车德良

作品数：5被引量：10H指数：1
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供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
发文主题：多弧离子镀等离子体显微硬度磁场分布伏安特性更多>>
发文领域：一般工业技术理学金属学及工艺化学工程更多>>
发文期刊：《核聚变与等离子体物理》《物理学报》《真空》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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多弧离子镀沉积过程中等离子体参数对薄膜沉积的影响被引量：5
《真空》2006年第2期5-8,共4页车德良 钟彬 苟伟 李国卿 陈玲玲 
采用平面探针测试了衬底附近的电流密度,弧电流和衬底偏压的增加均有助于增加到达衬底附近的离子的数量。弧电流增加引起衬底的温升,衬底偏压对衬底温度影响较小。采用多弧离子镀技术沉积C r-N薄膜,衬底偏压对薄膜的硬度影响较小;弧电...
关键词：多弧离子镀 收集电流 偏压 弧电流 Cr—N薄膜 
单重态氧发生器轻型真空储罐的研究及优化设计被引量：1
《真空》2006年第1期74-76,共3页陈文武 李国卿 桑凤亭 蔡龙 刘宇时 金玉奇 车德良 葛增杰 张长良 
单重态氧发生器是化学氧碘激光器真空条件下使用的核心部件,为减轻自重,采用碳纤维复合材料取代不锈钢制作单重态氧发生器。本文采用有限元分析方法,探索采用树脂复合材料制作真空罐体和封头的设计方法和优化方案。研究表明,其强度和真...
关键词：单重态氧发生器 真空 有限元分析 碳纤维 
非平衡磁控溅射系统离子束流磁镜效应模型被引量：3
《物理学报》2005年第3期1378-1384,共7页牟宗信 李国卿 秦福文 黄开玉 车德良 
国家自然科学基金 (批准号 :5 0 40 70 15 )资助的课题 .~~
为了研究非平衡磁控溅射沉积系统的等离子体特性 ,采用常规磁控溅射靶和同轴约束磁场构成非平衡磁控溅射沉积系统 .在放电空间不同的轴向位置 ,Ar放电 ,0 2Pa和 15 0V偏压条件下 ,采用圆形平面离子收集电极 ,测量不同约束磁场条件下的...
关键词：磁镜 非平衡磁控溅射 束流 离子束 磁场 等离子体 约束 同轴 集电极 沉积系统 
非平衡磁控溅射系统的离子束流控制
《核聚变与等离子体物理》2004年第3期225-230,共6页牟宗信 李国卿 黄开玉 车德良 
在非平衡磁控溅射沉积非磁性金属薄膜过程中,离子 原子到达比、沉积速率等参数是影响薄膜结构和性能的重要因素。根据非平衡磁控溅射沉积过程中离子的分布特点,分别考虑离子和中性粒子的传输,导出了对圆形平面靶非平衡磁控溅射沉积薄膜...
关键词：非平衡磁控溅射系统 非磁性金属薄膜 离子束流控制 放电参数 放电功率 
非平衡磁控溅射沉积系统伏安特性模型研究被引量：1
《物理学报》2004年第6期1994-1999,共6页牟宗信 李国卿 车德良 黄开玉 柳翠 
非平衡磁控溅射沉积系统的伏安特性对阴极溅射和薄膜沉积过程具有重要的影响 .通过分析在常规磁控溅射沉积系统中非平衡磁场对于放电过程的影响 ,根据蔡尔得定律研究了非平衡磁场对磁控溅射沉积系统伏安特性影响的基本规律 ;
关键词：等离子体 非平衡磁控溅射沉积系统 金属薄膜 伏安特性 同轴约束磁场 磁场分布 
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