王琛英

作品数：13被引量：38H指数：4
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发文主题：纳米电极计量学CU线宽更多>>
发文领域：自动化与计算机技术一般工业技术机械工程文化科学更多>>
发文期刊：《仪器仪表学报》《计量学报》《计量科学与技术》《新西部（下旬·理论）》更多>>
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2~10μm台阶高度标准物质候选物的研制和质量评价
《计量学报》2024年第3期305-310,共6页柳迪 王琛英 张雅馨 王云祥 王松 陈伦涛 王永录 朱楠 蒋庄德 
国家自然科学基金(52175354)。
微米台阶高度标准物质用于校准仪器z轴性能,传递准确的微米高度量值。利用光刻结合干法刻蚀工艺实现公称高度为2,5,10μm台阶高度标准物质候选物的制备,并对台阶高度、粗糙度和上下表面平行度进行表征。使用激光共聚焦显微镜和非球面测...
关键词：微米计量 台阶高度标准物质 干法刻蚀 粗糙度 平行度 
基于激光溯源的纳米台阶高度标准物质研制与计量技术被引量：2
《计量科学与技术》2024年第2期52-59,共8页王琛英 景蔚萱 张雅馨 李伟 张易军 李常胜 施玉书 蒋庄德 
国家自然科学基金(52175434)。
随着半导体产业的快速发展,高精度极小尺寸三维纳米制造技术给纳米测量技术提出了更高的要求,急需开发与之相应的纳米几何量标准物质来满足这一日益迫切的需求。为实现我国纳米台阶高度标准物质的可控制备和纳米高度量值的可溯源性,我...
关键词：计量学 纳米台阶高度 标准物质 溯源性 
亚50 nm台阶高度标准物质的可控制备及定值研究被引量：2
《仪器仪表学报》2022年第11期86-93,共8页张雅馨 王琛英 景蔚萱 施玉书 蒋庄德 
国家自然科学基金(52175434)项目资助。
纳米台阶高度标准物质可以传递准确、可溯源的纳米高度量值。针对我国缺乏可控的高质量亚50 nm台阶高度标准物质制备技术的问题,提出了基于原子层沉积结合湿法刻蚀的纳米台阶高度标准物质研制方法,通过工艺过程优化实现了台阶高度亚纳...
关键词：台阶高度标准物质 亚50 nm 原子层沉积技术(ALD) 计量学 
基于巨磁阻效应的磁场传感器研究进展被引量：7
《仪表技术与传感器》2021年第12期1-12,17,共13页王立乾 胡忠强 关蒙萌 吴金根 仙丹 王琛英 毛琦 王志广 周子尧 田边 蒋庄德 刘明 
国家重点研发计划项目(2018YFB0407601,2018YFF0212301);国家自然科学基金项目(91964109,62071374,51802248);国家111引智计划项目(B14040)。
基于巨磁阻效应的磁传感技术与标准CMOS电路工艺高度兼容,相比传统的霍尔元件、互感线圈及各向异性磁阻等传感器,在灵敏度、功耗、体积和热稳定性等方面具备一定的优势,应用前景十分广阔。该文简要介绍了基于巨磁阻效应的磁场传感器在...
关键词：巨磁阻效应 磁场传感器 智能电网 生物检测 无损检测 交叉应用 
Cu/Ti纳米薄膜表面形貌的分形表征研究被引量：9
《计量学报》2018年第5期593-597,共5页林启敬 吴昊 张福政 王琛英 蒋庄德 
国家自然科学基金(51608437;51505368);973项目(2015CB057402);中国博士后基金(2017M613114);陕西省博士后基金(2017BSHEDZZ69);西安通大学基本科研业务费(xjj2016011);数字制造装备与技术国家重点实验室(华中科技大学)开放课题(DMETKF2016006);流体动力与机电系统国家重点实验室(浙江大学)开放基金(GZKF-201617)
采用磁控溅射法制备了不同组分和厚度的Cu/Ti薄膜,采用原子力显微镜(AFM)测量了其表面形貌,利用功率谱法对AFM高度图像进行了分形表征。结果表明:Cu/Ti薄膜表面形貌具有多尺度行为,表面演化在全域和局域呈现出不同的标度行为;AFM图像功...
关键词：计量学 纳米薄膜 分形表征 表面形貌 功率谱 
大长径比台阶钨探针制备方法研究被引量：3
《计量学报》2017年第S1期47-50,共4页高思田 施玉书 李伟 徐靖涛 景蔚萱 杨树明 王琛英 
质检公益性行业科研专项(10-1);国家自然科学基金(90923001);国家重点研发计划(2016YFF0200602; 2016YFA0200901)
研究了基于电化学腐蚀法的大长径比台阶钨探针针尖制备方法,该探针可用于针尖增强拉曼光谱测控系统。在实验室自主设计研制的包含电化学腐蚀控制电路的探针制备装置上,通过精密压电陶瓷控制探针腐蚀时间和位移,获得了长径比可控、重复...
关键词：计量学 电化学腐蚀 钨探针 长径比 
采用HRTEM对石墨烯材料单层厚度测量的研究被引量：6
《计量学报》2017年第2期145-148,共4页王琛英 景蔚萱 蒋庄德 林启敬 韩枫 李磊 
国家自然科学基金(51505368;91323303);111引智计划(B12016);精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金(PIL1403)
将石墨烯材料薄膜制成可以通过高分辨透射电子显微镜(HRTEM)观察的横截面样,在室温20℃,变换放大倍数,通过HRTEM自带的测量软件得到的单次测量值为0.411mm,同时可以看到石墨烯材料形貌较清晰,其剖面结构并不是理想的笔直直线。通过局部...
关键词：计量学 石墨烯材料 单层厚度 纳米级高度 高分辨透射电子显微镜 不确定度 
基于原子层沉积的Al_2O_3薄膜微观形貌研究被引量：5
《稀有金属材料与工程》2015年第12期3078-3082,共5页王琛英 杨树明 李常胜 景蔚萱 林启敬 蒋庄德 张易军 
国家自然科学基金资助(51175418;91323303);新世纪优秀人才支持计划(93JXDW02000006);"111"引智计划(B12016);长江学者和创新团队发展计划(IRT1033);中央高校基本科研业务费专项资金(xjj20100063;2011jdgz09;2011jdhz23;xjj2011068)
研究利用原子层沉积获得的小于10 nm Al_2O_3薄膜表面形貌特点。采用该技术获得4和8 nm的Al_2O_3薄膜,利用原子力扫描电镜(AFM)和扫描电镜(SEM)对薄膜表面形貌进行测量,通过最小二乘法和多重分形研究薄膜表面形貌,分析得出利用原子层沉...
关键词：原子层淀积 AL2O3 多重分形 
网络环境下创新高校党员思想教育的工作路径
《黑龙江科学》2013年第12期154-154,145,共2页郑向国 王琛英 
本文针对网络环境给学生党员思想教育工作带来的问题,结合高校党建的实际工作经验,分析了网络环境对学生党员思想观念的影响,提出了网络环境下做好党员思想教育工作的创新路径。
关键词：网络环境 学生党员 思想教育 创新路径 
典型纳米结构制备及其测量表征被引量：5
《中国工程科学》2013年第1期15-20,27,共7页蒋庄德 王琛英 杨树明 
国家自然科学基金重大研究计划重点支持项目(90923001);教育部科学技术研究重大计划项目(311001);高等学校学科创新引智计划项目(B12016)
针对纳米器件中的典型几何特征,制备了3种纳米结构,采用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等测量工具对所制备的纳米样板进行了测量、分析和表征。提出转换薄膜厚度为线宽的公称值、基于多层薄膜淀积技术制备纳米宽度结构的方法,...
关键词：纳米栅线 纳米台阶 EBL ICP FIB 
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