阻式压力传感器

作品数：187被引量：755H指数：14
导出分析报告
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
相关作者：聂萌黄庆安梁庭张大成王权更多>>
相关机构：东南大学中北大学中国电子科技集团公司第四十九研究所西安交通大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划浙江省科技攻关计划国家杰出青年科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 机构=中北大学x
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
压阻式压力传感器硅电阻条浅槽刻蚀的研究
《舰船电子工程》2024年第4期199-202,共4页王天靖 梁庭 雷程 王婧 冀鹏飞 
MEMS压阻式压力传感器的电阻条刻蚀效果对传感器的性能及高温环境下工作寿命起着至关重要的作用。采用SPTS深硅刻蚀机以SF6为刻蚀气体,C4F8为保护气体进行刻蚀实验。通过改变刻蚀气体通入时长、保护气体通入时长以及射频功率进行参数匹...
关键词：压力传感器 电阻条 深硅刻蚀 刻蚀 刻蚀速率 均匀性 
固支结构对压阻式压力传感器的输出影响研究
《仪表技术与传感器》2023年第10期7-14,共8页王宇峰 赵妍琛 雷程 梁庭 
山西省重点研发计划项目(202102030201001,202102030201009);山西省科技重大专项计划“揭榜挂帅”项目(202201030201004)。
针对MEMS压阻式压力传感器微型化发展过程中精度难以保证的问题,通过有限元仿真分析方法,研究固支结构、封装约束方法等变量对压力传感器输出的影响。结果表明,固支结构的引入会导致压敏电阻所处路径出现24.93%的应力偏差,不同封装方法...
关键词：MEMS压力传感器 压阻式压力传感器 有限元仿真 固支结构 
压敏电阻的热应力分析及结构优化被引量：2
《仪表技术与传感器》2023年第2期44-49,共6页王婧 雷程 梁庭 王丙寅 陈国锋 
山西省重点研发计划项目(202102030201001,202102030201009)。
为解决SOI压阻式压力传感器敏感芯片上电阻条因热应力堆积导致的断裂问题,通过在电阻条上容易堆积应力的弯折处建立平滑倒角的方式来降低热应力堆积,提高电阻条的热稳定性。利用多物理场耦合分析软件对有无倒角的2种结构进行仿真分析,...
关键词：压阻式压力传感器 热应力 敏感芯片 电阻条 耦合仿真 优化设计 
MEMS电镀金属掩模工艺研究被引量：3
《传感器与微系统》2022年第11期27-30,34,共5页宫凯勋 梁庭 雷程 董志超 赵珠杰 白晨 
山西省自然科学基金资助项目(201801D221203);山西省重点研发计划项目(201903D121123);中央引导地方科技发展资金资助项目(YDZX20201400001664);高等学校科技创新项目(1810600108MZ)。
在碳化硅(SiC)压阻式压力传感器使用溅射剥离再电镀金属作为掩模进行背腔深刻蚀的工艺中,由于电镀过程中背腔侧壁金属的横向生长,实际背腔刻蚀面积小于设计刻蚀面积。针对该问题,基于电化学仿真计算理论,构建了晶圆背腔刻蚀掩模电镀模型...
关键词：仿真模拟 电镀工艺 金属掩模 刻蚀 压阻式压力传感器 
一种微型压力传感器调理电路的优化设计被引量：10
《电子设计工程》2021年第17期50-54,共5页任勇峰 程心怡 贾兴中 
压阻式压力传感器的原始输出信号属于微弱信号,容易受到噪声信号的干扰,并且不利于后续的采集和利用。同时在测试过程中,容易受到温度的影响。针对这些特点,设计了基于压阻式敏感元件的信号调理电路。方案一通过对供电、放大、滤波等模...
关键词：压阻式压力传感器 信号调理 恒流源 MAX1452 微型 温度补偿 
基于SOI的MEMS高温压阻式压力传感器被引量：11
《微纳电子技术》2021年第4期325-331,共7页单存良 梁庭 王文涛 雷程 薛胜方 刘瑞芳 李志强 
山西省重点研发计划项目(201903D121123);山西省自然科学基金项目(201801D121157,201801D221203)。
基于高温环境下压力实时监测的广泛需求,设计并制备了一种最大量程为1.5 MPa的绝缘体上硅(SOI)压阻式压力传感器。根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了传感器力学结构和电学性能的设计,采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺完成了敏感...
关键词：高温压力传感器 微电子机械系统(MEMS) 压阻效应 灵敏度 倒装封装 
压阻式高温压力传感器温度补偿与信号调理设计与测试被引量：10
《计算机测量与控制》2021年第2期256-261,266,共7页薛胜方 梁庭 雷程 李志强 单存良 
山西省重点研发计划项目(201903D121123);山西省自然科学基金项目(201801D121157,201801D221203)。
设计制作了一种集成信号调理电路的高温压阻式压力传感器,包含倒装式的压敏敏片、无源电阻温度补偿电路和信号调理电路组成;压敏芯片的制作采用SOI材料和MEMS标准工艺,温度补偿和信号调理电路采用高温电子元件;试验表明,无源电阻温度补...
关键词：高温压阻式压力传感器 无源电阻温度补偿 信号调理 
石墨烯/PDMS仿生银杏叶微结构柔性压阻式压力传感器被引量：10
《微纳电子技术》2020年第3期198-203,共6页李伊梦 侯晓娟 张辽原 丑修建 
国家自然科学基金资助项目(51705476);国家重点研发计划资助项目(2019YFF0301802).
柔性压阻式压力传感器是可穿戴健康监测系统和人机交互设备的重要组成部分。在实际应用中,对具有高灵敏度和宽线性范围的压阻式压力传感器的需求迫切。以石墨烯油墨为功能层、聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性材料,设计并制备了具有仿生银杏...
关键词：压阻式压力传感器 仿生银杏叶微结构 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 石墨烯油墨 柔性材料 
一种微小型增益可调调理电路的设计及实现被引量：7
《电子设计工程》2020年第2期99-103,共5页雷武 朱平 
压阻式压力传感器的输出信号是非常微弱的,微弱信号在传输过程中容易产生失真现象,同时也会受到各种干扰信号的影响,不利于有用信号的提取,因此文中针对压阻式压力传感器的输出信号设计了一种调理电路。该信号调理电路主要由AD8221芯片...
关键词：压阻式压力传感器 信号调理 增益可调 微小型 
压阻式压力传感器灵敏度的仿真方法被引量：5
《仪表技术与传感器》2019年第2期4-8,共5页杨娇燕 梁庭 李鑫 林立娜 李奇思 赵丹 雷程 熊继军 
国家自然科学基金(51405454)
为了实现对压阻式压力传感器灵敏度的准确预估,针对传统中心点算法的不足,采用了一种基于对敏感薄膜应力分布的有限元仿真分析和路径积分的仿真方法。通过对电阻所在路径线积分计算电阻平均变化率,计算出不同压力下的输出电压。对2种不...
关键词：灵敏度 压阻式压力传感器 有限元仿真分析 敏感薄膜 路径积分 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部