波带片

作品数:150被引量:207H指数:8
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相关机构:中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院微电子研究所中国科学院中国工程物理研究院更多>>
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一种基于切趾波带片产生局域空心光束的新方法被引量:2
《光学仪器》2016年第2期149-153,166,共6页朱厚飞 姜利平 刘玲玲 王海凤 
973基金资助项目(2015CB352001)
根据相移切趾器原理设计了七环π相移切趾波带片,准直光束经波带片与透镜聚焦后产生局域空心光束。理论上根据标量衍射理论研究局域空心光束的光场分布,并对其光强分布进行仿真,证明光束的三维"密闭性"。实验中基于空间光调制器与透镜...
关键词:相移切趾器 局域空心光束 空间光调制器 透镜位相 
激光选择聚焦的响应增强型光电探测器(英文)
《红外与激光工程》2014年第5期1416-1420,共5页王文娟 王少伟 陆卫 陈飞良 张英 孙晓岚 李宁 李志锋 李雪 
中国科学院战略性先导科技专项B类(XDB01010200);上海市科委项目(11nm0502100,11dz2283100,12nm0502900,12DZ2293600);国家基础研究重大项目(2011CB925600)
介绍了一种利用激光选择聚焦的结构来增强光电探测器的光电响应的方法。通过采用工作在传输模式的振幅型菲涅耳波带片,获得了较高的激光收集效率,同时也较好地抑制了背景光。当激光入射时,集成了菲涅耳波带片的InGaAs/InP p-i-n光电探...
关键词:激光选择聚焦 菲涅耳波带片 光电探测器 
高分辨X射线衍射元件的研制被引量:1
《传感技术学报》2014年第2期168-171,共4页熊瑛 刘刚 田扬超 
国家973计划项目(2012CB825804)
X射线波带片是纳米X射线成像系统的核心元件之一,为了研制高分辨率X射线波带片,对纳米结构的电子束光刻和高精度电镀进行了实验研究。首先,通过对电子束曝光工艺版图进行优化设计,平衡了邻近效应对纳米结构的影响,有效地控制了光刻胶的...
关键词:高分辨 X射线衍射元件 波带片 
高斯光束经相位连续变化型波带片的衍射特性
《强激光与粒子束》2011年第8期2021-2025,共5页赵阳 李德华 周薇 马建军 姚香君 田有良 
国家973计划项目;国家自然科学基金项目(61071016);青岛市科技计划项目(10-3-4-2-5-jch)
根据瑞利-索末菲标量衍射理论分析了相位连续变化型波带片对高斯光束的衍射特性。在高斯光束入射下,对相位连续变化型波带片光轴和焦平面上的太赫兹强度分布特性进行了模拟,分析了入射光束的束腰半径和束腰位置对衍射场的影响,并与平面...
关键词:衍射光学 太赫兹 波带片 相位连续 高斯光束 
相位连续变化型太赫兹波带片被引量:2
《强激光与粒子束》2010年第6期1301-1305,共5页李德华 赵阳 孙清珍 周薇 刘立强 靳涛 
国家973计划项目(2007CB310401)
通过对太赫兹波段相位连续变化型波带片的系统研究,分析了特征尺寸与焦距、F数、预设频率、材料折射率等设计参数之间的关系,讨论了影响相位连续变化型波带片效率的几个主要因素。选取太赫兹透过率较高的泡沫聚乙烯和高密度聚乙烯材料,...
关键词:衍射光学 太赫兹 波带片 相位连续 
带支撑结构的大高宽比硬X射线波带片制作被引量:8
《光电工程》2009年第10期30-34,共5页马杰 曹磊峰 谢常青 吴璇 李海亮 朱效立 刘明 陈宝钦 叶甜春 
国家重点基础研究发展规划(2007CB935302);教育部创新计划同步辐射研究生创新基金(批准号20070133S)资助项目
对利用X射线光刻制作大高宽比硬X射线波带片的设计和制作工艺进行了研究。采用电子束光刻制作X射线光刻掩模,并利用X射线光刻制作最终的硬X射线波带片。采用对光刻胶结构加入支撑点的方法,大大提高了X射线光刻制作硬X射线波带片的高宽...
关键词:大高宽比 x射线波带片 X射线光刻 衍射效率 
利用铁电畴结构直接写入电控菲涅尔波带片被引量:1
《光电子.激光》2008年第10期1294-1296,共3页崔国新 李玉栋 陈靖 刘洪冰 张艳峰 齐继伟 许京军 孙骞 
国家"973"计划资助项目(2007CB307003);天津市自然科学基金资助项目(06TXTJJC13500)
菲涅尔波带片是光学中的一个基本元件。在本文中,通过带电金属电极在53μm厚的铌酸锂晶体表面的扫描,我们利用铁电畴结构制备出了最大半径为913μm的菲涅尔波带片。在偏置电压的作用下,我们对菲涅尔波带片的聚焦能力进行了研究。主焦点...
关键词:铁电畴结构 电光效应 波带片 
短焦距折衍射变焦成像系统中菲涅耳波带片的设计与分析被引量:1
《光学仪器》2007年第5期45-49,共5页王琦 吴佳颖 陈家璧 庄松林 
上海理工大学光电学院学生创新基金资助项目(05021G01);科技部973基金资助项目(2005CB724304)
在折衍射变焦成像系统中,菲涅耳波带片(FZP)的上下两块电极图形是完全对准的。但是在短焦距折衍射成像系统中,FZP最小环带间距已达到微米级,导致上下两块电极图形中心对准极为困难。为减少对准误差,将上基板电极设计成环状图形,下基板...
关键词:菲涅耳波带片 折衍混合成像系统 液晶 变焦透镜 
热压印光刻技术复制波带片图形研究被引量:2
《微细加工技术》2005年第3期27-30,共4页范东升 王德强 康晓辉 陈大鹏 谢常青 
国家自然科学基金资助项目(60236010);973资助项目(G200036504)
针对只需单次曝光的菲涅尔波带片器件,给出了结合电子束光刻和热压印光刻进行大规模复制的完整工艺路线,即首先采用电子束光刻制作热压印模版,之后用热压印光刻进行波带片的大规模复制,所制得的波带片图形的最外环宽度为250 nm,直径为19...
关键词:波带片 纳米压印 热压印 
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