云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- FBAR

FBAR: 作品数：104被引量：125H指数：5; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：高杨董树荣李君儒何婉婧黄继伟更多>>; 相关机构：浙江大学中国工程物理研究院电子工程研究所西南科技大学中国电子科技集团第二十六研究所更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划宁波市自然科学基金教育部重点实验室开放基金更多>>

高阻带抑制FBAR滤波器: 《压电与声光》2025年第1期24-27,共4页唐小龙陈艳兵金中吴高米张必壮蒋平英; 采用一维Mason模型,研究了薄膜体声波谐振器(FBAR)压电层/电极膜厚比对有效机电耦合系数的影响。随着压电层膜厚占比的增加,谐振器有效机电耦合系数逐渐增大,通过膜厚优化和流片实现了高频FBAR谐振器的研制。在采用梯形电路结构的基础上...; 关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 滤波器高阻带抑制 Mason模型高频

杂模抑制薄膜体声波谐振器的仿真分析: 《压电与声光》2024年第2期159-163,共5页罗恩雄张必壮吴坤马晋毅李思忍; 该文研究了电极边界阶梯结构对薄膜体声波谐振器(FBAR)杂波的影响。采用有限元仿真法讨论了阶梯结构宽度尺寸对杂波的抑制效果,结合振型分析该结构能抑制声波能量的泄露,提高器件品质因数。为了进一步验证仿真结果,实验制备了FBAR器件...; 关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 阶梯结构杂模抑制有限元

高性能温补型薄膜体声波滤波器的研制被引量：1: 《压电与声光》2023年第6期795-799,共5页刘娅陈凤黄晶黄龙吕峻豪孙明宝马晋毅; 该文研制了一种高性能温补型薄膜体声波谐振(TC-FBAR)滤波器。采用COMSOL软件对高性能温补型结构的谐振器进行建模和仿真,在常规一维Mason等效电路模型的基础上进行修正,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的TC-FBAR滤...; 关键词：温补型薄膜体声波谐振器(TC-FBAR) 滤波器温补层频率温度系数(TCF)

C波段宽带薄膜体声波滤波器设计及验证被引量：2: 《压电与声光》2023年第4期535-539,共5页蒋世义蒋平英马晋毅陈彦光徐阳刘娅徐溢; 介绍了一种适用于三维堆叠的凸点式晶圆级封装的小型化C波段宽带薄膜体声波滤波器的设计方法,并进行了工艺验证。通过对压电层薄膜进行钪掺杂、材料参数提取、结构模型优化实现了相对带宽大于5%的薄膜体声波滤波器设计。通过表面硅基微...; 关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 宽带高抑制度

An Approximation for Rapid Simulation of Thin-Film Bulk Acoustic Resonators(FBARs)with Sandwich-Layered Structure: 《Acta Mechanica Solida Sinica》2023年第2期293-305,共13页Haoyu Huang Yibo Ge Xiangrong Xu Nian Li Zhenghua Qian; supported by the National Natural Science Foundation of China(12061131013,11972276,12172171 and 12102183);the State Key Laboratory of Mechanics and Control of Mechanical Structures at NUAA(No.MCMS-E-0520K02);the Fundamental Research Funds for the Central Universities(NE2020002 and NS2019007);National Natural Science Foundation of China for Creative Research Groups(No.51921003);the Start-up Fund supported by NUAA,National Natural Science Foundation of Jiangsu Province(BK20211176);Local Science and Technology Development Fund Projects Guided by the Central Government(2021Szvup061);Jiangsu High-Level Innovative and Entrepreneurial Talents Introduction Plan(Shuangchuang Doctor Program,JSSCBS20210166);a project funded by the Priority Academic Program Development of Jiangsu Higher Education Institutions(PAPD).; Thin-film bulk acoustic resonators(FBARs)operating with essentially thickness-extensional mode have been widely used in communication fields.In this paper,we provide a convenient means for analyzing FBARs with sandwic...; 关键词：Two-dimensional scalar differential equations FBAR COMSOL Layered structure

基于电学拓扑结构拓展FBAR滤波器带宽研究被引量：1: 《压电与声光》2022年第5期691-695,共5页常亚慧汪为民; 重庆市博士“直通车”科研项目(CSTB2022BSXM-JSX0004);中国科学院“西部之光”人才培养引进计划;中央高校基本科研业务费(2021CDJQY-041)。; 该文研究了一种薄膜体声波谐振器(FBAR)采用并联电感和外匹配电路的拓扑结构实现宽带滤波的方法。使用Comsol软件对FBAR进行三维结构仿真,并提取最优电极形状(变迹五边形)对应曲线到ADS中联合外匹配电路进行频带拓展,外匹配电路中的电感...; 关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 有限元仿真 MBVD模型宽带拓扑结构

6GHz高频率FBAR滤波器被引量：2: 《半导体技术》2022年第7期549-553,共5页李亮刘青林付越东梁东升韩易张玉明; 随着5G通信的普及和移动通信技术的不断进步,薄膜体声波谐振器(FBAR)也逐渐向高频、大带宽的方向发展。基于6英寸(1英寸=2.54 cm)微电子机械系统(MEMS)工艺平台,设计并实现了一款6 GHz FBAR滤波器。通过有限元仿真与Mason模型仿真,确定...; 关键词：滤波器高频薄膜体声波谐振器(FBAR) 溅射工艺微电子机械系统(MEMS)

高抑制或低插损型卫星导航FBAR芯片设计被引量：1: 《半导体技术》2022年第6期488-492,共5页李亮张仕强梁东升韩易付越东张玉明; 基于6英寸(1英寸≈2.54 cm)硅基微电子机械系统(MEMS)加工工艺,采用薄膜体声波谐振器(FBAR)的结构,设计并加工了中心频率为1268.52 MHz的两款FBAR滤波器芯片,用于满足北斗卫星导航系统中不同位置的信号处理需求。通过改变电路结构和腔...; 关键词：滤波器薄膜体声波谐振器(FBAR) 微电子机械系统(MEMS) 高带外抑制低插入损耗

C波段WLP薄膜体声波滤波器的研制被引量：4: 《压电与声光》2022年第2期260-263,共4页刘娅孙科马晋毅谢征珍蒋平英杜雪松; 该文研制了一种晶圆级封装(WLP)的C波段薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器。采用一维Mason等效电路模型对谐振器进行设计,并使用HFSS对电磁封装模型进行优化,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的FBAR滤波器。采用空腔型结...; 关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) Mason模型晶圆极封装(WLP) 覆膜插入损耗

一款2.4 GHz WiFi频段FBAR带通滤波器设计被引量：3: 《压电与声光》2022年第2期191-193,198,共4页唐小龙刘娅蒋平英张必壮徐瑞豪刘繁张建清司美菊吕俊豪杜雪松; 该文设计了一款2.4 GHz WiFi频段(2401~2483 MHz)薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器。采用一维Mason电路模型,在ADS中搭建了阶梯形滤波器电路;在HFSS中建立了封装结构和测试电路有限元电磁模型,并在ADS中完成了联合仿真设计。通过微机电系统...; 关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) WiFi频段体声波(BAW) 滤波器 Mason模型

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