毛静

作品数：8被引量：21H指数：3
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供职机构：中北大学更多>>
发文主题：MEMS开关聚二甲基硅氧烷PDMS波导耦合器光学性能更多>>
发文领域：电子电信机械工程化学工程更多>>
发文期刊：《科学技术与工程》《电子技术应用》《微纳电子技术》《电子器件》更多>>
所获基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”山西省基础研究计划项目国家高技术研究发展计划更多>>
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基于MEMS开关的射频衰减器的设计制作被引量：2
《微纳电子技术》2015年第3期162-166,203,共6页贾志浩 段俊萍 王伟 毛静 崔建利 赵龙 王明焕 张斌珍 
国家自然科学基金资助项目(61401405;51475438);山西省基础研究项目(2014011021-4);新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862)
提出了一种基于微机电系统(MEMS)开关的射频衰减器的设计方案。首先在DC^20 GHz内,以10 dB衰减量为目标,对整体电路结构进行设计,选择以共面波导(CPW)为传输线,接触式MEMS开关作为控制器件,同时以开关中的电容作为断路时的平衡器件进行...
关键词：MEMS开关 共面波导(CPW) 射频衰减器 UV-LIGA 宽频带 
自适应压缩感知的语音压缩重构算法研究被引量：8
《电子技术应用》2015年第2期72-74,77,共4页毛静 尹鹏亮 马琦 张斌珍 
国家自然科学基金(61335008)
根据传统语音信号的处理过程和语音信号的特征,提出了利用自适应冗余字典KSVD算法、自适应观测矩阵和SAMP重构算法的压缩重构方法,通过仿真分析,并与普通压缩感知对比平均帧重构信噪比、相对误差,验证了压缩感知自适应算法的优越性。
关键词：压缩感知 语音信号 自适应算法 
流式细胞仪系统中液体变焦透镜的设计与制作
《光电子．激光》2015年第2期403-408,共6页贾志浩 段俊萍 王伟 毛静 王明焕 张斌珍 
国家自然基金(61401405,51475438);山西省基础研究(2014011021-4);新世纪优秀人才支持计划(130951862)资助项目
以聚二甲基硅烷(PDMS)为基础,设计制作了一种封闭式液体变焦透镜。通过对PDMS薄膜形变情况的仿真分析,利用Matlab数学建模与ANSYS结构仿真,得到薄膜形变结果,确定了合理的透镜腔体结构。在制备工艺上,首先利用SU-8模型制作了PDMS透镜腔...
关键词：变焦透镜 薄膜形变 聚焦测试 
基于聚二甲基硅氧烷的微流控芯片封装技术研究被引量：1
《科学技术与工程》2015年第1期228-231,共4页毛静 张斌珍 杨潞霞 王春水 南雪莉 李惠琴 
国家自然基金(61176115)资助
提出一种优化的PDMS(聚二甲基硅氧烷)—PDMS键合技术,对PDMS基片与PDMS盖片使用不同的预聚物和固化剂配比进行键合。设置了按不同比例键合、氧气等离子体表面处理键合及涂覆液态PDMS键合这三种方法的对比实验,并将其应用于微流控芯片的...
关键词：聚二甲基硅氧烷 微流控芯片 封装 不同比例 键合强度 
基于UV-LIGA工艺的酸性电铸铜溶液最优化配比被引量：2
《科学技术与工程》2014年第29期265-270,共6页南雪莉 张斌珍 张少华 韩帅 毛静 
863计划项目(2013AA041109)资助
为了获得镀层平整、致密的金属铜结构,经过反复实验研究获得了电铸铜溶液的最优化配比。首先采用UV-LIGA工艺制作出SU-8胶膜微结构,其次以此光刻固化后的结构作为模具,进行电铸试验。通过对电镀参数的反复调整,获得效果最优的镀液配比...
关键词：UV-LIGA工艺 光亮酸性电铸铜 最优配比 超声处理 常温 
主光轴平行于基底的微透镜阵列设计与制作被引量：5
《光电子．激光》2014年第5期864-869,共6页杨潞霞 毛静 王春水 张斌珍 王万军 
国家自然科学基金(61176115);山西大学商务学院科研(2013006)资助项目
用聚二甲基硅氧烷(PDMS)软光刻工艺实现了一种主光轴平行于基底的微透镜阵列。首先对微透镜形成过程中的PDMS薄膜受力和变形情况进行了分析,并采用有限元分析方法对不同压力、不同厚度的薄膜变形情况进行了模拟,确定了合理的微透镜腔体...
关键词：微透镜阵列 薄膜形变 有限元分析 芯片键合 聚焦测试 
一种高效低成本制作三维聚焦微流沟道的方法被引量：1
《微纳电子技术》2014年第3期181-185,193,共6页杨潞霞 毛静 郝晓剑 张斌珍 
国家自然科学基金资助项目(61176115)
为了使用微流体细胞仪实现对细胞的精确计数,设计和制作了能够真正实现三维聚焦功能的微流沟道。首先用Ansys软件对微流沟道的结构进行了优化设计,利用斜曝光工艺制作了SU-8微流沟道模具;然后利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)对SU-8模具进行倒...
关键词：微流沟道 三维聚焦 SU-8 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 倒模 
充液型可调双焦微透镜的设计与仿真被引量：3
《电子器件》2013年第5期608-611,共4页王春水 张斌珍 龚珊 杨潞霞 毛静 
国家自然科学基金面上项目(61176115)
可调双焦微透镜由底部的含有内外薄膜的PDMS主体结构和包含出入液口的PDMS盖片组成。微透镜可以通过紫外光刻、软光刻工艺制得。使用ANSYS仿真得到PDMS内外薄膜在不同压强下的变形图,然后利用ZEMAX仿真得到透镜的内外焦距、焦距差和光...
关键词：微透镜 可调双焦 仿真 ZEMAX 
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