胡东平

作品数:19被引量:70H指数:5
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供职机构:中国工程物理研究院总体工程研究所更多>>
发文主题:金刚石薄膜金刚石膜弹性敏感元件薄壁筒溅射更多>>
发文领域:金属学及工艺一般工业技术化学工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《稀有金属》《表面技术》《真空科学与技术学报》《金刚石与磨料磨具工程》更多>>
所获基金:中国工程物理研究院科技基金中国工程物理研究院科学技术发展基金国家自然科学基金中国工程物理研究院结构力学研究所创新基金更多>>
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本底真空对磁控溅射镍铬合金薄膜电阻的影响被引量:10
《表面技术》2016年第7期143-149,共7页胡东平 王小龙 唐俐 
中国工程物理研究院重大基金(2010A0302013)~~
目的研究本底真空对溅射镍铬合金薄膜性能的影响。方法在不同溅射时间下制备了不同厚度的镍铬合金薄膜,采用4、6、8、10 h不同的抽真空时间制备薄膜样品,并在空气、氮气及真空气氛中,对同一工艺条件下制备的镍铬合金薄膜样品分别在300、...
关键词:镍铬合金薄膜 磁控溅射 本底真空 电阻率 热处理 
微波CVD方法在Ar-CO_2-CH_4体系中沉积超纳米金刚石薄膜(英文)被引量:1
《稀有金属材料与工程》2015年第12期3009-3013,共5页丰杰 祁尧 盛景恺 李周 马莉 吴先哲 胡东平 梅军 余志明 魏秋平 
National Natural Science Foundation of China(51301211,21271188);the Foundation of Laboratory of Ultra Precision Manufacturing Technology of CAEP(ZZ13005);Research Foundation of CAEP(2010A0302013);the China Postdoctoral Science Foundation(2012M521541);the State Key Laboratory of Powder Metallurgy(20110933K);the Open-End Fund for Valuable and Precision Instruments of Central South University(CSU2013016)
采用微波CVD系统研究了Ar-CO_2-CH_4气氛中不同工艺条件对超纳米金刚石薄膜形貌的影响。结果表明:以Ar-CO_2-CH_4为反应气源,可制备出晶粒尺寸为20 nm左右、表面粗糙度在16 nm以下,厚度达5μm以上,结构致密的超纳米金刚石薄膜;在Ar-CH_...
关键词:超纳米金刚石 微波化学气相沉积 Raman分析 原子力显微镜 沉积速率 
压力对纳米金刚石膜生长的影响(英文)被引量:1
《强激光与粒子束》2015年第2期194-197,共4页胡东平 丰杰 
supported by Ultra-Precision Machining Key Laboratories Foundation of CAEP(ZZ13005)
纳米金刚石膜具有高耐磨能力和低摩擦系数,在多个领域有广阔的应用前景。纳米金刚石膜可通过热丝化学气相沉积方法进行制备。其中,系统压力是关键的参数,适当的压力下可生长纳米金刚石膜,而改变压力则金刚石膜的表面形态将发生变化。实...
关键词:纳米金刚石 压力 化学气相沉积 金刚石膜 
掺硼对金刚石膜的形貌影响研究
《金刚石与磨料磨具工程》2013年第4期10-13,18,共5页胡东平 丰杰 李建国 
中国工程物理研究院院重大基金:"金刚石SAW滤波器的基础问题研究"(2010A0302013)
掺硼金刚石膜由于具有金属的电导率,在电学和电化学领域已显示出广阔的应用前景。在掺硼金刚石膜的制备工艺中,掺硼浓度对金刚石膜形貌具有一定影响。通过采用自制的热丝CVD金刚石沉积设备,采用三氧化二硼固体源制备掺硼金刚石膜,在其...
关键词:金刚石膜 掺硼 形貌 
硅表面金刚石膜红外增透性能研究被引量:2
《金刚石与磨料磨具工程》2011年第6期51-55,共5页胡东平 丰杰 李建国 梅军 
中物院重大基金项目"金刚石SAW滤波器的基础问题研究"
通过在大面积区熔硅表面沉积金刚石膜,制作硅的红外增透膜。经扫描电镜观察,金刚石膜的颗粒尺寸平均约2μm,晶体颗粒形状规则;测试单面镀膜的红外透过率最高达65%,双面镀膜红外透过率最高达84%;实验证明硅表面金刚石具有一定的抗热冲击...
关键词:金刚石薄膜 增透膜 红外透过 
金刚石薄膜的双波段红外光学性能研究
《金刚石与磨料磨具工程》2011年第3期27-30,34,共5页李建国 丰杰 胡东平 万强 
国家自然科学基金资助项目(10802081);中国工程物理研究院重点基金资助项目(2010A0302013)
本文针对红外光学材料对宽波段透过的要求,采用HFCVD法在硅基体上制备了红外增透的金刚石薄膜。设计了高红外透过率的膜系结构,探讨了基体处理方式、单面、双面涂层工艺和厚度对红外透过率的影响,并给出了相关的光谱测试结果和金刚石薄...
关键词:金刚石薄膜 双面涂层 双波段 红外增透 
金刚石涂层拉拔模具的制备与性能研究被引量:6
《金刚石与磨料磨具工程》2010年第3期44-48,共5页胡东平 季锡林 李建国 丰杰 梅军 
国防科技工业民用专项工程研制项目:"高性能金刚石涂层拉拔模具产业化开发"
本文通过在硬质合金基体表面沉积金刚石膜,制作了金刚石涂层拉拔模具。金刚石压痕仪测试显示,涂层的抗压能力达1.5 kN。扫描电镜和原子力显微镜观察结果表明,涂层颗粒的平均尺寸为0.1μm,加工后的粗糙度Ra〈0.1μm。用于拉制焊接金属丝...
关键词:金刚石涂层 拉拔模具 失效机理 
单双层加热结构对纳米金刚石膜形貌及摩擦性能的影响被引量:3
《真空科学与技术学报》2010年第5期474-478,共5页丰杰 李建国 梅军 胡东平 
中国工程物理研究院科学技术基金资助项目(2005Z0805)
采用热丝化学气相沉积方法研究了CH4/H2体系不同沉积气压以及不同加热结构对金刚石薄膜组成及形貌的影响,并对其摩擦磨损性能进行了检测。结果表明:通过降低反应气体的压力和选择适当的碳源浓度的方法,可以获得纳米金刚石薄膜;采用双层...
关键词:纳米金刚石 薄膜 热丝化学气相沉积 摩擦系数 
脉冲偏压辅助热丝法沉积金刚石膜的实验研究被引量:1
《金刚石与磨料磨具工程》2010年第1期56-59,66,共5页胡东平 季锡林 梅军 
国防科技工业民用专项工程研制项目
本文针对金刚石涂层应用于工具、模具的需要,研究脉冲偏压在热丝法沉积金刚石工艺中促进金刚石形核、生长的作用。进行了不同脉冲电压、频率、占空比条件下制备金刚石涂层的试验,采用金相显微镜观察涂层的颗粒尺寸及均匀性、致密性,确...
关键词:金刚石膜 热丝CVD 脉冲偏压 
反应气体对纳米金刚石薄膜的显微力学特性影响被引量:2
《金刚石与磨料磨具工程》2009年第1期13-17,共5页李建国 丰杰 胡东平 梅军 
中国工程物理研究院科学技术基金资助(项目号:2005Z0805)
本文采用电子辅助增强热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,CH4/H2、CH4/H2/Ar气体和不同比例的四种气氛制备了纳米金刚石薄膜,利用Raman光谱和原子力显微镜(AFM)表征了薄膜的结构和显微形貌,采用纳米压入测试技术测量了纳米金刚石薄膜的显微...
关键词:纳米金刚石薄膜 反应气体 纳米压入 显微力学 
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