苏含

作品数：3被引量：8H指数：2
导出分析报告
供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：化学气相沉积微波等离子体纳米金刚石薄膜纳米金刚石大面积金刚石膜更多>>
发文领域：理学电子电信化学工程更多>>
发文期刊：《武汉工程大学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
大面积金刚石膜生长过程中的缺陷和内应力被引量：4
《武汉工程大学学报》2012年第6期38-41,共4页汪建华 刘鹏飞 熊礼威 刘繁 江川 苏含 
国家自然科学基金(No.11175137);武汉工程大学科学研究基金(No.11111051)
采用甲烷和氢气作为气源,在直径为50 mm的抛光单晶硅片上,利用新型微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置制备出金刚石膜.用扫描电子显微镜观测金刚石膜的表面形貌,利用激光Raman光谱表征金刚石膜的质量以及X射线衍射检测金刚石膜的成分...
关键词：金刚石膜 微波等离子体 化学气相沉积 内应力 
基片温度对纳米金刚石薄膜制备的影响被引量：2
《武汉工程大学学报》2012年第4期39-42,46,共5页江川 汪建华 熊礼威 翁俊 苏含 刘鹏飞 
国家自然科学基金项目(11175137)
采用多模谐振腔微波等离子体CVD在不同基片温度下制备了纳米金刚石薄膜,通过扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和拉曼光谱测试,研究了基片温度对纳米金刚石薄膜性能的影响.结果表明:在其他工艺条件不变时,基片温度对薄膜性能具有...
关键词：微波等离子体 化学气相沉积 纳米金刚石薄膜 沉积温度 
应用于半导体器件的掺杂纳米金刚石膜被引量：2
《武汉工程大学学报》2011年第10期68-72,共5页苏含 汪建华 熊礼威 刘鹏飞 江川 
国家自然科学基金资助项目(11175137)
金刚石膜有着高的热导率、宽禁带、高的介质击穿场强、高的载流子迁移率等优点,是非常理想的半导体材料.本文介绍了掺杂纳米金刚石薄膜作为半导体器件工作层的优点,综述了金刚石p型掺杂和n型掺杂的研究现状,并对影响纳米金刚石薄膜生长...
关键词：纳米金刚石膜 半导体器件 掺杂 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部