MEMS

作品数：5499被引量：11021H指数：29
导出分析报告
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
相关作者：黄庆安苑伟政张国军张文栋刘理天更多>>
相关机构：东南大学中北大学上海交通大学中国科学院更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=微纳电子技术x
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
应用于热泵空调系统的MEMS压力温度传感器设计及验证
《微纳电子技术》2025年第5期80-86,共7页许鹏 聂靖宇 王伟忠 李保岭 
为了延长电动汽车的续航能力,热泵空调系统逐渐取代了传统的正温度系数(PTC)热敏电阻空调,应用于热泵空调系统的压力温度传感器是系统控制的关键部件。基于一款可以直接接触冷媒的微电子机械系统(MEMS)压阻式压力芯片,采用无引线倒装焊...
关键词：热泵空调系统 压力温度传感器 模块化装配 压阻式微电子机械系统(MEMS) 无引线封装 
碳化硅-玻璃-碳化硅阳极键合界面性能分析
《微纳电子技术》2025年第4期152-159,共8页刘淑文 阴旭 刘翠荣 许兆麒 于秀秀 王强 
国家自然科学基金(52375365)。
碳化硅(SiC)因其优异的高温性能和稳定性,被广泛认为是新一代高温半导体器件封装的理想材料。利用两步阳极键合工艺实现了碳化硅-玻璃-碳化硅的可靠连接。两步键合过程中,第一步和第二步中的峰值电流存在较大差异,尤其在第二步键合过程...
关键词：阳极键合 微电子机械系统(MEMS)封装 碳化硅-玻璃-碳化硅 富碳层 键合强度 
基于MEMS微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器
《微纳电子技术》2025年第3期74-81,共8页解涛 袁宇鹏 李小飞 
随着气体探测技术的不断进步,对气体传感器提出了高精度、小型化、高可靠性、易批量生产等要求。研制了基于微机电系统(MEMS)微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器,利用MEMS加工技术实现了微型气室、红外光源、探测器等关键部件的...
关键词：微机电系统(MEMS) 集成式 红外型 二氧化碳气体传感器 
面向智能装备的MEMS惯性集成微系统关键技术分析
《微纳电子技术》2025年第3期92-98,共7页蒋鹏 鞠莉娜 王子 徐彤 李亚平 陈远金 
装备领域的变革对智能化提出了新的要求,模块化、通用化成为当前的重要趋势。基于微机电系统(MEMS)技术的惯性集成微系统因具备高密度多功能集成、高可靠等优点,可满足高效费比和精准作用需求。从智能装备对MEMS惯性集成微系统的需求出...
关键词：智能装备 微机电系统(MEMS) 惯性集成微系统 多物理场 三维集成 缺陷检测 
MEMS微型线圈及其在磁敏传感器中的应用
《微纳电子技术》2025年第3期99-120,共22页杨真 陈靖元 张朕泽 祝梦娇 黄家宝 孙学成 雷冲 
广西自然科学基金面上项目(2023JJA170157);广西类脑计算与智能芯片重点实验室开放基金(BCIC-23-K8);广西师范大学研究生教育创新计划项目(JGY2023041);广西高校集成电路与微系统重点实验室开放基金(ICM-24-03)。
微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 微型线圈 磁敏传感器 巨磁阻抗传感器 磁通门传感器 
光纤FPI高温压力传感器的设计与仿真
《微纳电子技术》2025年第2期105-115,共11页田野 曹咏弘 吕晶 
航空发动机的内部环境严苛,为保证发动机正常运行需要实时监测压气室、燃烧室等关键部位的动态压力信号和温度信号。基于法布里珀罗干涉原理,以蓝宝石作为材料,建立了传感器整体结构模型并级联光栅结构作为温度补偿,通过理论和仿真分析...
关键词：光纤高温压力传感器 法布里珀罗干涉仪(FPI) 光栅 蓝宝石薄膜 微电子机械系统(MEMS) 
一种小体积MEMS传感器数据记录仪
《微纳电子技术》2025年第1期110-117,共8页尚义航 赵凯明 段俊萍 张斌珍 
国家自然科学基金资助项目(52175555);国家自然科学基金创新群体资助项目(51821003);山西省基础研究计划资助项目(20210302123074)。
对飞行器发射航行阶段的数据测试是目前研究的重要方向。数据记录仪作为一种可装载的数据采集装置,具有重要的研究价值。针对小型飞行器的数据采集工作,提出了一种具有小体积、低功耗、高性能以及高抗过载能力的微电子机械系统(MEMS)传...
关键词：传感器数据记录仪 微电子机械系统(MEMS) 小体积 高抗过载 低功耗 
采用锯齿肋壁强化硅基MEMS微通道相变换热
《微纳电子技术》2024年第12期39-46,共8页李振 王楠 周喜超 杨斌 彭勇 曲玉珊 
国家重点研发计划(2021YFB2400103);国家电网公司科技项目(527899230003)。
为提升微通道相变换热器综合性能,包括同时实现降低沸腾起始过热度、提高传热系数和抑制沸腾传热不稳定性,提出了一种具有锯齿形肋壁的硅基微电子机械系统(MEMS)微通道结构,并对常规并联微通道与锯齿肋壁微通道开展了对比实验研究。结...
关键词：锯齿肋壁 流动沸腾 微电子机械系统(MEMS)微通道 强化传热 流动不稳定性 
高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器
《微纳电子技术》2024年第12期81-89,共9页乔靖评 焦斌斌 刘瑞文 孔延梅 云世昌 赵成圆 刘鑫 叶雨欣 杜向斌 余立航 贾士奇 王子龙 李思博 
国家重点研发计划(2022YFB3205803)。
真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 皮拉尼真空度传感器 硅丝式 高精度 宽量程 
采用菱形辐条的高对称MEMS蜘蛛网状盘式谐振陀螺仪
《微纳电子技术》2024年第11期91-97,共7页许杨 王琮琛 杨军营 陈建霖 王诗男 
微电子机械系统(MEMS)陀螺仪因抵抗制造误差能力差和品质因数低等问题限制了其在高端领域的应用。通过对MEMS陀螺仪的理论分析和有限元仿真,基于绝缘体上硅(SOI)工艺设计并制备出了一种由多个同心嵌套的蜘蛛网环和菱形辐条组成的新型MEM...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 绝缘衬底上硅(SOI) 蜘蛛网环 菱形辐条 
全选清除导出
共40页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部