AZO

作品数：485被引量：794H指数：12
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ZnO基透明导电薄膜
《发光学报》2025年第4期597-614,共18页史钧达 杨汝琪 胡杜楠 刘如敏 余涛 吕建国 
浙江省“尖兵领雁+X”研发攻关计划(2024C01252(SD2))。
ZnO是一种典型的第三代半导体材料,宽禁宽度3.37 eV。本征ZnO是一种n型半导体,采用施主元素掺杂技术可以显著提升其n型导电特性。ZnO基透明导电薄膜具有原料来源丰富、制备方法多样、可室温生长等优势,可应用于光电、传感、光热等诸多...
关键词：氧化锌 透明导电薄膜 施主掺杂 AZO 光电特性 
Al掺杂ZnO透明导电薄膜表面修饰及其光电性能的创新实验设计
《山东化工》2021年第21期9-11,共3页肖雪春 王毓德 王莉红 黄强 董成军 管洪涛 胡剑巧 钱伟 
云南大学2018年本科优秀教学团队项目(2018JXTD014)。
采用简单的溶胶-凝胶方法在石英玻璃衬底上制备了Al掺杂的ZnO(AZO)透明导电薄膜,通过用40 W 365 nm波长的紫外灯(UVA)照射对所制备的AZO薄膜进行表面修饰,并用紫外分光光度计研究了其光电性能。结果表明,所制备的AZO薄膜为透明导电薄膜...
关键词：溶胶-凝胶法 AZO 透明导电薄膜 光电性能 创新实验教学 
AZO和ITO薄膜性能对比及其在太阳电池中的应用被引量：7
《化工新型材料》2021年第9期280-283,共4页范丽琴 
福建省中青年教师教育科研项目(JAT170806)。
采用磁控溅射在衬底上溅射掺铝氧化锌(AZO)和掺锡氧化铟(ITO)薄膜,比较AZO薄膜和ITO薄膜的光谱响应范围及其光学与电学综合性能。在厚度为200nm左右时,AZO薄膜的品质因子(0.61×10^(-3)Ω^(-1))比ITO(2.23×10^(-3)Ω^(-1))小一个数量级...
关键词：透明导电薄膜 光电性能 太阳电池 
真空热处理对AZO膜结构及光电性能的影响
《真空》2021年第3期45-50,共6页张心会 李青霄 
河南城建学院博士基金(批准号:Q2018015)。
采用直流磁控溅射法分别在预热的和室温下的玻璃衬底上制备了AZO薄膜,并对室温下制备的AZO薄膜进行了真空退火。使用X射线衍射仪、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计和霍尔测试仪对这两种工艺条件下制备的AZO薄膜进行了表征,比较研究...
关键词：AZO薄膜 真空 热处理 方阻 光电性能 
衬底温度对共溅射制备AZO薄膜光电性能影响被引量：5
《压电与声光》2018年第5期784-788,共5页何双赐 钟志成 汪竞阳 魏彦锋 
国家自然科学基金资助项目(51302075;61302004);湖北省自然科学基金重点资助项目(ZRZ2015000203)
以Al金属和ZnO陶瓷作为溅射靶材,采用直流和射频双靶磁控共溅射的方法在玻璃衬底上制备Al掺杂ZnO(AZO)透明导电薄膜,采用X线光电子能谱仪、X线衍射(XRD)仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和霍耳效应测试仪对薄膜...
关键词：Al掺杂ZnO(AZO)薄膜 共溅射 衬底温度 光电性能 蓝移 
AZO透明导电膜电磁散射光电参数影响试验被引量：4
《工程科学学报》2018年第10期1259-1266,共8页刘战合 王晓璐 姬金祖 王菁 黄沛霖 周鹏 
国家重点基础研究计划(973计划)资助项目(61320);航空科学基金资助项目(2015ZD55005,2016ZA55001);河南省科技攻关计划资助项目(182102210444,172102210530);郑州航空工业管理学院青年骨干教师资助计划资助项目(2017-12)
采用常温镀膜技术在浮法玻璃表面沉积了不同方块电阻的氧化锌铝（Al-doped zinc oxide,AZO）透明导电膜,建立了透明导电膜的雷达散射截面（radar cross section,RCS）测试和研究方法;提出了基于雷达散射截面均值的相对反射率概念,结合...
关键词：氧化锌铝 薄膜 电磁散射 隐身 雷达散射截面 
AZO单层和AZO/Cu/AZO复合层薄膜光电性能的研究被引量：1
《材料科学》2018年第6期664-676,共13页王宇 余云鹏 张汉焱 林钢 徐从康 王江涌 
广东省科技计划项目(编号2017A010103021)的赞助。
本文采用射频磁控溅射法在玻璃衬底表面制备了Al掺杂的ZnO薄膜(AZO膜)及AZO/Cu/AZO复合层薄膜,使用四探针薄膜方阻仪、分光光度计、XRD和辉光放电发射光谱仪对薄膜光电性能及成分进行了表征分析。研究了制备工艺参数和各膜层厚度对单层...
关键词：ZNO 掺杂 复合层 溅射 方阻 透过率 
氩气流量对掺铝氧化锌薄膜光电性能的影响被引量：1
《稀有金属材料与工程》2018年第S1期91-94,共4页杨盼 赵晓冲 杨丽军 顾友辰 林红 赖新春 
表面物理与化学重点实验室学科发展基金(ZDXKFZ201416);中国工程物理研究院发展基金重点项目(2014A0302015)
采用双靶射频磁控溅射沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜作为铜锌锡硫(CZTS)太阳能电池的低阻窗口层。研究了在溅射功率60 W、溅射时间30 min的工艺条件下,氩气(Ar)流量对AZO薄膜的结晶性、表面形貌、光透过率、电阻率、载流子浓度等光电性能的...
关键词：Ar流量 AZO 薄膜 磁控溅射 
AZO透明导电薄膜光电性能的研究进展被引量：1
《材料导报（纳米与新材料专辑）》2016年第1期228-234,共7页张程 代明江 石倩 代建清 
国家自然科学基金(51302044);广东省金属平台创新建设(2013B091602002)
掺铝氧化锌(AZO)薄膜其原料来源广、经济无毒,且具有优越的光电性能,可以与传统铟锡氧化物(ITO)薄膜相媲美,是优良的透明导电材料。目前,关于各制备工艺参数对AZO薄膜的影响规律及其影响机理仍是研究热点。综述了透明导电AZO薄膜光学与...
关键词：AZO薄膜 磁控溅射 光电性能 AZO/metal/AZO多层膜 
溅射功率对AZO透明导电薄膜的性能影响
《材料科学》2016年第1期53-58,共6页罗帅 耿志挺 王美英 姜玮 屠节 
北京市共建项目专项资助(20150101)。
Al掺杂的ZnO薄膜(AZO)具有高电导率,可见光范围内的高透过率,已经成为一种逐渐兴起的光电薄膜材料,相比于传统的ITO薄膜,AZO薄膜具有原料储量丰富,价格低廉,无毒无害等优点,成为了替代ITO薄膜的首选材料。本文采用自制的AZO靶材,通过射...
关键词：AZO透明导电薄膜 磁控溅射 溅射功率 光电性能 
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