尺寸缩小

作品数:100被引量:26H指数:3
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相关机构:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海华虹宏力半导体制造有限公司上海华力微电子有限公司清华大学更多>>
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半导体芯片工艺节点演变路径分析被引量:4
《集成电路应用》2017年第10期53-60,共8页端点星 
上海市软件和集成电路产业发展专项基金(2016.160505)
晶体管的缩小过程中涉及到三个问题。第一是为什么要把晶体管的尺寸缩小,以及是按照怎样的比例缩小的,这个问题是缩小有什么好处。第二是为什么技术节点的数字不能等同于晶体管的实际尺寸。或者说,在晶体管的实际尺寸并没有按比例缩小...
关键词:半导体芯片 工艺节点 尺寸缩小 纳米晶体管结构 
降低电阻率进一步实现钨金属化等比微缩
《集成电路应用》2009年第1期28-29,31,共3页Frank Huang Anand Chandrashekar Michal Danek 
随着特征尺寸缩小到32nm以下,传统的脉冲成核层(PNL)将无法满足所需的电阻率性能要求。钨成核和CVD填充技术的发展使得ALD钨可以被扩展应用到2Xnm尺寸,而且仍然能满足所需的电阻率要求。
关键词:低电阻率 金属化  尺寸缩小 性能要求 扩展应用 填充技术 ALD 
测试插座尺寸缩小到0.4mm以下
《集成电路应用》2008年第10期39-39,共1页Sally Cole Johnson 
随着封装间距尺寸缩小到0.4 mm以下,测试插座行业遇到了电学和机械方面的问题。主要的挑战包括封装尺寸增大,这意味着有更多的I/O要测试。增加了测试要求,且信号完整性问题进入了混合状态。可见新材料、设计和接触技术对于继续缩小至更...
关键词:测试要求 尺寸缩小 插座 封装尺寸 信号完整性 混合状态 接触技术 小间距 
FSA探索SiP的设计要求
《集成电路应用》2006年第11期44-44,共1页John Baliga 
在今年的SEMICON West中,除了新兴技术、制造生产率和效率,以及器件尺寸缩小的挑战这几个主题外.测试和组装/封装已经成为第四个TechXPOT演讲内容,这表明该领域已经同其他三个领域一样引起了各界的注意。作为该领域的一部分,IC设...
关键词:IC设计 SIP FSA SEMICON 系统级封装 尺寸缩小 生产率 器件 
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