吴晓松

作品数：7被引量：8H指数：1
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供职机构：上海交通大学机械与动力工程学院更多>>
发文主题：PECVD氮化硅薄膜PECVD法工艺参数正交试验更多>>
发文领域：自动化与计算机技术化学工程理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《装备制造技术》《人工晶体学报》《真空科学与技术学报》《科技致富向导》更多>>
所获基金：上海市“科技创新行动计划”国家教育部博士点基金国家自然科学基金江苏省科技成果转化专项资金更多>>
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基于数字模拟的PECVD沉积氮化硅薄膜的工艺参数决策方法研究
《真空科学与技术学报》2015年第3期281-289,共9页吴晓松 李玉鹏 褚学宁 
国家自然科学基金项目(51075261;51205242;71301104);高等学校博士学科点专项科研基金资助课题(20120073110096;20133120120002);上海市科技创新行动计划项目(11DZ1120800;12DZ1125600)
提出了基于数字模拟的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)沉积氮化硅薄膜的工艺参数决策方法。氮化硅薄膜的主要影响因子和质量特性参数通过领域知识和专家意见先期获得,通过单因素物理试验获得工艺参数和质量特性参数之间的关系,通过数...
关键词：氮化硅薄膜 等离子体增强化学气相沉积 工艺参数优化 正交实验 数字模拟 
基于正交试验的PECVD法沉积氮化硅薄膜工艺参数优化研究被引量：5
《人工晶体学报》2014年第8期1913-1920,共8页吴晓松 褚学宁 李玉鹏 
国家自然科学基金(51475290;51075261);高等学校博士学科点专项科研基金资助课题(20120073110096);上海市科技创新行动计划项目(11DZ1120800)
利用多响应正交试验方法研究了PECVD法沉积氮化硅薄膜的工艺参数的优化问题。鉴于目前针对多输出影响过程,尚无有效的方法进行工艺参数优化这一问题,利用综合评分法对衬底温度、气体总流量、NH3/SiH4流量比、反应腔气体压力、高频电场功...
关键词：PECVD 氮化硅薄膜 正交试验 工艺参数 
PECVD装置的有限元分析及结构优化被引量：1
《机械设计与制造》2013年第7期1-3,共3页吴晓松 褚学宁 
针对PECVD装置在真空高温工作环境下存在的热变形问题,运用有限元流—热—结构耦合分析方法,对装置结构进行流固耦合传热特性分析,得出装置的稳态温度场分布情况,将分析结果作为装置流—热—结构耦合分析的边界条件加载到装置结构上,求...
关键词：PECVD装置 热变形 流—热—结构耦合分析 有限元 结构优化 
基于改进设计故障模式集成的PECVD优化设计
《机械设计与研究》2013年第3期48-52,共5页吴晓松 褚学宁 程辉 
国家自然科学基金资助项目(51075261);高等学校博士学科点专项科研基金资助课题(20120073110096);上海市科技创新行动计划资助项目(11dz1120800;12dz1125600)
设计故障模式及后果分析(DFMEA)能够在设计阶段充分考虑故障模式对产品功能的影响,从而提高产品设计的可靠度与安全性。但现有DFMEA的研究和应用缺少对多重条件约束的考量。基于此提出了优先理想矩阵与DFMEA集成的模型,将性能、成本、...
关键词：产品设计 DFMEA 优先理想矩阵 设计方法 RPN 
DFC在PECVD设计开发中的应用研究
《装备制造技术》2012年第12期147-149,共3页都琪 吴晓松 
简述面向成本设计(Design for cost,DFC)的概念以及我国光伏设备行业的现状,并将DFC理论应用于PECVD设备设计开发过程,对概念设计阶段、详细设计阶段、制造组装阶段等进行指导,提高国产品牌PECVD设备的市场竞争力。
关键词：PECVD设备设计 面向成本设计 成本估算 
基于层次分析法的太阳能电池生产设备顾客价值分析被引量：1
《科技致富向导》2012年第32期6-7,共2页洪宇 褚学宁 吴晓松 
江苏省科技成果转化专项资金(项目编号:BA2010)
将层次分析方法（AHP）应用于太阳能电池生产设备PECVD的研发．为PECVD设备研发能更好的满足顾客价值，提高市场竞争力提供了必要的参考价值。
关键词：层次分析法 顾客价值 太阳能电池生产设备 
QFD在PECVD镀膜设备中的应用被引量：1
《科技致富向导》2012年第26期81-82,108,共3页陶俊 吴晓松 
PECVD镀膜设备作为太阳能电池生产设备中的关键设备,PECVD产品技术特征是满足硅片镀膜需求的重要因素。本文将QFD方法应用于PECVD镀膜设备开发过程,并形成一种新的PECVD镀膜设备设计方法,此方法就是针对太阳能设备市场构建顾客需求与产...
关键词：PECVD镀膜设备 质量功能展开 产品开发 技术特征 
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